LT Lithium Tantalate (LiTaO3) Crystal 2inihi/3inihi/4inihi/6 inihi Takotoranga Y-42°/36°/108° Matotoru 250-500um
Tawhā Hangarau
Ingoa | Optical-grade LiTaO3 | Te taumata tepu oro LiTaO3 |
Tuaka | Z tapahia + / - 0.2 ° | 36 ° Y tapahia / 42 ° Y tapahia / X tapahia(+ / - 0.2 °) |
Diamita | 76.2mm + / - 0.3mm/100±0.2mm | 76.2mm + /-0.3mm100mm + /-0.3mm 0r 150±0.5mm |
Rererangi Datum | 22mm + / - 2mm | 22mm + /-2mm32mm + /-2mm |
Te matotoru | 500um + /-5mm1000um + /-5mm | 500um + /-20mm350um + /-20mm |
TTV | ≤ 10um | ≤ 10um |
Te pāmahana Curie | 605 °C + / - 0.7 °C (tikanga DTA) | 605 °C + / -3 °C (tikanga DTA |
Te kounga o te mata | Orooro taha-rua | Orooro taha-rua |
Ko nga taha kua pakaru | whakaawhiwhi taha | whakaawhiwhi taha |
Nga Ahuatanga Matua
1. Hanganga Kiriata me te Mahi Hiko
· Pūmautanga Crystallographic: 100% 4H-SiC polytype mana, kore multicrystalline inclusions (hei tauira, 6H/15R), ki XRD ānau wiri whanui-katoa i te hawhe-mōrahi (FWHM) ≤32.7 arcsec.
· Te Waea Kaikawe Teitei: Te neke irahiko o te 5,400 cm²/V·s (4H-SiC) me te nekeneke o te kohao o te 380 cm²/V·s, ka taea te hoahoa taputapu auau-teitei.
· Maama o te Irirangi: Ka mau ki te 1 MeV neutron irradiation me te paepae pakaru o te 1×10¹⁵ n/cm², he pai mo te aerospace me nga tono karihi.
2. Ngaaahua me te Hangaia
· Te Whakaaetanga Ngaaariki Tino: 4.9 W/cm·K (4H-SiC), e toru o te silicon, te tautoko i te mahi i runga ake i te 200°C.
· Whakawhanake Whakanuia Ngaaahu iti: CTE o 4.0×10⁻⁶/K (25–1000°C), e whakarite ana i te hototahi ki te takai-a-silicon me te whakaiti i te ahotea waiariki.
3.Mana Hapa me te Tukatuka Tika
'
· Te Paipa Moroiti: <0.3 cm⁻² (8-inihi angiangi), te kiato wehenga <1,000 cm⁻² (kua manatokohia ma te kohi KOH).
· Kounga Mata: CMP-whakaparahia ki te Ra <0.2 nm, e tutuki ana i nga whakaritenga papatahi o te reanga-whakaahua a EUV.
Nga tono matua
Rohe | Nga Tauira Tono | Painga Hangarau |
Whakawhitiwhiti Optical | 100G/400G lasers, kōwae ranu photonics silicon | Ko nga taputapu kakano InP ka taea te mokowhiti tika (1.34 eV) me te heteroepitaxy-a-Si, ka whakaiti i te mate hononga whatu. |
Nga Waka Pungao Hou | 800V ngaohiko teitei ngaohiko, nga kaitahuri o runga (OBC) | Ko nga taputapu 4H-SiC ka mau ki te> 1,200 V, ka whakaiti i nga mate whakahekenga e 50% me te rōrahi o te punaha e 40%. |
5G Whakawhitiwhiti | Nga taputapu RF mirimita-ngaru (PA/LNA), whakakaha hiko teihana turanga | Ko nga tïpako SiC semi-insulating (te aukati >10⁵ Ω·cm) ka taea te tuitui haangai-nui (60 GHz+). |
Taputapu Ahumahi | Pūoko pawera teitei, hurihanga o nāianei, kaitirotiro reactor karihi | Ko nga taputapu kakano InSb (0.17 eV bandgap) ka tuku i te tairongo autō ki te 300%@10 T. |
LiTaO₃ Wafers - Nga Ahuatanga Matua
1. Mahinga Piezoelectric Kairangi
· Ko nga whakarea piezoelectric teitei (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) ka taea e nga taputapu SAW/BAW auau teitei me te ngaro whakauru <1.5dB mo nga whiriwhiringa RF 5G
· He pai te honohono hiko hiko e tautoko ana i te whanui-whanui (≥5%) hoahoa tātari mo nga tono iti-6GHz me te mmWave
2. Nga Tikanga Matapihi
· Maamaa te arai whanui (>70% te tuku mai i te 400-5000nm) mo nga kaiwhakaahua hiko-optic e eke ana ki te 40GHz bandwidth
· He kaha te whakaraeraetanga whatu kore raina (χ⁽²⁾~30pm/V) e whakahaere pai ana te whakangao pai tuarua (SHG) i roto i nga punaha laser
3. Te Pumau Taiao
· Ko te pāmahana Curie teitei (600°C) e pupuri ana i te whakautu piezoelectric i roto i nga taiao-auto (-40°C ki te 150°C) taiao
· Ko te korenga matū ki te waikawa/waikawa (pH1-13) ka whakarite i te pono i roto i nga tono puoro ahumahi.
4. Whakaritenga Whaiaro
· Hangarau whakatakotoranga: Tapahi-X (51°), tapahi-Y (0°), tapahi-Z (36°) mo nga whakautu piezoelectric kua whakaritea
· Kōwhiringa doping: Mg-doped (atete kino whatu), Zn-doped (whakarei d₃₃)
· Ka mutu te mata: Te whakakorikori epitaxial-ready (Ra<0.5nm), ITO/Au metallization
LiTaO₃ Wafers - Taupānga Tuatahi
1. RF Tuhinga o mua-Mutunga
· Nga whiriwhiringa 5G NR SAW (Taepene n77/n79) me te whakarea pāmahana o te auau (TCF) <|-15ppm/°C|
· Resonators BAW tino-whanui mo WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz)
2. Whakakotahitanga Photonics
· He tere-tere Mach-Zehnder modulators (> 100Gbps) mo nga whakawhitiwhitinga whatu pai
· QWIP pūoko pōkākā me ngā roangaru tapahi ka taea mai i te 3-14μm
3. Hiko Motu
· Pūoko waka waka ultrasonic me te >200kHz auau mahi
· TPMS piezoelectric transducers ora -40°C ki te 125°C waiariki paihikara
4. Pūnaha Tiaki
· Nga whiriwhiringa kaiwhiwhi EW me te >60dB te whakakore i waho o te roopu
· Nga matapihi IR rapu missile e tuku ana i te 3-5μm MWIR radiation
5. Nga Hangarau Putanga
· Ko nga kaiwhakawhiti ihanga optomechanical mo te hurihanga ngaruiti-ki-optical
· Nga raupapa PMUT mo te atahanga ultrasound hauora (>20MHz taumira)
LiTaO₃ Wafers - Ratonga XKH
1. Whakahaere Raina Raina
· Te tukatuka Boule-to-wafer me te 4-wiki te wa e arahi ana mo nga whakaritenga paerewa
· Te hanga utu-paipai e tuku ana i te 10-15% te painga o te utu ki nga kaiwhakataetae
2. Rongoa Ritenga
· Wafering ritenga-motuhake: 36°±0.5° Y-tapahia mo te mahi SAW tino pai
· Nga titonga doped: MgO (5mol%) doping mo nga tono whatu
Nga ratonga whakarewa: Cr/Au (100/1000Å) tauira hiko
3. Tautoko Hangarau
· Te ahua o nga rawa: XRD nga pihi toka (FWHM<0.01°), AFM tātari mata
· Whakatauira Pūrere: Whakatauira FEM mo te arotautanga hoahoa tātari SAW
Whakamutunga
Ko nga angiangi a LiTaO₃ ka taea te ahu whakamua hangarau puta noa i nga whakawhitiwhitinga RF, nga whakaahua whakauru, me nga puoro-taiao kino. Ko te tohungatanga rauemi a XKH, te hanga tika, me te tautoko miihini tono ka awhina i nga kaihoko ki te wikitoria i nga wero hoahoa i roto i nga punaha hiko o muri mai.


