Tïpako SiC P-momo 4H/6H-P 3C-N 4inihi me te matotoru o te 350um Koeke Whakaputa Koeke Dummy

Whakaahuatanga Poto:

Ko te P-momo 4H/6H-P 3C-N 4-inihi SiC substrate, me te matotoru o te 350 μm, he rauemi semiconductor tino mahi e whakamahia nuitia ana i roto i te hanga taputapu hiko. E mohiotia ana mo te pai o te kawe i te waiariki, te ngaohiko pakaru tiketike, me te atete ki te tino wera me nga taiao kino, he pai tenei taputapu mo nga tono hiko hiko. Kei te whakamahia te taputapu-whakaputa i roto i nga mahi hanga-nui, me te whakarite i te mana o te kounga me te tino pono ki nga taputapu hiko. I tenei wa, ka whakamahia te taputapu paparua mo te mahi patuiro, te whakatikatika taputapu, me te tauira tauira. Ko nga ahuatanga pai o te SiC he mea tino pai rawa atu mo nga taputapu e mahi ana i nga waahi-nui, ngaohiko teitei, me nga waahi teitei, tae atu ki nga taputapu hiko me nga punaha RF.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

4inihi SiC tïpako P-momo 4H/6H-P 3C-N tepu tawhā

4 inihi diameter SiliconCarbide (SiC) Raupapa Whakatakotoranga

Kōeke			Kore MPD Production Kōeke (Z Kōeke)	Waihanga Paerewa Kōeke (P Kōeke)	Kōeke Dummy (D Kōeke)
Diamita			99.5 mm~100.0 mm
Te matotoru			350 μm ± 25 μm
Takotoranga Wafer			Tuaka atu: 2.0°-4.0° ki [112(-)0] ± 0.5° mo te 4H/6H-P, On tuaka:〈111〉± 0.5° mo te 3C-N
Kiatotanga Micropipe			0 cm-2
Te ātete	p-momo 4H/6H-P		≤0.1 Ωꞏcm		≤0.3 Ωꞏcm
	momo-n 3C-N		≤0.8 mΩꞏcm		≤1 m Ωꞏcm
Kaupapa Papatahi Tuatahi		4H/6H-P	- {1010} ± 5.0°
		3C-N	- {110} ± 5.0°
Te Roa Papatahi Tuatahi			32.5 mm ± 2.0 mm
Te Roa Papatahi Tuarua			18.0 mm ± 2.0 mm
Takotoranga Papatahi Tuarua			Silicon kanohi ki runga: 90° CW. mai i te Prime flat±5.0°
Whakakorenga Tapa			3 mm		6 mm
LTV/TTV/Kopere / Warp			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Te taratara			Poroni Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra≤0.5 nm
Nga Kapiti Tapa Na Te Maama Nui			Karekau		Roa whakaemi ≤ 10 mm, kotahi roa≤2 mm
Nga Pereti Hex Na Te Maama Nui			Horahanga whakahiato ≤0.05%		Horahanga whakahiato ≤0.1%
Nga Rohe Polytype Ma te Maama Maama Nui			Karekau		Horahanga whakahiato≤3%
Nga Whakauru Wao Ataata			Horahanga whakahiato ≤0.05%		Horahanga whakahiato ≤3%
Nga Rakuraku o te Mata Silicon Na Te Maama Nui			Karekau		Roa whakahiato≤1×wafer diameter
Ko nga maramara Tapa Teitei Ma te Maama Kaha			Kore e whakaaetia kia ≥0.2mm te whanui me te hohonu		5 whakaaetia, ≤1 mm ia
Ko te Whakakinotanga o te Mata Silicon Na te Kaha Teitei			Karekau
Te takai			Ripene angiangi-maha, Ipu Angiangi Kotahi ranei

Tuhipoka:

※Ko nga tepe hapa ka pa ki te mata angiangi katoa engari mo te waahi whakakorenga taha. # Me tirohia nga rakuraku ki te kanohi Si anake.

Ko te P-momo 4H/6H-P 3C-N 4-inihi SiC tïpako me te matotoru o te 350 μm e whakamahia nuitia ana i roto i nga mahi hiko me nga taputapu hiko. Ma te pai o te kawe waiariki, te ngaohiko pakaru teitei, me te kaha o te atete ki nga taiao tino nui, he pai tenei taputapu mo nga hikohiko hiko teitei penei i nga huringa ngaohiko teitei, nga hurihuri, me nga taputapu RF. Ka whakamahia nga taputapu-whakaputa i roto i nga mahi whakangao nui-nui, e whakarite ana i te pono, te tino tika o te mahi taputapu, he mea tino nui mo te hikohiko hiko me nga tono auau teitei. Ko nga taputapu karaehe Dummy, i tetahi atu taha, ka whakamahia te nuinga mo te whakatikatika i te tukanga, te whakamatautau taputapu, me te whanaketanga tauira, hei awhina i te mana o te kounga me te riterite o te tukanga i roto i te hanga semiconductor.

WhakatakotorangaKo nga painga o nga taputapu hiato N-momo SiC kei roto

Te Waahanga Teitei: He pai te whakamaaramatanga o te wera ka pai te taputapu mo nga tono wera-nui me te kaha-kaha.
Ngaohiko Paanga Teitei: Ka tautoko i nga mahi ngaohiko teitei, te whakarite i te pono i roto i nga hiko hiko me nga taputapu RF.
Te Atete ki nga Taiao Kino: He roa i roto i nga ahuatanga tino nui penei i te teitei o te mahana me nga taiao kino, me te whakarite kia roa te mahi.
Whakaputa-Koeke Tika: Ka whakarite i te kounga teitei me te mahi pono i roto i te hanga nui-nui, e tika ana mo te mana matatau me nga tono RF.
Koeke Dummy mo te Whakamatau: Whakahohehia te whakatika tika o te tukanga, te whakamatautau taputapu, me te tauira tauira me te kore e whakararu i nga angiangi whakangao.

I roto i te katoa, ko te P-momo 4H/6H-P 3C-N 4-inihi SiC substrate me te matotoru o te 350 μm e whakarato ana i nga painga nui mo nga tono hiko teitei. Ko te kaha o te waiariki me te ngaohiko pakaru e pai ana mo nga taiao teitei me te wera nui, i te mea ko tana aukati ki nga ahuatanga kino ka mau tonu me te pono. Ko te taputapu-whakangao ka whakarite kia tika, kia rite tonu te mahi i roto i te hanga nui-nui o nga hiko hiko me nga taputapu RF. I tenei wa, he mea tino nui te taputapu reanga-rua mo te whakatikatika i nga mahi, te whakamatautau taputapu, me te tauira tauira, hei tautoko i te mana kounga me te riterite ki te hanga semiconductor. Ko enei ahuatanga ka tino whai kiko nga taputapu SiC mo nga tono matatau.