P-momo SiC angiangi 4H/6H-P 3C-N 6inihi te matotoru 350 μm me te Takotoranga Papatahi Tuatahi
Specification4H/6H-P Momo SiC Composite Substrates Ripanga tawhā noa
6 inihi diameter Silicon Carbide (SiC) Raupapa Whakatakotoranga
| Kōeke | Kore MPD ProductionKōeke (Z Kōeke) | Waihanga PaerewaKōeke (P Kōeke) | Kōeke Dummy (D Kōeke) | ||
| Diamita | 145.5 mm~150.0 mm | ||||
| Te matotoru | 350 μm ± 25 μm | ||||
| Takotoranga Wafer | -Offtuaka: 2.0°-4.0° ki [1120] ± 0.5° mo te 4H/6H-P, I te tuaka:〈111〉± 0.5° mo te 3C-N | ||||
| Kiatotanga Micropipe | 0 cm-2 | ||||
| Te ātete | p-momo 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
| momo-n 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
| Kaupapa Papatahi Tuatahi | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
| Te Roa Papatahi Tuatahi | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
| Te Roa Papatahi Tuarua | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
| Takotoranga Papatahi Tuarua | Silicon kanohi ki runga: 90° CW. mai i Prime flat ± 5.0° | ||||
| Whakakorenga Tapa | 3 mm | 6 mm | |||
| LTV/TTV/Kopere / Warp | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| Te taratara | Poroni Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
| Nga Kapiti Tapa Na Te Maama Nui | Karekau | Roa whakaemi ≤ 10 mm, kotahi roa≤2 mm | |||
| Nga Pereti Hex Na Te Maama Nui | Horahanga whakahiato ≤0.05% | Horahanga whakahiato ≤0.1% | |||
| Nga Rohe Polytype Ma te Maama Maama Nui | Karekau | Horahanga whakahiato≤3% | |||
| Nga Whakauru Wao Ataata | Horahanga whakahiato ≤0.05% | Horahanga whakahiato ≤3% | |||
| Nga Rakuraku o te Mata Silicon Na Te Maama Nui | Karekau | Roa whakahiato≤1×wafer diameter | |||
| Ko nga maramara Tapa Teitei Ma te Maama Kaha | Kore e whakaaetia kia ≥0.2mm te whanui me te hohonu | 5 whakaaetia, ≤1 mm ia | |||
| Ko te Whakakinotanga o te Mata Silicon Na te Kaha Teitei | Karekau | ||||
| Te takai | Ripene angiangi-maha, Ipu Angiangi Kotahi ranei | ||||
Tuhipoka:
※ Ko nga tepe koha ka pa ki te mata angiangi katoa engari mo te waahi whakakorenga taha. # Me tirotiro nga rakuraku ki te mata o Si o
Ko te momo P-momo SiC wafer, 4H/6H-P 3C-N, me te 6-inihi te rahi me te 350 μm te matotoru, ka whai waahi nui ki te hanga ahumahi o nga hikohiko hiko teitei. Ko te pai o te kawe i te waiariki me te ngaohiko pakaru teitei ka pai mo te hanga i nga waahanga penei i nga huringa hiko, nga diodes, me nga transistors e whakamahia ana i roto i nga taiao teitei-nui penei i nga waka hiko, nga hiko hiko, me nga punaha hiko whakahou. Ko te kaha o te angiangi ki te mahi pai i roto i nga ahuatanga uaua ka whakarite i te mahi pono i roto i nga tono ahumahi e hiahia ana kia kaha te kaha me te kaha o te kaha. Hei taapiri, ko tana kaupapa papatahi tuatahi ka awhina i te whakatikatika tika i te wa o te hanga taputapu, te whakarei ake i te pai o te whakaputa me te riterite o nga hua.
Ko nga painga o nga taputapu hiato N-momo SiC ko
- Te Waahanga Teitei: Ko nga momo angiangi SiC momo P he pai te whakakore i te wera, he pai mo nga tono wera-teitei.
- Ngaohiko Paanga Teitei: He kaha ki te tu atu i nga ngaohiko teitei, te whakarite i te pono i roto i nga hiko hiko me nga taputapu ngaohiko teitei.
- Te Atete ki nga Taiao Kino: He pai te mauroa i roto i nga ahuatanga tino nui, penei i te teitei o te mahana me nga taiao pirau.
- Tahuri Hiko Pai: Ko te momo P-momo doping e whakahaere pai ana te whakahaere mana, e pai ai te angiangi mo nga punaha hurihanga hiko.
- Kaupapa Papatahi Tuatahi: Ka whakarite kia tika te tiaroaro i te wa o te hangahanga, te whakapai ake i te tika o te taputapu me te riterite.
- Hanga Angiangi (350 μm): Ko te matotoru tino pai o te wafer e tautoko ana i te whakaurunga ki roto i nga taputapu hiko teitei me te waatea.
I te nuinga, ko te P-momo SiC wafer, 4H / 6H-P 3C-N, e tuku ana i nga momo painga e tino pai ana mo nga tono ahumahi me te hiko. Ko te kaha o te waiariki me te ngaohiko pakaru ka taea te mahi pono i roto i nga taiao-nui me te ngaohiko teitei, ko tana aukati ki nga ahuatanga kino ka mau tonu. Ko te momo-P doping ka taea te huri i te hiko pai, he pai mo te hikohiko hiko me nga punaha hiko. I tua atu, ko te whakatakotoranga papatahi tuatahi o te angiangi ka whakarite kia tika te tirohanga i te wa o te mahi whakangao, me te whakanui i te riterite o te whakaputa. Ma te matotoru o te 350 μm, he tino pai mo te whakauru ki nga taputapu matatau, kiato.
Hoahoa Taipitopito
