P-momo SiC angiangi 4H/6H-P 3C-N 6inihi te matotoru 350 μm me te Takotoranga Papatahi Tuatahi

Whakaahuatanga Poto:

Ko te momo P-momo SiC wafer, 4H/6H-P 3C-N, he rauemi semiconductor 6-inihi me te matotoru o te 350 μm me te whakatakotoranga papatahi tuatahi, i hangaia mo nga tono hiko matatau. E mohiotia ana mo te kaha o te waiariki, te ngaohiko pakaru tiketike, me te atete ki te tino wera me nga taiao pirau, he pai tenei wafer mo nga taputapu hiko teitei. Ko te momo P-momo doping e whakaatu ana i nga kohao hei kawe utu tuatahi, he pai mo te hikohiko hiko me nga tono RF. Ko tana hanganga pakari ka whakapumau i te mahi i raro i nga tikanga ngaohiko teitei me nga waahi teitei, e pai ana mo nga taputapu hiko, te hikohiko teitei, me te kaha o te hurihanga kaha. Ko te whakatakotoranga papatahi tuatahi e whakarite tika ana i roto i te mahi whakangao, kia rite tonu te hanga taputapu.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Specification4H/6H-P Momo SiC Composite Substrates Ripanga tawhā noa

6 inihi diameter Silicon Carbide (SiC) Raupapa Whakatakotoranga

Kōeke			Kore MPD ProductionKōeke (Z Kōeke)	Waihanga PaerewaKōeke (P Kōeke)	Kōeke Dummy (D Kōeke)
Diamita			145.5 mm~150.0 mm
Te matotoru			350 μm ± 25 μm
Takotoranga Wafer			-Offtuaka: 2.0°-4.0° ki [1120] ± 0.5° mo te 4H/6H-P, I te tuaka:〈111〉± 0.5° mo te 3C-N
Kiatotanga Micropipe			0 cm-2
Te ātete	p-momo 4H/6H-P		≤0.1 Ωꞏcm		≤0.3 Ωꞏcm
	momo-n 3C-N		≤0.8 mΩꞏcm		≤1 m Ωꞏcm
Kaupapa Papatahi Tuatahi		4H/6H-P	-{1010} ± 5.0°
		3C-N	-{110} ± 5.0°
Te Roa Papatahi Tuatahi			32.5 mm ± 2.0 mm
Te Roa Papatahi Tuarua			18.0 mm ± 2.0 mm
Takotoranga Papatahi Tuarua			Silicon kanohi ki runga: 90° CW. mai i Prime flat ± 5.0°
Whakakorenga Tapa			3 mm		6 mm
LTV/TTV/Kopere / Warp			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Te taratara			Poroni Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra≤0.5 nm
Nga Kapiti Tapa Na Te Maama Nui			Karekau		Roa whakaemi ≤ 10 mm, kotahi roa≤2 mm
Nga Pereti Hex Na Te Maama Nui			Horahanga whakahiato ≤0.05%		Horahanga whakahiato ≤0.1%
Nga Rohe Polytype Ma te Maama Maama Nui			Karekau		Horahanga whakahiato≤3%
Nga Whakauru Wao Ataata			Horahanga whakahiato ≤0.05%		Horahanga whakahiato ≤3%
Nga Rakuraku o te Mata Silicon Na Te Maama Nui			Karekau		Roa whakahiato≤1×wafer diameter
Ko nga maramara Tapa Teitei Ma te Maama Kaha			Kore e whakaaetia kia ≥0.2mm te whanui me te hohonu		5 whakaaetia, ≤1 mm ia
Ko te Whakakinotanga o te Mata Silicon Na Te Kaha Rawa			Karekau
Te takai			Ripene angiangi-maha, Ipu Angiangi Kotahi ranei

Tuhipoka:

※ Ko nga tepe koha ka pa ki te mata angiangi katoa engari mo te waahi aukati taha. # Me tirotiro nga rakuraku ki te mata o Si o

Ko te momo P-momo SiC wafer, 4H/6H-P 3C-N, me te 6-inihi te rahi me te 350 μm te matotoru, ka whai waahi nui ki te hanga ahumahi o nga hikohiko hiko teitei. Ko te pai o te kawe i te waiariki me te ngaohiko pakaru teitei ka pai mo te hanga i nga waahanga penei i nga huringa hiko, nga diodes, me nga transistors e whakamahia ana i roto i nga taiao teitei-nui penei i nga waka hiko, nga hiko hiko, me nga punaha hiko whakahou. Ko te kaha o te angiangi ki te mahi pai i roto i nga ahuatanga kino ka whakarite i te mahi pono i roto i nga tono ahumahi e hiahia ana kia kaha te kaha me te kaha o te kaha. Hei taapiri atu, ko tana whakatakotoranga papatahi tuatahi ka awhina i te whakatikatika tika i te wa o te hanga taputapu, te whakarei ake i te pai o te whakaputa me te riterite o nga hua.

Ko nga painga o nga taputapu hiato N-momo SiC ko

Te Waahanga Teitei: Ko nga momo angiangi SiC momo-P he pai te whakakore i te wera, he pai mo nga tono wera-teitei.
Ngaohiko Paanga Teitei: Te kaha ki te tu atu i nga ngaohiko teitei, te whakarite i te pono i roto i nga hiko hiko me nga taputapu ngaohiko teitei.
Te Atete ki nga Taiao Kino: He pai te mauroa i roto i nga ahuatanga tino nui, penei i te teitei o te mahana me nga taiao pirau.
Tahuri Hiko Pai: Ko te momo P-momo doping e whakahaere pai ana te whakahaere mana, e pai ai te angiangi mo nga punaha hurihanga hiko.
Kaupapa Papatahi Tuatahi: Ka whakarite kia tika te tiaroaro i te wa o te hangahanga, te whakapai ake i te tika o te taputapu me te riterite.
Hanga Angiangi (350 μm): Ko te matotoru tino pai o te wafer e tautoko ana i te whakaurunga ki roto i nga taputapu hiko teitei me te waatea.

I te nuinga, ko te P-momo SiC wafer, 4H / 6H-P 3C-N, e tuku ana i nga momo painga e tino pai ana mo nga tono ahumahi me te hiko. Ko te kaha o te waiariki me te ngaohiko pakaru ka taea te mahi pono i roto i nga taiao-nui me te ngaohiko teitei, ko tana aukati ki nga ahuatanga kino ka mau tonu. Ko te momo-P doping ka taea te huri i te hiko pai, he pai mo te hikohiko hiko me nga punaha hiko. I tua atu, ko te whakatakotoranga papatahi tuatahi o te angiangi ka whakarite kia tika te tirohanga i te wa o te mahi whakangao, me te whakanui i te riterite o te whakaputa. Ma te matotoru o te 350 μm, he tino pai mo te whakauru ki nga taputapu matatau, kiato.