Pūnaha Takotoranga Wafer mo te Inenga Tikanga Kiriata
Taputapu whakataki
Ko nga taputapu hanga wafer he taputapu tika i runga i nga maataapono X-ray diffraction (XRD), i whakamahia i roto i nga mahi hangahanga semiconductor, nga taputapu whatu, nga karaehe, me etahi atu ahumahi taonga tioata.
Ko enei taputapu e whakatau ana i te whakatakotoranga maataki karaihe me te arahi i te tapahi tika, te whakakorikori ranei. Ko nga ahuatanga matua ko:
- Nga inenga tino tika:He kaha ki te whakatau i nga rererangi tioata me nga whakataunga koki ki raro ki te 0.001°.
- Hototahi tauira nui:Ka tautokohia nga angiangi tae atu ki te 450 mm te whanui me te taumaha 30 kg, e tika ana mo nga taonga penei i te carbide silicon (SiC), sapphire, me te silicon (Si).
- Hoahoa Modular:Kei roto i nga mahi whakawhanui ko te wetewete i te kurupae wiri, 3D te mapi koha o te mata, me nga taputapu taapiri mo te tukatuka tauira-maha.
Tawhā Hangarau matua
| Tawhā Kāwai | Uara Tikanga/Whirihoranga |
| Puna X-ray | Cu-Kα (0.4×1 mm te waahi arotahi), 30 kV ngaohiko whakatere, 0–5 mA ngongo te naianei |
| Awhe koki | θ: -10° ki te +50°; 2θ: -10° ki te +100° |
| Te tika | Taumira koki honga: 0.001°, te kitenga koha o te mata: ±30 hēkona pewa (pikinga ruru) |
| Tere Matawai | Ko te matawai Omega ka whakaoti i te whakatakotoranga reeti katoa i roto i te 5 hēkona; Ka roa te karapa Theta ~1 meneti |
| Tauira Tauira | Awa-V, momi pneumati, hurihanga koki-maha, hototahi ki te angiangi 2–8-inihi |
| Nga Mahi Whakawhanui | Te wetewete awhi awhiowhio, te mapi 3D, te taputapu tapae, te kitenga hapa whatu (nga karawarawa, nga GB) |
Kaupapa Mahi
1. X-ray Diffraction Foundation
- Ka pahekoheko nga hihi-X ki nga karihi ngota me nga irahiko i roto i te mahanga karaihe, ka whakaputa i nga tauira rerekee. Ko te Ture a Bragg (nλ = 2d sinθ) e whakahaere ana i te hononga i waenga i nga koki weherua (θ) me te mokowhiti whakawhitiwhiti (d).
Ka hopuhia e nga kaitirotiro enei tauira, ka tātarihia hei hanga ano i te hanganga tioata.
2. Hangarau Matawai Omega
- Ka huri haere tonu te karaihe huri noa i te tuaka pumau i te wa e whakamarama ana nga hihi-X.
- Ka kohia e nga kaitirotiro nga tohu rereke puta noa i nga rererangi tioata maha, e taea ai te whakatau i te takotoranga o te reanga i roto i te 5 hēkona.
3. Tātari Ānau Rua
- Ko te koki karaihe me te rereke o nga koki o nga hihi X-ray hei ine i te whanui teitei (FWHM), te aromatawai i nga hapa me te riaka.
4. Mana Aunoa
- Ko nga atanga PLC me te mata pa e taea ai nga koki tapahi tatūkē, te urupare-a-waa, me te whakauru ki nga miihini tapahi mo te whakahaere kati-koropiko.
Nga Painga me nga waahanga
1. Te Tika me te Tikanga
- Te tika koki ± 0.001°, taumira kitenga hapa <30 hēkona arc.
- Ko te tere matawai Omega he 200x tere atu i nga matawai Theta tuku iho.
2. Te Whakatauira me te Whakanuia
- Ka taea te whakawhanui mo nga tono motuhake (hei tauira, nga angiangi SiC, nga mata hikohiko).
- Ka whakauruhia ki nga punaha MES mo te aro turuki i te wa-tūturu.
3. Hototahi me te pumau
- Ka uru ki nga tauira he rereke te ahua (hei tauira, nga ngota sapphire ngatata).
- Ko te hoahoa hau-hau ka whakaiti i nga hiahia tiaki.
4. Mahi Maramarama
- Kotahi-pawhiringa whakatika me te tukatuka mahi-maha.
- Te whakatikatika-aunoa me nga tioata tohutoro hei whakaiti i te hapa o te tangata.
Nga tono
1. Hangahanga Semiconductor
- Takotoranga Wafer Dicing: Ka whakatau i nga ritenga angiangi Si, SiC, GaN mo te pai o te tapahi.
- Mahere koha
2. Nga Rauemi Optik
- Ko nga tioata korerangi (hei tauira, LBO, BBO) mo nga taputapu laser.
- Ko te mata angiangi sapphire tohutoro tohu tohu mo nga taputapu LED.
3. Nga Karaima me nga Hangarite
- Ka tātari i te takotoranga witi i roto i te Si3N4 me te ZrO2 mo nga tono pāmahana teitei.
4. Rangahau me te Mana Kounga
- Whare Wananga/taiwhanga mo te whanaketanga rauemi hou (hei tauira, koranu teitei-entropy).
- QC Ahumahi hei whakarite i te riterite o te puranga.
Nga Ratonga a XKH
Ka tukuna e XKH he tautoko hangarau hurihanga ora mo nga taputapu hanga angiangi, tae atu ki te whakaurunga, te arotautanga tawhā tukanga, te tātaritanga o te kohanga oka, me te mahere koha o te mata 3D. Ko nga otinga kua whakahiatotia (hei tauira, te hangarau whakahiato ingot) ka whakawhiwhia ki te whakarei ake i te hikohikohiko me te whai kiko o te hanga rauemi mata ma te neke atu i te 30%. Ko tetahi roopu whakatapua e whakahaere whakangungu i runga i te waahi, ko te tautoko mamao 24/7 me te whakakapi tere o nga waahanga mokowhiti hei whakarite i te pono o nga taputapu.
