momo-p 4H/6H-P 3C-N TYPE SIC tïpako 4inihi 〈111〉± 0.5°Kore MPD

Whakaahuatanga Poto:

Ko te momo P-momo 4H/6H-P 3C-N momo SiC tïpako, 4-inihi me te 〈111〉± 0.5° te whakatakotoranga me te Kore MPD (Micro Pipe Defect), he rauemi semiconductor tino mahi i hangaia mo te taputapu hiko matatau. hangahanga. E mohiotia ana mo te pai o te kawe i te waiariki, te ngaohiko pakaru teitei, me te kaha o te atete ki te teitei o te mahana me te waikura, he pai tenei taputapu mo te hikohiko hiko me nga tono RF. Ko te karaehe Zero MPD e whakamana ana i nga hapa iti, e whakarite ana i te pono me te pumau i roto i nga taputapu mahi teitei. Ko tana whakatakotoranga tika 〈111〉± 0.5° ka taea te tirohanga tika i te wa o te titohanga, kia pai ai mo nga mahi whakangao nui. Kei te whakamahia nuitia tenei taputapu i roto i nga taputapu hiko teitei, te ngaohiko teitei, me nga taputapu hiko, penei i nga kaitahuri hiko, nga hurihuri, me nga waahanga RF.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

4H/6H-P Momo SiC Composite Substrates Ripanga tawhā noa

4 inihi diameter SiliconCarbide (SiC) Raupapa Whakatakotoranga

Kōeke			Kore MPD Production Kōeke (Z Kōeke)	Waihanga Paerewa Kōeke (P Kōeke)	Kōeke Dummy (D Kōeke)
Diamita			99.5 mm~100.0 mm
Te matotoru			350 μm ± 25 μm
Takotoranga Wafer			Tuaka atu: 2.0°-4.0° ki [112(-)0] ± 0.5° mo te 4H/6H-P, On tuaka:〈111〉± 0.5° mō te 3C-N
Kiatotanga Micropipe			0 cm-2
Te ātete	p-momo 4H/6H-P		≤0.1 Ωꞏcm		≤0.3 Ωꞏcm
	momo-n 3C-N		≤0.8 mΩꞏcm		≤1 m Ωꞏcm
Kaupapa Papatahi Tuatahi		4H/6H-P	- {1010} ± 5.0°
		3C-N	- {110} ± 5.0°
Te Roa Papatahi Tuatahi			32.5 mm ± 2.0 mm
Te Roa Papatahi Tuarua			18.0 mm ± 2.0 mm
Takotoranga Papatahi Tuarua			Silicon kanohi ki runga: 90° CW. mai i te Prime flat±5.0°
Whakakorenga Tapa			3 mm		6 mm
LTV/TTV/Kopere / Warp			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Te taratara			Poroni Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra≤0.5 nm
Nga Kapiti Tapa Na Te Maama Nui			Karekau		Roa whakaemi ≤ 10 mm, kotahi roa≤2 mm
Nga Pereti Hex Na Te Maama Nui			Horahanga whakahiato ≤0.05%		Horahanga whakahiato ≤0.1%
Nga Rohe Polytype Ma te Maama Maama Nui			Karekau		Horahanga whakahiato≤3%
Nga Whakauru Wao Ataata			Horahanga whakahiato ≤0.05%		Horahanga whakahiato ≤3%
Nga Rakuraku o te Mata Silicon Na Te Maama Nui			Karekau		Roa whakahiato≤1×wafer diameter
Ko nga maramara Tapa Teitei Ma te Maama Kaha			Kore e whakaaetia kia ≥0.2mm te whanui me te hohonu		5 whakaaetia, ≤1 mm ia
Ko te Whakakinotanga o te Mata Silicon Na Te Kaha Rawa			Karekau
Te takai			Ripene angiangi-maha, Ipu Angiangi Kotahi ranei

Tuhipoka:

※Ko nga tepe hapa ka pa ki te mata angiangi katoa engari mo te waahi whakakorenga taha. # Me tirohia nga rakuraku ki te kanohi Si anake.

Ko te momo P-momo 4H/6H-P 3C-N momo 4-inihi SiC tïpako me te 〈111〉± 0.5° te whakatakotoranga me te Zero MPD kei te whakamahia nuitia i roto i nga tono hiko teitei. Ko te pai o te kawe i te waiariki me te ngaohiko pakaru teitei e pai ana mo te hikohiko hiko, penei i nga huringa ngaohiko teitei, nga hurihuri, me nga kaitahuri hiko, e mahi ana i roto i nga ahuatanga tino kino. I tua atu, ko te parenga o te taputapu ki nga pāmahana teitei me te waikura ka mau te mahi i roto i nga taiao kino. Ko te tikanga tika 〈111〉± 0.5° ka whakanui ake i te tika o te whakangao, e pai ana mo nga taputapu RF me nga tono auau-nui, penei i nga punaha radar me nga taputapu whakawhitiwhiti ahokore.

Ko nga painga o nga taputapu hiato N-momo SiC ko:

1. Te Whakaaetanga Ngaaariki Teitei: He pai te whakamaaramatanga o te wera, e pai ana mo nga taiao teitei me nga tono mana nui.
2. Te Ngaohiko Ngaohiko Nui: Ka whakarite i nga mahi pono i roto i nga tono ngaohiko teitei penei i nga kaitahuri hiko me nga kaitahuri.
3. Kore MPD (Micro Pipe Defect) Koeke: Ka whakamana i nga hapa iti, e mau ana me te tino pono i roto i nga taputapu hiko tino nui.
4. Te Whakaaetanga Waikura: Ka mau tonu i roto i nga taiao kino, me te whakarite i te mahi mo te wa roa i roto i nga ahuatanga e hiahia ana.
5. Tika 〈111〉± 0.5° Takotoranga: Ka taea te whakatika tika i te wa o te hangahanga, te whakapai ake i nga mahi a te taputapu i roto i nga waahanga teitei me nga tono RF.

I roto i te katoa, ko te momo P-4H/6H-P 3C-N momo 4-inihi SiC tïpako me te 〈111〉± 0.5° te whakatakotoranga me te Kore MPD he rauemi tino mahi pai mo nga tono hiko matatau. Ko te pai o te kawe i te waiariki me te ngaohiko pakaru teitei e tino pai ana mo nga hiko hiko penei i nga huringa ngaohiko teitei, hurihuri, me nga kaitahuri. Ko te karaehe Zero MPD e whakarite ana i nga hapa iti, e whakarato ana i te pono me te pumau i roto i nga taputapu whakahirahira. Hei taapiri, ko te parenga o te taputapu ki te waikura me te pāmahana teitei ka mau tonu ki nga taiao kino. Ko te tika 〈111〉± 0.5° te whakatakotoranga ka taea te whakarite tika i te wa o te mahi hangahanga, e tino pai ana mo nga taputapu RF me nga tono auau teitei.