Microjet hangarau taiaho taputapu angiangi tapahi SiC tukatuka rauemi

Whakaahuatanga Poto:

Ko nga taputapu hangarau laser Microjet he ahua o te punaha miihini tika e whakakotahi ana i te taiaho kaha teitei me te reeti wai taumata micron. Na roto i te hono i te kurupae laser ki te jet wai tere-tere (te wai deionized he wai motuhake ranei), ka taea te whakatutuki i te tukatuka rauemi me te tino tika me te iti o te kino o te waiariki. Ko tenei hangarau he tino pai mo te tapahi, te keri me te tukatuka microstructure o nga mea pakeke me te pakaru (penei i te SiC, te sapphire, te karaihe), ka whakamahia nuitia i roto i te semiconductor, te whakaaturanga whakaahua, nga taputapu hauora me etahi atu mara.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Tikanga mahi:

1. Te hono taiaho: ko te taiaho pupuhi (UV/matomato/infrared) e arotahi ana ki roto i te jet wē ki te hanga i te hongere tuku pūngao pūmau.

2. Arata'iraa wai: jet tere-tere (tere rere 50-200m/s) whakamatao i te rohe tukatuka me te tango atu otaota ki te karo i te whakaemi wera me te parahanga.

3. Tango rauemi: Ko te pūngao taiaho ai pānga cavitation i roto i te wai ki te whakatutuki i te tukatuka matao o te rauemi (rohe pānga wera <1μm).

4. Te mana hihiri: te whakatikatika i nga waa-waahi o nga tawhā laser (te mana, te auau) me te pehanga jet ki te whakatutuki i nga hiahia o nga rauemi me nga hanganga rereke.

Tawhā matua:

1. Te mana laser: 10-500W (ka taea te whakarite)

2. Jet diameter: 50-300μm

3.Machining tika: ± 0.5μm (tapahi), hohonu ki te whanui ōwehenga 10:1 (drilling)

Nga painga hangarau:

(1) Tata kore kino wera
- Ko te whakamatao jet wai e whakahaere ana i te rohe e pa ana ki te wera (HAZ) ki te **<1μm**, me te karo i nga kapiti moroiti i puta mai i te tukatuka taiaho tikanga (Ko te HAZ te tikanga> 10μm).

(2) Ultra-tiketike machining pū
- Te tapahi/te keri ki runga ki te **±0.5μm**, te taratara o te taha Ra<0.2μm, whakaitihia te hiahia mo te whakakorikori o muri.

- Tautokohia te tukatuka hanganga 3D matatini (penei i nga kohao koeko, nga mokamoka ahua).

(3) Te hototahi rauemi whanui
- Ko nga mea pakari me nga mea pakarukaru: SiC, sapphire, karaehe, uku (he ngawari te pakaru o nga tikanga tuku iho).

- Ko nga mea tairongo te wera: polymers, kopa koiora (kaore he tupono ki te paheketanga o te waiariki).

(4) Te tiaki taiao me te pai
- Kaore he parahanga puehu, ka taea te hangarua te wai me te tātari.

- 30% -50% te piki ake o te tere tukatuka (me te miihini).

(5) Mana mohio
- Te whakatakotoranga tirohanga whakauru me te arotautanga tawhā AI, te matotoru o nga rawa urutau me nga hapa.

Whakatakotoranga Hangarau:

rōrahi countertop	300300150	400400200
Tuaka raina XY	nekeneke raina. nekeneke raina	nekeneke raina. nekeneke raina
tuaka raina Z	150	200
Te tika o te tuunga μm	+/-5	+/-5
Te tika o te tuunga μm	+/-2	+/-2
Whakaterenga G	1	0.29
Mana tau	3 tuaka /3+1 tuaka /3+2 tuaka	3 tuaka /3+1 tuaka /3+2 tuaka
Momo mana tau	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
Te roangaru nm	532/1064	532/1064
Kua whakatauhia te mana W	50/100/200	50/100/200
Rererere wai	40-100	40-100
Pae pehanga pupuha	50-100	50-600
Ahu (taputapu miihini) (whanui * roa * teitei) mm	144519442260	170015002120
Rahi (rūnanga mana) (W * L * H)	70025001600	70025001600
Taumaha (taputapu) T	2.5	3
Taumaha (kaapene whakahaere) KG	800	800
Te kaha ki te tukatuka	Te taratara o te mata Ra≤1.6um Te tere whakatuwhera ≥1.25mm/s Te tapahi porohita ≥6mm/s Te tere tapahi raina ≥50mm / s	Te taratara o te mata Ra≤1.2um Te tere whakatuwhera ≥1.25mm/s Te tapahi porohita ≥6mm/s Te tere tapahi raina ≥50mm / s
	Mo te karaehe gallium nitride, nga taputapu semiconductor aputa roopu ultra-whanui (taimana/Gallium oxide), nga taonga motuhake mokowhiti, LTCC waro uku taputapu, photovoltaic, scintillator tioata me etahi atu taputapu tukatuka. Tuhipoka: He rereke te kaha o te tukatuka i runga i nga ahuatanga o nga rawa

Tukatuka take:

Nga ratonga a XKH:

Ka whakaratohia e te XKH te katoa o te tautoko ratonga huringa ora katoa mo nga taputapu hangarau laser microjet, mai i te whanaketanga o te wa o mua me te whiriwhiringa o nga taputapu, tae atu ki te whakaurunga o te punaha o te waa-waenganui (tae atu ki te taapiri motuhake o te puna laser, te punaha jet me te waahanga miihini), ki te mahi a muri ake nei me te whakangungu tiaki me te arotautanga o nga mahi tonu, kua rite te katoa o te mahi ki te tautoko a te roopu hangarau ngaio; I runga i te 20 tau o te wheako miihini tika, ka taea e matou te whakarato otinga kotahi-mutu tae atu ki te whakapumau taputapu, te whakaurunga whakaputanga papatipu me te whakautu tere i muri i te hoko (24 haora o te tautoko hangarau + te rahui waahanga mokowhiti matua) mo nga umanga rereke penei i te semiconductor me te rongoa, me te oati 12 marama te roa o te raihana me te tiaki mo te oranga me te ratonga whakahou. Me whakarite kia mau tonu nga taputapu a nga kaihoko ki nga mahi tukatuka me te pumau.