4H/6H-P 6inihi SiC angiangi Kore MPD kōeke Production Grade Dummy Kōeke

4H/6H-P 6inihi SiC angiangi Kore MPD kōeke Production Kōeke Dummy Kōeke Whakaatu Whakaahua

Whakaahuatanga Poto:

Ko te momo 4H/6H-P 6-inihi SiC wafer he rauemi semiconductor e whakamahia ana i roto i te hanga taputapu hiko, e mohiotia ana mo te pai o te kawe i te waiariki, te ngaohiko pakaru teitei, me te aukati ki te wera nui me te waikura. Ko te karaehe whakangao me te Zero MPD (Micro Pipe Defect) e whakarite ana i te pono me te pumau i roto i nga hikohiko hiko teitei. Ka whakamahia nga angiangi reanga-whakaputa mo te hanga taputapu nui-nui me te mana o te kounga o te kounga, engari ko nga angiangi reanga-rua ka whakamahia mo te mahi patuiro me te whakamatautau taputapu. Ko nga ahuatanga tino pai o te SiC ka whakamahia i roto i nga taputapu hiko teitei, ngaohiko teitei, me nga taputapu hiko, penei i nga taputapu hiko me nga taputapu RF.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

4H/6H-P Momo SiC Composite Substrates Ripanga tawhā noa

6 inihi diameter Silicon Carbide (SiC) Raupapa Whakatakotoranga

Kōeke			Kore MPD ProductionKōeke (Z Kōeke)	Waihanga PaerewaKōeke (P Kōeke)	Kōeke Dummy (D Kōeke)
Diamita			145.5 mm~150.0 mm
Te matotoru			350 μm ± 25 μm
Takotoranga Wafer			-Offtuaka: 2.0°-4.0° ki [1120] ± 0.5° mo te 4H/6H-P, I te tuaka:〈111〉± 0.5° mo te 3C-N
Kiatotanga Micropipe			0 cm-2
Te ātete	p-momo 4H/6H-P		≤0.1 Ωꞏcm		≤0.3 Ωꞏcm
	momo-n 3C-N		≤0.8 mΩꞏcm		≤1 m Ωꞏcm
Kaupapa Papatahi Tuatahi		4H/6H-P	-{1010} ± 5.0°
		3C-N	-{110} ± 5.0°
Te Roa Papatahi Tuatahi			32.5 mm ± 2.0 mm
Te Roa Papatahi Tuarua			18.0 mm ± 2.0 mm
Takotoranga Papatahi Tuarua			Silicon kanohi ki runga: 90° CW. mai i Prime flat ± 5.0°
Whakakorenga Tapa			3 mm		6 mm
LTV/TTV/Kopere / Warp			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Te taratara			Poroni Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra≤0.5 nm
Nga Kapiti Tapa Na Te Maama Nui			Karekau		Roa whakaemi ≤ 10 mm, kotahi roa≤2 mm
Nga Pereti Hex Na Te Maama Nui			Horahanga whakahiato ≤0.05%		Horahanga whakahiato ≤0.1%
Nga Rohe Polytype Ma te Maama Maama Nui			Karekau		Horahanga whakahiato≤3%
Nga Whakauru Wao Ataata			Horahanga whakahiato ≤0.05%		Horahanga whakahiato ≤3%
Nga Rakuraku o te Mata Silicon Na Te Maama Nui			Karekau		Roa whakahiato≤1×wafer diameter
Ko nga maramara Tapa Teitei Ma te Maama Kaha			Kore e whakaaetia kia ≥0.2mm te whanui me te hohonu		5 whakaaetia, ≤1 mm ia
Ko te Whakakinotanga o te Mata Silicon Na te Kaha Teitei			Karekau
Te takai			Ripene angiangi-maha, Ipu Angiangi Kotahi ranei

Tuhipoka:

※ Ko nga tepe koha ka pa ki te mata angiangi katoa engari mo te waahi whakakorenga taha. # Me tirotiro nga rakuraku ki te mata o Si o

Ko te momo 4H/6H-P 6-inihi SiC wafer me te koeke Zero MPD me te whakangao, te karaehe taarua ranei e whakamahia nuitia ana i roto i nga tono hiko matatau. Ko te pai o te kawe i te waiariki, te ngaohiko pakaru teitei, me te aukati ki nga taiao kino, he pai mo te hikohiko hiko, penei i nga huringa ngaohiko teitei me nga hurihuri. Ko te koeke Zero MPD e whakarite ana i nga hapa iti, he mea nui mo nga taputapu tino pono. Ka whakamahia nga angiangi reanga-whakaputa ki te hanga nui-nui o nga taputapu hiko me nga tono RF, he mea nui te mahi me te tika. Ko nga angiangi karaehe Dummy, i tetahi atu taha, ka whakamahia mo te whakatikatika i nga mahi, te whakamatautau taputapu, me te tauira tauira, e taea ai te whakahaere kounga i roto i nga taiao whakangao semiconductor.

Ko nga painga o nga taputapu hiato N-momo SiC ko

Te Waahanga Teitei: Ko te wafer 4H / 6H-P SiC he pai te whakakore i te wera, he pai mo nga tono hiko teitei me te kaha.
Ngaohiko Paanga Teitei: Ko tana kaha ki te hapai i nga ngaohiko teitei me te kore he ngoikoretanga he pai mo te hikohiko hiko me nga tono whakawhiti ngaohiko teitei.
Kore MPD (Micro Pipe Defect) Kōeke: Ko te iti o te kiato koha ka whakapumau i te pono me te mahi, he mea nui mo te tono taputapu hiko.
Whakangao-Koeke mo te Hanga Papatipu: He pai mo te hanga nui-nui o nga taputapu semiconductor teitei me nga paerewa kounga kaha.
Koeke Dummy mo te Whakamatau me te Whakatau: Ka taea te arotautanga o te tukanga, te whakamatautau taputapu, me te tauira tauira me te kore e whakamahi i nga angiangi whakangao utu nui.

I roto i te katoa, 4H/6H-P 6-inihi SiC angiangi me te koeke Zero MPD, te karaehe whakangao, me te karaehe taarua he tino painga mo te whanaketanga o nga taputapu hiko tino mahi. Ko enei wafers he tino painga ki nga tono e hiahia ana ki te mahi i te wera-nui, te kaha o te kaha, me te kaha o te hurihanga hiko. Ko te karaehe Zero MPD e whakarite ana i nga hapa iti mo te mahi pono me te pumau o te taputapu, i te wa e tautoko ana nga angiangi whakangao-whakangao i nga mahi hanga-nui me nga mana o te kounga. Ka whakaratohia e nga angiangi karaehe he otinga utu-utu mo te arotautanga o nga mahi me te whakatikatika taputapu, na te mea he mea tino nui mo te hangahanga semiconductor tino tika.