3 inihi Te Maamaa Teitei (Kaore) Hiriona Waaporo Angiangi Waahanga Waahanga Waahanga Sic Substrates (HPSl)

3 inihi Te Maamaa Teitei (Kaore) Hiriwa Wafers Wafers Wafers Waahanga Sic Substrates (HPSl) Whakaahua Whakaatu

Whakaahuatanga Poto:

Ko te 3-inihi High Purity Semi-Insulating (HPSI) Silicon Carbide (SiC) wafer he tïpako utu-moni kua arotauhia mo te kaha-nui, te auau-nui, me nga tono optoelectronic. I hangaia me nga rawa 4H-SiC tino-kore, tino parakore, e whakaatu ana enei angiangi i te pai o te kawe waiariki, te aputa whanui, me nga ahuatanga motuhake-a-whao, he mea tino nui mo te whanaketanga taputapu matatau. Ma te pai o te hanganga me te kounga o te mata, ka noho nga taputapu HPSI SiC hei turanga mo nga hangarau whakatipuranga o muri mai i roto i te hikohiko hiko, te waea, me nga umanga aerospace, e tautoko ana i nga mahi auaha puta noa i nga mara rereke.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Āhuatanga

1. Nga Ahuatanga Tinana me te Hanganga
●Momo Maama: Te Maamaa Teitei (Kaore i Whakakorehia) Silicon Carbide (SiC)
●Diamita: 3 inihi (76.2 mm)
●Matotoru: 0.33-0.5 mm, ka taea te whakarite i runga i nga whakaritenga tono.
●Hanga Kiriata: 4H-SiC polytype me te hexagonal lattice, e mohiotia ana mo te nekehanga hiko teitei me te pumau o te waiariki.
●Takanga:
oPaerewa: [0001] (C-rererangi), e tika ana mo te whānuitanga o nga tono.
oKwhiria: Tuaka-atu (4°, 8° titaha ranei) mo te whakanui ake i te tipu epitaxial o nga paparanga taputapu.
●Flatness: Tapeke rerekētanga matotoru (TTV) ●Kounga Mata:
oKia whakakoi ki te kiato iti-koha (<10/cm² kiato moroiti). 2. Nga Taonga Hiko ●Resistivity: >109^99 Ω·cm, ka mau tonu ma te whakakore i nga dopants.
●Te kaha o te Dielectric: Te kaha o te ngaohiko teitei me te iti o nga mate dielectric, he pai mo nga tono kaha-nui.
●Whakaahua Ngaaariki: 3.5-4.9 W/cm·K, ka taea te tohanga wera whai hua i roto i nga taputapu mahi nui.

3. Ngaaahua Ngaaariki me te Hangaia
●Wide Bandgap: 3.26 eV, te tautoko i te mahi i raro i te ngaohiko teitei, te teitei o te wera, me nga tikanga radiation teitei.
●Maamaa: Mohs tauine 9, e whakapumau ana i te pakari ki nga kakahu miihini i te wa e tukatuka ana.
●Waariki Roha Whakarea: 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, e whakarite ana i te pumau o te ahu i raro i nga rereketanga o te pāmahana.

Tawhā	Koeke Whakaputa	Koeke Rangahau	Kōeke Dummy	Waeine
Kōeke	Koeke Whakaputa	Koeke Rangahau	Kōeke Dummy
Diamita	76.2 ± 0.5	76.2 ± 0.5	76.2 ± 0.5	mm
Mātotoru	500 ± 25	500 ± 25	500 ± 25	µm
Takotoranga Wafer	I runga-tuaka: <0001> ± 0.5°	I runga-tuaka: <0001> ± 2.0°	I runga-tuaka: <0001> ± 2.0°	tohu
Kiatotanga Micropipe (MPD)	≤ 1	≤ 5	≤ 10	cm−2^-2−2
Te Atete Hiko	≥ 1E10	≥ 1E5	≥ 1E5	Ω·cm
Dopant	Kua wetekina	Kua wetekina	Kua wetekina
Kaupapa Papatahi Tuatahi	{1-100} ± 5.0°	{1-100} ± 5.0°	{1-100} ± 5.0°	tohu
Te Roa Papatahi Tuatahi	32.5 ± 3.0	32.5 ± 3.0	32.5 ± 3.0	mm
Te Roa Papatahi Tuarua	18.0 ± 2.0	18.0 ± 2.0	18.0 ± 2.0	mm
Takotoranga Papatahi Tuarua	90° CW mai i te papa tuatahi ± 5.0°	90° CW mai i te papa tuatahi ± 5.0°	90° CW mai i te papa tuatahi ± 5.0°	tohu
Whakakorenga Tapa	3	3	3	mm
LTV/TTV/Kopere/Warp	3 / 10 / ±30 / 40	3 / 10 / ±30 / 40	5 / 15 / ±40 / 45	µm
Riroke Mata	Si-kanohi: CMP, C-kanohi: Kua orohia	Si-kanohi: CMP, C-kanohi: Kua orohia	Si-kanohi: CMP, C-kanohi: Kua orohia
Nga Kapiti (Te Maama-Kaimaha)	Karekau	Karekau	Karekau
Nga Pereti Hex (Maama-Kairahi)	Karekau	Karekau	Horahanga whakahiato 10%	%
Nga Rohe Momo Momo (Maama-Kaimaha)	Horahanga whakahiato 5%	Horahanga whakahiato 20%	Horahanga whakahiato 30%	%
Nga karawarawa (Te Maama-Kaimaha)	≤ 5 karawarawa, te roa whakaemi ≤ 150	≤ 10 karawarawa, te roa whakaemi ≤ 200	≤ 10 karawarawa, te roa whakaemi ≤ 200	mm
Tapatapahi Tapa	Kore ≥ 0.5 mm te whanui/hohonu	2 whakaaetia ≤ 1 mm te whanui/hohonu	5 whakaaetia ≤ 5 mm te whanui/hohonu	mm
Parahanga Mata	Karekau	Karekau	Karekau

Nga tono

1. Hiko Hiko
Ko te whanui whanui me te kaha o te wera wera o nga taputapu HPSI SiC e pai ana mo nga taputapu hiko e mahi ana i nga ahuatanga tino kino, penei:
●Ngā Pūrere Ngaohiko Teitei: Kei roto ko MOSFET, IGBT, me Schottky Barrier Diodes (SBDs) mo te huri hiko pai.
●Pūnaha Pūnaha Whakahoutanga: Pērā i te whakahuri o te ra me te kaiwhakahaere hiko hiko.
●Nga Waka Hiko (EVs): Ka whakamahia i roto i nga kaitahurihuri, nga riihi, me nga punaha hiko hei whakapai ake i te pai me te whakaiti i te rahi.

2. Nga tono RF me te Ngaruiti
Ko te nui o te parenga me te iti o te mate dielectric o nga wafers HPSI he mea nui mo te reo irirangi (RF) me nga punaha ngaruiti, tae atu ki:
●Hanga Waea Whakawhitiwhiti: Nga teihana turanga mo nga whatunga 5G me nga korero amiorangi.
●Aerospace and Defence: Pūnaha radar, antennas-array phased, me nga waahanga avionics.

3. Optoelectronics
Ko te maarama me te whanui whanui o te 4H-SiC ka taea te whakamahi i nga taputapu optoelectronic, penei:
●UV Photodetectors: Mo te aro turuki i te taiao me te taatai rongoa.
●Nga Arahina Mana Nui: Te tautoko i nga punaha rama-a-papa.
●Diodes Laser: Mo nga mahi ahumahi me nga mahi hauora.

4. Rangahau me te Whanaketanga
Ko nga taputapu HPSI SiC e whakamahia nuitia ana i roto i nga whare taiwhanga R&D matauranga me te ahumahi mo te torotoro i nga rawa o mua me te hanga taputapu, tae atu ki:
●Epitaxial Layer Growth: Nga rangahau mo te whakaheke koha me te arotautanga paparanga.
●Te Akoranga Mokowhiti Kaikawe: Te tirotiro i te kawe irahiko me te kohao i roto i nga rawa tino parakore.
●Te Whakatauira: Te whanaketanga tuatahi o nga taputapu hou me nga iahiko.

Nga painga

Kounga Kairangi:
Ko te parakore teitei me te iti o te kiato koha e whakarato ana i te turanga pono mo nga tono matatau.

Pūmautanga Weariki:
He pai nga ahuatanga o te wera wera ka taea e nga taputapu te mahi pai i raro i te mana teitei me nga tikanga pāmahana.

Hototahi whanui:
Ko nga whakatakotoranga e waatea ana me nga whiringa matotoru ritenga ka whakarite i te urutau mo nga momo whakaritenga taputapu.

Mauroa:
Ko te tino pakeke me te pumau o te hanganga ka whakaiti i te kakahu me te whakarereketanga i te wa e tukatuka ana me te mahi.

Raukaha:
He pai mo te whānuitanga o nga umanga, mai i te kaha whakahou ki te aerospace me te waea.

Whakamutunga

Ko te 3-inihi High Purity Semi-Insulating Silicon Carbide wafer e tohu ana i te keokeonga o te hangarau tïpako mo te hiko teitei, te auau teitei, me nga taputapu optoelectronic. Ko tana whakakotahitanga o nga mea pai rawa atu o te waiariki, te hiko, me te miihini e whakarite ana i te mahi pono i roto i nga taiao wero. Mai i te hikohiko hiko me nga punaha RF ki te optoelectronics me te R&D matatau, ko enei taputapu HPSI te turanga mo nga mahi hou apopo.
Mo etahi atu korero, ki te tuku ota ranei, me waea mai ki a maatau. Kei te waatea to taatau roopu hangarau ki te whakarato i nga whiringa arataki me nga whakaritenga whakarite kia rite ki o hiahia.