12 inihi SIC tïpako silicon carbide kōeke matua diameter 300mm rahi nui 4H-N He pai mo te taputapu hiko teitei tohanga wera

12 īnihi Tïpako SIC silicon carbide kōeke matua diameter 300mm rahi nui 4H-N E tika ana mo te taputapu hiko teitei torere wera Whakaahua Whakaatuhia

Whakaahuatanga Poto:

Ko te tïpako carbide silicon 12-inihi (SiC tïpako) he tïpako rauemi semiconductor nui-rahi, mahi teitei i hangaia mai i te karaihe kotahi o te carbide silicon. Ko te Silicon carbide (SiC) he rauemi semiconductor mokowhiti whanui me nga taonga hiko, waiariki me te miihini, e whakamahia nuitia ana i roto i te hanga o nga taputapu hiko i roto i te kaha teitei, te auau teitei me te taiao teitei. Ko te tïpako 12-inihi (300mm) ko te tohu matatau o naianei mo te hangarau carbide silicon, e tino pai ake ai te whakaputa me te whakaiti i nga utu.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Nga ahuatanga hua

1. Te kaha o te waiariki: he nui ake i te 3 nga wa o te hiko o te waiariki o te carbide silicon, e tika ana mo te wera o te taputapu mana nui.

2. Te kaha o te waahi pakaru: Ko te kaha o te waahi pakaru he 10 nga wa o te silicon, e tika ana mo nga tono teitei.

3.Wide bandgap: Ko te bandgap he 3.26eV (4H-SiC), e tika ana mo te teitei o te wera me nga tono auau tiketike.

4. Te pakeke: Ko te pakeke o Mohs he 9.2, tuarua anake ki te taimana, he pai te whakakakahu me te kaha miihini.

5. Te pumau matū: te kaha o te waikura, te mahi pumau i roto i te pāmahana teitei me te taiao kino.

6. Rahi nui: 12 inihi (300mm) tïpako, whakapai ake production tōtika, whakaiti utu wae.

7.Low kiato hapa: kounga teitei hangarau kotahi karaihe tipu ki te whakarite kiato koha iti me te rite tiketike.

Hua ahunga tono matua

1. Hikohiko hiko:

Mosfets: Ka whakamahia i roto i nga waka hiko, nga taraiwa motika ahumahi me nga kaitahuri hiko.

Diodes: penei i te Schottky diodes (SBD), e whakamahia ana mo te whakatikatika pai me te whakawhiti i nga taputapu hiko.

2. Nga taputapu Rf:

Rf whakakaha hiko: whakamahia i roto i nga teihana turanga korero 5G me nga korero amiorangi.

Nga taputapu ngaruiti: He pai mo te radar me nga punaha whakawhitiwhiti ahokore.

3. Nga waka hiko hou:

Nga punaha taraiwa hiko: nga kaiwhakahaere motuka me nga kaitahuri mo nga waka hiko.

Puka utu: Kowae hiko mo nga taputapu utu tere.

4. Nga tono Ahumahi:

Inverter ngaohiko teitei: mo te whakahaere motuka ahumahi me te whakahaere kaha.

Mātiti atamai: Mo te tuku HVDC me nga huringa hiko hiko.

5. Aerospace:

Te hikohiko teitei: e tika ana mo nga taiao teitei o nga taputapu aerospace.

6. Marae rangahau:

Rangahau whänui whänui whänui: mo te whanaketanga o nga rawa me nga taputapu hiko.

Ko te tïpako carbide silicon 12-inihi he momo tïpako rauemi semiconductor tino mahi me nga taonga pai penei i te kaha o te waiariki, te kaha o te waahi pakaru me te whanui whanui. Kei te whakamahia nuitia i roto i te hiko hiko, i nga taputapu reo irirangi, i nga waka hiko hou, i te whakahaere ahumahi me te aerospace, a he mea matua hei whakatairanga i te whanaketanga o te reanga o muri mai o nga taputapu hiko pai me te kaha nui.

Ahakoa he iti ake te tono tika o nga taputapu carbide silicon i tenei wa i roto i te hikohiko kaihoko penei i nga karaihe AR, ko to raatau kaha ki te whakahaere hiko pai me te hikohiko iti ka taea te tautoko i nga otinga whakangao hiko ngawari, teitei mo nga taputapu AR/VR kei te heke mai. I tenei wa, ko te whakawhanaketanga matua o te taputapu carbide silicon e arotahi ana ki nga waahi ahumahi penei i nga waka hiko hou, nga hanganga korero me te ahumahi ahumahi, me te whakatairanga i te ahumahi semiconductor ki te whakawhanake i roto i te huarahi tino pai me te pono.

Kei te kaha a XKH ki te whakarato i nga taputapu SIC 12 kounga teitei me te tautoko hangarau me nga ratonga, tae atu ki:

1. Whakaritea te hanga: E ai ki nga hiahia o te kaihoko ki te whakarato i te parenga rereke, te ahua o te karaihe me te taputapu maimoatanga mata.

2. Te mahi arotautanga: Whakaratohia nga kaihoko ki te tautoko hangarau o te tipu epitaxial, te hanga taputapu me etahi atu tukanga hei whakapai ake i nga mahi hua.

3. Te Whakamatau me te Tiwhikete: Whakaratohia he tohu tino koha me te tiwhikete kounga hei whakarite kia tutuki te taputapu ki nga paerewa ahumahi.

4.R&d mahi tahi: Te whakawhanake tahi i nga taputapu carbide silicon hou me nga kaihoko ki te whakatairanga i nga mahi hangarau.

Tūtohi raraunga

1 2 inihi Silicon Carbide (SiC) Whakatakotoranga Papanga
Kōeke		ZeroMPD Production Kōeke(Z Kōeke)	Waihanga Paerewa Kōeke(P Kōeke)		Kōeke Dummy (D Kōeke)
Diamita		3 0 0 mm~305mm
Mātotoru	4H-N	750μm±15μm	750μm±25μm
	4H-SI	750μm±15μm	750μm±25μm
Takotoranga Wafer		Tuaka Weto : 4.0° ki te <1120 >±0.5° mo te 4H-N, I te tuaka : <0001>±0.5° mo te 4H-SI
Kiatotanga Micropipe	4H-N	≤0.4cm-2	≤4cm-2		≤25cm-2
	4H-SI	≤5cm-2	≤10cm-2		≤25cm-2
Te ātete	4H-N	0.015~0.024 Ω·cm			0.015~0.028 Ω·cm
	4H-SI	≥1E10 Ω·cm			≥1E5 Ω·cm
Kaupapa Papatahi Tuatahi		{10-10} ±5.0°
Te Roa Papatahi Tuatahi	4H-N	N/A
	4H-SI	Kaniwha
Whakakorenga Tapa		3 mm
LTV/TTV/Kopere / Warp		≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm			≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm
Te taratara		Poroni Ra≤1 nm
		CMP Ra≤0.2 nm			Ra≤0.5 nm
Nga Kapiti Tapa Na Te Maama Nui Nga Pereti Hex Na Te Maama Nui Nga Rohe Polytype Ma te Maama Maama Nui Nga Whakauru Wao Ataata Nga Rakuraku o te Mata Silicon Na Te Maama Nui		Karekau Horahanga whakahiato ≤0.05% Karekau Horahanga whakahiato ≤0.05% Karekau			Te roa whakaemi ≤ 20 mm, kotahi te roa≤2 mm Horahanga whakahiato ≤0.1% Horahanga whakahiato≤3% Horahanga whakahiato ≤3% Roa whakahiato≤1×wafer diameter
Tapahi Tapa Na Te Maama Kaha Teitei		Kore e whakaaetia kia ≥0.2mm te whanui me te hohonu			7 whakaaetia, ≤1 mm ia
(TSD) Wehenga wiro miro		≤500 cm-2		N/A
(BPD) Te wehenga rererangi turanga		≤1000 cm-2		N/A
Ko te Whakakino o te Mata o Silicon Na te Maama Maama Nui		Karekau
Te takai		Ripene Angiangi-maha, Ipu Angiangi Kotahi ranei
Tuhipoka:
1 Ko nga rohe koha ka pa ki te mata angiangi katoa engari mo te waahi whakakorenga taha. 2Me tirohia nga rakuraku ki te kanohi Si anake. 3 Ko nga raraunga wehenga mai i nga angiangi kua taraihia e KOH.

Ka haere tonu te haumi a XKH ki te rangahau me te whakawhanaketanga hei whakatairanga i te pakaruhanga o nga taputapu carbide silicon 12-inihi i roto i te rahi, te iti o nga hapa me te rite tonu, i te wa e tirotirohia ana e XKH ana tono i roto i nga waahi ka puta ake penei i te hikohiko kaihoko (penei i nga waahanga hiko mo nga taputapu AR / VR) me te rorohiko quantum. Ma te whakaiti i nga utu me te whakanui ake i te kaha, ka kawea mai e te XKH te pai ki te ahumahi semiconductor.