Ripanga Ihirangi
1.Ko Nga Whainga Matua me te Hiranga o te Whakapai Wafer
2.Te Aromatawai Whakakino me nga Tikanga Taatari Ake
3. Nga Tikanga Whakapai Ake me nga Tikanga Hangarau
4.Te Whakatinana Hangarau me nga Tikanga Mana Whakahaere
5.Nga Tikanga Ake me nga Arahanga Hou
6.XKH Whakamutunga-ki-Whakamutunga Rongoa me te Rauwiringa Kaiao Ratonga
Ko te horoi wafer he mahi tino nui i roto i te hanga semiconductor, na te mea ka taea e nga poke taumata-ngota te whakaheke i te mahi o te taputapu, te tuku ranei. Ko te tikanga horoi he maha nga waahanga hei tango i nga momo poke, penei i nga toenga pararopi, nga poke konganuku, nga matūriki, me nga waikura taketake.
1. Nga Whainga o te Wafer Cleaning
- Tango i nga parapara pararopi (hei tauira, nga toenga photoresist, tapumati).
- Whakamutua nga poke konganuku (hei tauira, Fe, Cu, Ni).
- Whakamutua te poke matūriki (hei tauira, te puehu, nga kongakonga silicon).
- Tangohia nga waikura taketake (hei tauira, nga paparanga SiO₂ i hanga i te wa e pa ana te hau).
2. Te Hiranga o te Horoi Wafera Kaha
- Ka whakarite kia nui te hua o te tukanga me te mahinga o te taputapu.
- Ka whakaheke i nga hapa me nga reeti mokamoka angiangi.
- Ka whakapai ake i te kounga o te mata me te riterite.
I mua i te horoi kaha, he mea nui ki te aromatawai i te poke o te mata. Ma te mohio ki te momo, te tohatoha rahi, me te whakatakotoranga mokowhiti o nga mea poke i runga i te mata angiangi ka pai ake te horoi matū me te whakaurunga hiko miihini.
3. Nga Tikanga Taatari Ake mo te Aromatawai Parahanga
3.1 Tātari Matūriki Mata
- Ka whakamahia e nga porotiti matūriki motuhake te whakamararatanga laser, te tirohanga rorohiko ranei ki te tatau, te rahi, me te mapi i nga otaota mata.
- Ko te kaha o te marara marama e hono ana ki nga rahi matūriki iti penei i te tekau nanometers me te kiato iti ki te 0.1 matūriki/cm².
- Ko te whakatikatika me nga paerewa ka whakarite i te pono o nga taputapu. Ko nga karapa o mua me muri i te horoi ka whakamana i te pai o te tango, te whakapai ake i nga mahi.
3.2 Te Taatari Mata Kaupapa
- Ka tautuhia e nga tikanga tairongo-mata te titonga huānga.
- X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS/ESCA): Ka wetewete i nga ahuatanga matū o te mata ma te whakamaarama i te angiangi ki nga hihi-X me te ine i nga irahiko tuku.
- Te Tirohanga Maamaa Maamaa Te Maamaa (GD-OES): Ka kokirihia nga paparanga mata tino angiangi i a ia e tarai ana i te hiranga kua tukuna hei whakatau i te titonga huānga e whakawhirinaki ana ki te hohonu.
- Ka tae nga rohe rapu ki nga waahanga mo ia miriona (ppm), e arahi ana i te kowhiringa matū horoi tino pai.
3.3 Te Taatari Whakakino Morphological
- Matawai Electron Microscopy (SEM): Ka hopu i nga whakaahua taumira teitei hei whakaatu i nga ahua o te parakino me nga ahuatanga owehenga, e tohu ana i nga tikanga piri (matū me te miihini).
- Atomic Force Microscopy (AFM): Mahere nanoscale topography ki te ine teitei matūriki me ngā āhuatanga pūkaha.
- Te Arotahi Ion Beam (FIB) Milling + Transmission Electron Microscopy (TEM): Ka whakarato i nga tirohanga o roto o nga mea poke kua tanumia.
4. Nga Tikanga Whakapai Ake
Ahakoa ka taea e te horoi whakarewa te tango i nga mea poke pararopi, ka hiahiatia etahi atu tikanga matatau mo nga matūriki parakore, nga toenga konganuku, me nga poke katote:
4.1 Whakapai RCA
- I whakawhanakehia e RCA Laboratories, ka whakamahia e tenei tikanga he tukanga kaukau-rua hei tango i nga poke polar.
- SC-1 (Paerewa Maemaa-1): Ka tango i nga parapara me nga matūriki ma te whakamahi i te ranunga o NH₄OH, H₂O₂, me H₂O (hei tauira, 1:1:5 ōwehenga i ~20°C). Ka hangaia he paparanga hauhauora angiangi.
- SC-2 (Paerewa Clean-2): Ka tango i nga para konganuku ma te whakamahi i HCl, H₂O₂, me H₂O (hei tauira, 1:1:6 ōwehenga i ~80°C). Ka waiho he mata koretake.
- Ka whakataurite i te ma me te whakamarumaru mata.
4.2 Te pure ozone
- Ka rumakina nga mea angiangi ki roto i te wai whakaonohi-ozone (O₃/H₂O).
- He pai te whakapouri me te tango i nga mea pararopi me te kore e pakaru te angiangi, ka waiho he mata matū kua pahemo.
4.3 Whakapai Megasonic
- Ka whakamahi i te kaha ultrasonic auau nui (te nuinga o te 750–900 kHz) ka honoa me nga otinga horoi.
- Ka whakaputa i nga mirumiru cavitation hei whakakore i nga mea poke. Ka kuhu i nga ahuahanga matatini i te wa e whakaiti ana i te kino o nga hanganga ngawari.
4.4 Horoi Cryogenic
- Ka tere te whakamatao i nga mea angiangi ki te pāmahana cryogenic, nga para poke.
- Ko te horoinga o muri mai, te paraihe ngawari ranei ka tango i nga matūriki kua wetekina. Ka aukati i te whakapouritanga me te horapa ki te mata.
- He tere, he tukanga maroke me te iti o te whakamahinga matū.
Whakamutunga:
Hei kaiwhakarato otinga semiconductor mekameka-katoa, ka akiakihia a XKH e nga mahi hangarau me te hiahia a nga kaihoko ki te tuku i tetahi punaha rauwiringa kaiao ratonga mutunga-ki-mutunga e uru ana ki nga taputapu taputapu teitei, hanga wafer, me te horoi tika. Ehara i te mea ka tukuna e matou nga taputapu semiconductor e mohiotia ana e te ao (hei tauira, nga miihini lithography, nga punaha etching) me nga rongoatanga kua whakaritea engari ano hoki nga hangarau rangatira paionia—tae atu ki te horoi RCA, te pure ozone, me te horoi megasonic—hei whakarite i te ma o te taumata ngota mo te hanga angiangi, e tino whakanui ana i te hua o te kiritaki me te pai o te whakaputa. Ma te whakamahi i nga roopu whakautu tere a rohe me nga whatunga ratonga mohio, ka whakaratohia e matou he tautoko matawhānui mai i te whakauru taputapu me te arotautanga tukanga ki te tiaki matapae, te whakamana i nga kaihoko ki te hinga i nga wero hangarau me te ahu whakamua ki te tino tika me te whanaketanga semiconductor taumau. Whiriwhiria maatau mo te mahi takirua-wini mo te tohungatanga hangarau me te uara arumoni.
Te wa tuku: Sep-02-2025