Silicon Wafers vs. Glass Wafers: He aha ta tatou e horoi? Mai i te Maama Rawa ki nga otinga horoi i runga i te Tukatuka

Ahakoa he rite tahi nga angiangi kirikiri me te karaehe ki te whainga noa kia “horoia,” he tino rerekee nga wero me nga momo ngoikoretanga e pa ana ki a ratou i te wa e horoi ana. Ko tenei rereketanga ka puta mai i nga taonga tuuturu me nga whakaritenga whakakitenga o te silicon me te karaehe, tae atu ki te "whakaaronga" motuhake mo te horoi na o raatau tono whakamutunga.

Tuatahi, me whakamarama tatou: He aha ta tatou e horoi? He aha nga mea poke kei roto?

Ka taea te whakarōpūtia nga mea poke ki nga waahanga e wha:

1. Whakakino Matūriki

   • Puehu, matūriki whakarewa, matūriki waro, matūriki abrasive (mai i te tukanga CMP), aha atu.

   • Ka taea e enei mea poke te whakararu i nga tauira, penei i te tarau poto, i te ara iahiko tuwhera ranei.

2. Nga Whakakino Organic

   • Kei roto ko nga toenga photoresist, nga taapiri kapia, nga hinu kiri tangata, nga toenga whakarewa, aha atu.

   • Ka taea e nga mea poke pararopi te hanga kopare hei arai i te tarai, i te whakaurunga katote ranei me te whakaiti i te piri o etahi atu kiriata angiangi.

3. Whakakino Katote Kotara

   • Te rino, te parahi, te konutai, te pāhare pāporo, te konupūmā, me ētahi atu, i ahu mai i ngā taputapu, ngā matū, me te whakapā tangata.

   • I roto i nga semiconductors, he "kaipatu" nga katote whakarewa, e whakauru ana i nga taumata o te kaha ki roto i te roopu aukati, ka piki ake te rerenga rerenga, ka whakapoto i te oranga o te kaikawe, ka tino kino nga taonga hiko. I roto i te karaihe, ka pa ki te kounga me te piri o nga kiriata kikokore o muri mai.

4. Papa Oxide Maori

   • Mo nga mea angiangi silicon: He papa angiangi o te hiako hauhauora (Native Oxide) ka puta mai i runga i te mata o te rangi. Ko te matotoru me te riterite o tenei paparanga waikura he uaua ki te whakahaere, me tino tangohia i te wa e hangaia ana nga hanganga matua penei i te waikura kuaha.

   • Mo nga angiangi karaihe: Ko te karaehe ano he hanganga whatunga silica, no reira kaore he take mo te "tango i te paparanga waikura taketake." Heoi, kua whakarereketia pea te mata na te poke, a me tango tenei paparanga.

I. Nga Whainga Matua: Te Rerekeke i waenga i nga Mahi Hiko me te Tino Tino

• Nga Wafers Silicon

  • Ko te kaupapa matua o te horoi ko te whakarite mahi hiko. Ko te tikanga ko nga tatauranga matūriki me te rahi (hei tauira, me tango tika nga matūriki ≥0.1μm), te kuhanga katote whakarewa (hei tauira, Fe, Cu me whakahaere ki te ≤10¹⁰ ngota/cm² iti iho ranei), me nga taumata toenga waro. Ahakoa te pokenga moroiti ka arai ki nga tarau ara iahiko, te rere o te au, te kore ranei o te tika o te waikura kuaha.

• Wafers Karaehe

  • Hei taputapu, ko nga whakaritenga matua ko te tino tinana me te pumau matū. Ko nga korero e aro ana ki nga ahuatanga o te taumata tonotono penei i te korenga o nga rakuraku, nga taakaa kore e taea te tango, me te pupuri i te kirikiri mata taketake me te ahuahanga. Ko te whainga horoi ko te whakarite i te ma o te tirohanga me te piri pai mo nga mahi ka whai ake penei i te paninga.

II. Taiao Rawa: Te Rerekētanga Matua i waenga i te Crystalline me te Amorphous

• Silicon

  • Ko te Silicon he rauemi tioata, a ko tona mata ka tupu noa he paparanga waikura kore-rite (SiO₂). Ko tenei paparanga waikura ka tupono ki te mahi hiko, me ata tango kia rite.

• Karaihe

  • Ko te karaihe he whatunga silica amorphous. He rite tonu te hanganga o ona rawa ki te paparanga waikura o te silicon, ko te tikanga ka taea te tarai tere e te waikawa hydrofluoric (HF) me te whakaraerae ki te horo kawakore kaha, ka piki ake te taratara o te mata, te rereke ranei. Ko tenei rereketanga nui e kii ana ka taea e te horoi angiangi silicon te whakamaarama i te maama, te tarai i te tarai hei tango i nga mea poke, engari me tino tupato te horoi o te karaehe angiangi kia kore ai e pakaru te papanga turanga.

III. Whakatauritenga o nga Rongoa Whakapai

I runga i nga whaainga kua kiia ake nei me nga ahuatanga o te papanga, he rereke nga otinga horoi mo te silicon me te karaihe angiangi:

• Tukanga Whakapai Karahe Wafer

  • I tenei wa, ko te nuinga o nga tipu tukatuka karaihe e whakamahi ana i nga tikanga horoi i runga i nga ahuatanga o te karaehe, me te whakawhirinaki tuatahi ki nga kaihoroi ngoikore ngoikore.

  • Nga Ahuatanga o te Kaihoko horoi:Ko enei taputapu horoi motuhake he ngoikore te kawakore, me te pH huri noa i te 8-9. Kei roto i te nuinga o nga wa he surfactants (hei tauira, alkyl polyoxyethylene ether), he mea whakakoi whakarewa (hei tauira, HEDP), me nga awhina horoi waro, i hangaia hei whakakoi me te whakapoapoa i nga mea poke waro penei i te hinu me nga tapumati, i te mea he iti rawa te pirau ki te kopu karaihe.

  • Rere Tukatuka:Ko te tukanga horoi angamaheni ko te whakamahi i te kukū motuhake o nga kaihoroi kawakore ngoikore i te pāmahana mai i te pāmahana rūma ki te 60 ° C, me te horoi ultrasonic. I muri i te horoinga, he maha nga horoinga o nga angiangi ki te wai parakore me te whakamaroke ngawari (hei tauira, te hiki puhoi, te whakamaroke kohu IPA ranei). Ka tutuki pai tenei tukanga ki nga whakaritenga angiangi karaihe mo te ma o te tirohanga me te ma whanui.

• Tukatuka Horoi Angiangi Silicon

  • Mo te tukatuka semiconductor, ko nga wafers silicon te nuinga o te wa e mahi ana i te horoi RCA paerewa, he tikanga horoi tino whai hua e kaha ana ki te whakatika nahanaha ki nga momo poke katoa, me te whakarite kia tutuki nga whakaritenga mahi hiko mo nga taputapu semiconductor.

IV. Ina Tutaki te Karaihe ki nga Paerewa "Maama" teitei ake

Ina whakamahia nga angiangi karaihe i roto i nga tono e kii ana i nga tatau matūriki pakari me nga taumata katote whakarewa (hei tauira, hei taputapu i roto i nga tukanga semiconductor, mo nga papa tuunga kiriata angiangi pai rawa atu ranei), kaore pea i te rawaka te mahi horoi o roto. I roto i tenei take, ka taea te whakamahi i nga maataapono horoi semiconductor, me te whakauru i tetahi rautaki horoi RCA kua whakarereketia.

Ko te kaupapa matua o tenei rautaki ko te waimeha me te arotau i nga tawhā tukanga RCA paerewa hei whakauru i te ahua tairongo o te karaihe:

• Tango Parapara Organic:Ka taea te whakamahi i nga otinga SPM me te wai ozone ngawari ake ki te whakakorikori i nga poke pararopi ma te kaha o te waiora.

• Tango Matūriki:Ka whakamahia te otinga SC1 tino waimeha ki nga pāmahana iti me nga wa maimoatanga poto ake hei whakamahi i tana whakangao hiko me nga paanga moroiti-wairua hei tango matūriki, me te whakaiti i te pirau i runga i te karaihe.

• Tango Katote Kotara:Ka whakamahia he wairewa SC2 waimeha, he wairewa waimaota waimaota ngawari ranei hei tango i nga poke whakarewa ma te chelation.

• Nga Rahui Tino:Me tino karohia te DHF (di-ammonium fluoride) kia kore ai te waikura o te taputapu karaihe.

I roto i te tukanga whakarereke katoa, ko te whakakotahi i nga hangarau megasonic ka tino whakanui ake i te kaha o te tango i nga matūriki nano-rahi, me te ngawari ki te mata.

Whakamutunga

Ko nga tikanga horoi mo te hiako me te angiangi karaihe ko te hua e kore e taea e te miihini whakamuri i runga i o raatau tono tono whakamutunga, nga rawa taonga, me nga ahuatanga o te tinana me te matū. Ko te horoi angiangi Silicon e rapu ana i te "maama taumata-ngota" mo te mahi hiko, ko te horoi angiangi karaihe e aro ana ki te whakatutuki i nga papa-a-tinana "tino, kaore i pakaru". I te mea kei te kaha haere nga angiangi karaihe ki roto i nga tono semiconductor, kare e kore ka puta ake a raatau mahi horoi ki tua atu o te horoi kawakore tuku iho, te whakawhanake i nga rongoatanga pai ake, kua rite ki te tikanga RCA kua whakarereketia kia tutuki nga paerewa maemaa ake.