Wafer Substrates hei Rauemi matua i roto i nga taputapu Semiconductor
Ko nga taputapu wafer ko nga kaikawe tinana o nga taputapu semiconductor, a ko o raatau taonga ka whakatau tika i te mahinga o te taputapu, te utu, me nga waahanga tono. Kei raro nei nga momo matua o nga taputapu angiangi me o raatau painga me o raatau ngoikoretanga:
-
Tuha Maake:Neke atu i te 95% o te maakete semiconductor o te ao.
-
Painga:
-
Utu iti:He maha nga rauemi mata (silicon dioxide), nga mahi whakangao pakeke, me te ohanga kaha o te tauine.
-
Hototahi tukanga teitei:He tino pakeke te hangarau CMOS, e tautoko ana i nga pona matatau (hei tauira, 3nm).
-
Kounga tioata pai:Ka taea te whakatipuria nga angiangi-rahi (te nuinga 12-inihi, 18-inihi kei te whanake) he iti te kiato koha.
-
Āhuatanga pūkaha pūmau:He ngawari ki te tapahi, ki te whakakoi, ki te hapai.
-
-
Nga huakore:
-
Mokowhiti herenga whaiti (1.12 eV):He nui te rere o te naianei i te teitei o te mahana, ka whakaiti i te kaha o te taputapu hiko.
-
Mokowhiti takai:He iti rawa te pai o te tuku marama, kaore e pai mo nga taputapu optoelectronic penei i nga LED me nga laser.
-
He iti te neke irahiko:He iti ake te mahi auau teitei ka whakaritea ki nga semiconductors pūhui.

-
-
Nga tono:Nga taputapu RF auau teitei (5G/6G), nga taputapu optoelectronic (nga taiaho, nga pūtau solar).
-
Painga:
-
Te nekeneke irahiko teitei (5–6x to te silicon):He pai mo nga tono tere-tere, nui-auau penei i te whakawhitiwhiti millimeter-ngaru.
-
Mokowhiti tika (1.42 eV):Ko te huringa whakaahua hiko teitei, te turanga o nga laser infrared me nga LED.
-
Te pāmahana teitei me te ātete iraruke:He pai mo te aerospace me nga taiao kino.
-
-
Nga huakore:
-
Utu teitei:He iti rawa nga rawa, he uaua te tipu o te karaihe (he kaha ki te wehe), he iti te rahi angiangi (te nuinga 6-inihi).
-
Hangarau pakarukaru:Ka pakaru te pakaru, ka iti te hua o te tukatuka.
-
paitini:Ko te Arsenic e hiahia ana kia kaha te whakahaere me te whakahaere i te taiao.
-
3. Silicon Carbide (SiC)
-
Nga tono:Nga taputapu hiko teitei me te ngaohiko teitei (EV inverters, teihana utu), aerospace.
-
Painga:
-
Awha whanui (3.26 eV):Ko te kaha pakaru teitei (10x o te silicon), te kaha o te pāmahana teitei (te wera whakahaere> 200 °C).
-
Te werawera teitei (≈3× silicon):He pai te tohanga wera, ka kaha ake te kiato mana o te punaha.
-
Ngaronga whakawhiti iti:Ka whakapai ake i te kaha o te hurihanga mana.
-
-
Nga huakore:
-
Te whakareri i te tïpako whakawero:He puhoi te tipu o te karaihe (> 1 wiki), he uaua te whakahaere hapa (micropipes, dislocations), te utu tino nui (5-10× silicon).
-
Rahi angiangi iti:4–6 inihi te nuinga; 8-inihi kei te whanake tonu.
-
He uaua ki te tukatuka:He tino uaua (Mohs 9.5), he pau te wa ki te tapahi me te oro.
-
4. Gallium Nitride (GaN)
-
Nga tono:Nga taputapu hiko teitei (te utu tere, nga teihana turanga 5G), nga rama LED / laser kikorangi.
-
Painga:
-
Te nekeneke irahiko tino teitei + te aputa whanui (3.4 eV):Ka whakakotahi i te auau teitei (>100 GHz) me te mahinga ngaohiko teitei.
-
Iti-atete:Ka whakaiti i te ngaronga hiko o te taputapu.
-
Heteroepitaxy hototahi:Ka tipuhia i runga i te silicon, sapphire, SiC substrates ranei, ka whakaiti i te utu.
-
-
Nga huakore:
-
He uaua te tipu o te kirikiri kotahi:Ko te Heteroepitaxy te auraki, engari ka puta mai nga hapa o te reanga reanga.
-
Utu teitei:He tino utu nga taputapu GaN Maori (he angiangi 2-inihi te utu e hia mano USD).
-
Nga wero pono:Ko nga ahuatanga penei i te tiango o naianei me arotau.
-
5. Indium Phosphide (InP)
-
Nga tono:Ko nga whakawhitiwhitinga whatu tere-tere (nga taiaho, nga kaitirotiro whakaahua), nga taputapu terahertz.
-
Painga:
-
Te nekeneke irahiko tino teitei:Ka tautokohia te mahi> 100 GHz, he pai ake i nga GaA.
-
Aputa takai tika me te tauritenga roangaru:He rauemi matua mo te 1.3–1.55 μm whakawhitiwhiti muka whatu.
-
-
Nga huakore:
-
He ngawari me te utu nui:He nui ake te utu o te papanga ki te 100x silicon, he iti te rahi angiangi (4–6 inihi).
-
6. Hapira (Al₂O₃)
-
Nga tono:Te rama rama (gaN epitaxial substrate), te karaihe kapi te hikohiko kaihoko.
-
Painga:
-
Utu iti:He iti rawa atu i nga taputapu SiC/GaN.
-
Pumautanga matū tino pai:He ātete ki te waikura, he tino whakamatao.
-
Puataata:He pai mo nga hanganga LED poutū.
-
-
Nga huakore:
-
He tauritenga nui ki te GaN (>13%):He nui te kiato koha, e hiahia ana ki nga paparanga parepare.
-
He kino te kawe wera (~1/20 o te silicon):Whakawhāitihia te mahinga o nga rama hiko teitei.
-
7. Raupapa uku (AlN, BeO, etc.)
-
Nga tono:Nga whakamahana wera mo nga waahanga hiko teitei.
-
Painga:
-
Weaweti + te werawera teitei (AlN: 170–230 W/m·K):He pai mo te kohinga teitei-kiato.
-
-
Nga huakore:
-
Kiriata-kotahi:Kaore e taea te tautoko tika i te tipu o te taputapu, ka whakamahia hei taputapu kapi anake.
-
8. Raupapa Motuhake
-
SOI (Silicon on Insulator):
-
Hanganga:Silicon/SiO₂/silicona hanawiti.
-
Painga:Ka whakaheke i te kaha o te parapara, te whakamaroke i te iraruke, te whakakore i te rerenga (whakamahia ki te RF, MEMS).
-
Nga huakore:30–50% te utu nui atu i te nuinga o te silicon.
-
-
Quartz (SiO₂):Ka whakamahia i roto i nga whakaahua me nga MEMS; te atete teitei engari he pakarukaru.
-
Taimana:Tïpako kawe waiariki teitei (> 2000 W/m·K), i raro i te R&D mo te tino werawera.
Ripanga Whakarāpopoto Whakataurite
| Te papanga | Mokowhiti (eV) | Nekehanga Irahiko (cm²/V·s) | Kawenga Ngawha (W/m·K) | Rahi Angiangi Matua | Nga tono matua | Utu |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Si | 1.12 | ~1,500 | ~150 | 12-inihi | Rororau / Titipi Mahara | Raro rawa |
| GaAs | 1.42 | ~8,500 | ~55 | 4–6 inihi | RF / Optoelectronics | Teitei |
| SiC | 3.26 | ~900 | ~490 | 6-inihi (8-inihi R&D) | Nga taputapu hiko / EV | Tino Teitei |
| GaN | 3.4 | ~2,000 | ~130–170 | 4–6 inihi (heteroepitaxy) | Te utu tere / RF / LED | Teitei (heteroepitaxy: waenga) |
| InP | 1.35 | ~5,400 | ~70 | 4–6 inihi | Ko nga whakawhitiwhiti whakaaro / THz | Tino Teitei |
| Hapaira | 9.9 (whakarewa) | – | ~40 | 4–8 inihi | Nga taputapu LED | Iti |
Nga Take Matua mo te Whiriwhiringa Raapapa
-
Nga whakaritenga mahi:GaAs/InP mo te auau teitei; SiC mo te ngaohiko teitei, te wera nui; GaAs/InP/GaN mo optoelectronics.
-
Nga herenga utu:Ko nga hikohiko kaihoko e pai ana ki te silicon; Ka taea e nga mara teitei te whakamana i nga utu SiC / GaN.
-
Te matatini o te whakauru:Ko te Silicon e kore e taea te whakakapi mo te hototahi CMOS.
-
Te whakahaere werawera:Ko nga tono mana teitei e pai ake ana ki a SiC, ki te GaN-taimana ranei.
-
Te pakeke o te mekameka tuku:Si > Sapphire > GaAs > SiC > GaN > InP.
Au a meake nei
Ko te whakakotahitanga rereke (hei tauira, GaN-on-Si, GaN-on-SiC) ka whakataurite i te mahi me te utu, te kawe whakamua i roto i te 5G, nga waka hiko, me te rorohiko quantum.
Te wa tuku: Akuhata-21-2025






