Silicon Carbide (SiC) Kotahi-Crystal Substrate – 10×10mm Wafer
Hoahoa Taipitopito o te Angiangi angiangi o te Silicon Carbide (SiC).


Tirohanga mo te Silicon Carbide (SiC) wafer tïpako

Ko te10×10mm Silicon Carbide (SiC) kotahi-kiriata angiangi tïpakohe rauemi semiconductor tino mahi i hangaia mo nga reanga hiko hiko me nga tono optoelectronic. Ko te kawe i te waiariki, te whanui whanui, me te tino pai o te matū matū, ko te angiangi o te substrate Silicon Carbide (SiC) te turanga mo nga taputapu e mahi pai ana i raro i te pāmahana teitei, te auau teitei, me nga tikanga ngaohiko teitei. Ko enei taputapu he tapahi tika ki roto10×10mm maramara tapawha, he pai mo te rangahau, te tauira, me te hanga taputapu.
Tikanga Whakangao o Silicon Carbide (SiC) wafer tïpako
Hangaia te angiangi angiangi taputapu Silicon Carbide (SiC) na roto i te Tikanga Kohu Kohu Tinana (PVT) me nga tikanga whakatipu sublimation. Ka timata te mahi me te paura SiC parakore-nui ka utaina ki roto i te ipu graphite. I raro i te wera nui neke atu i te 2,000°C me te taiao e whakahaeretia ana, ka whakahekehia te paura ki roto i te kohu ka tuku ano ki runga i te karaihe kakano kua ata whakaritea, ka hanga he ingot karaihe kotahi, he koha-kore.
Ka tipu te SiC boule, ka whai:
- Te tapatapahi Ingot: Ka tapahia e nga kani waea taimana tika te ingot SiC ki nga angiangi, maramara ranei.
- Te mirimiri me te huri: Ka papatahia nga mata ki te tango i nga tohu kani kia rite te matotoru.
- Matū Miihini Whakakorikori (CMP): Ka tutuki i te whakaata epi-rite me te tino iti o te taratara o te mata.
- Doping hei whiriwhiri: Ka taea te whakauru i te hauota, te konumohe, te boron doping ranei hei whakarite i nga ahuatanga hiko (momo-n, momo-p ranei).
- Tirohanga Kounga: Ko te metrology teitei e whakarite ana i te papatahi angiangi, te riterite te matotoru, me te kiato koha ki te whakatutuki i nga whakaritenga o te karaehe semiconductor.
Ko tenei mahinga maha-taahiraa ka puta he maramara angiangi 10×10mm Silicon Carbide (SiC) tïpako kua rite mo te tipu epitaxial me te hanga taputapu tika.
Ko nga ahuatanga o te Silicon Carbide (SiC) te angiangi tïpako


Ko te Silicon Carbide (SiC) te angiangi tïpako he mea hanga tuatahi4H-SiC or 6H-SiCpolytypes:
-
4H-SiC:E whakaatu ana i te nekehanga irahiko teitei, e pai ana mo nga taputapu hiko penei i nga MOSFET me nga diodes Schottky.
-
6H-SiC:Ka tukuna nga taonga ahurei mo nga waahanga RF me te optoelectronic.
Ko nga ahuatanga tino nui o te Silicon Carbide (SiC) wafer tïpako:
-
Aputa ropu whanui:~ 3.26 eV (4H-SiC) - ka taea te ngaohiko pakaru teitei me te iti o nga huringa whakawhiti.
-
Te kawe werawera:3–4.9 W/cm·K – ka tihorea te wera kia pai ai te noho o nga punaha hiko.
-
pakeke:~ 9.2 i runga i te tauine Mohs - ka whakarite i te mau tonu o te miihini i te wa e mahi ana te taputapu me te mahi.
Nga tono a Silicon Carbide (SiC) wafer tïpako
Ko te whai kiko o te Silicon Carbide (SiC) wafer substrate e whai hua ana ki nga umanga maha:
Hiko Hiko: He turanga mo nga MOSFET, IGBT, me nga ngohe Schottky e whakamahia ana i roto i nga waka hiko (EVs), nga taputapu hiko ahumahi, me nga hurihuri hiko whakahou.
Pūrere RF & Microwave: Ka tautoko i nga transistors, amplifiers, me nga waahanga radar mo te 5G, amiorangi, me nga tono whakamarumaru.
Optoelectronics: Ka whakamahia i roto i nga rama rama UV, nga kaitirotiro whakaahua, me nga diodes laser he mea tino nui te maarama me te pumau o te UV.
Aerospace & Defence: Tïpako pono mo te pawera-nui, te hikohiko-whakapakeke.
Nga Whare Rangahau me nga Whare Wananga: He pai mo nga rangahau pūtaiao rawa, te whanaketanga taputapu tauira, me te whakamatautau i nga tukanga epitaxial hou.
Ko nga korero mo te Silicon Carbide (SiC) te taputapu angiangi Tipi
Taonga | Uara |
---|---|
Rahi | 10mm × 10mm tapawha |
Te matotoru | 330–500 μm (ka taea te whakarite) |
Polytype | 4H-SiC ranei 6H-SiC |
Takotoranga | Rererangi-C, tuaka-atu (0°/4°) |
Mata Mutu | Te taha kotahi, te taha-rua ranei kua orohia; epi-rite e waatea ana |
Kōwhiringa Doping | Momo-N, momo-P ranei |
Kōeke | Koeke rangahau, koeke taputapu ranei |
FAQ o Silicon Carbide (SiC) angiangi tïpako
Q1: He aha te mea i pai ake ai te angiangi angiangi a Silicon Carbide (SiC) ki nga wafers silicon tuku iho?
Ko te SiC e tuku ana i te 10x teitei ake te kaha o te waahi pakaru, te aukati wera pai ake, me te iti o te ngaro o te whakawhiti, he mea pai mo nga taputapu kaha-nui, hiko teitei e kore e taea e te silicon te tautoko.
Q2: Ka taea e te 10 × 10mm Silicon Carbide (SiC) te angiangi tïpako kia tukuna ki nga paparanga epitaxial?
Ae. Ka whakaratohia e matou nga taputapu epi-rite ka taea te tuku angiangi me nga paparanga epitaxial ritenga hei whakatutuki i nga taputapu hiko motuhake, i nga hiahia hangahanga LED ranei.
Q3: Kei te waatea nga rahi ritenga me nga taumata doping?
Tino. Ahakoa ko nga maramara 10x10mm he paerewa mo te rangahau me te tauira taputapu, ko nga rahi ritenga, te matotoru, me nga tuhinga doping e waatea ana i runga i te tono.
Q4: He pehea te roa o enei wafers i roto i nga taiao tino nui?
Ka mau tonu a SiC i te tika o te hanganga me te mahi hiko i runga ake i te 600°C me raro i te rauropi teitei, he pai mo te aerospace me te hikohiko reanga hoia.
Mo Tatou
Ko te XKH he tohungatanga ki te whakawhanaketanga hangarau-nui, te whakaputa, me te hoko o nga karaihe mata motuhake me nga taonga karaihe hou. Ko o maatau hua e mahi ana i te hikohiko whatu, te hikohiko kaihoko, me te hoia. Ka whakaekea e matou nga waahanga whatu Sapphire, nga uhi mo te waea pūkoro, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, me nga angiangi karaihe semiconductor. Ma te tohungatanga mohio me nga taputapu tapahi, ka eke matou ki te mahi tukatuka hua kore-paerewa, e whai ana kia waiho hei hinonga hangarau teitei o nga rawa optoelectronic.
