Silicon carbide ceramic ngongo ngongo Silicon carbide uku ngongo tuku pāmahana tiketike sintering tukatuka ritenga
Āhuatanga matua:
1. Silicon carbide paepae uku
- Te pakeke me te whakakakahu i te parenga: he tata te pakeke ki te taimana, a ka taea e ia te tu i te kakahu miihini i roto i te tukatuka wafer mo te wa roa.
- Te kaha o te waiariki me te iti o te whakarea whakareatanga waiariki: tere toreretanga o te wera me te whakapumautanga o te ahu, me te karo i te rerekee na te ahotea.
- Te papatahi teitei me te mutunga o te mata: Ko te papatahi o te mata ka eke ki te taumata micron, me te whakapumau i te whakapiri tonu i waenga i te angiangi me te kōpae, ka whakaiti i te poke me te kino.
Pūmautanga matū: He kaha te ātete ki te waikura, e tika ana mo te horoi maaku me nga mahi tarai i roto i te hangahanga hiko.
2. Silicon carbide ngongo uku
- Te parenga teitei o te pāmahana: Ka taea te mahi i roto i te taiao teitei o te pāmahana i runga ake i te 1600 ° C mo te wa roa, e tika ana mo te tukanga pāmahana teitei semiconductor.
He pai te aukati i te waikura: he aukati ki te waikawa, te kawakore me te maha o nga momo whakarewa matū, e tika ana mo nga taiao mahi kino.
- Te pakeke me te whakakakahu i te parenga: aukati i te horo matūriki me te kakahu miihini, whakaroa te ora o te ratonga.
- Te kaha o te waiariki me te iti o te whakarea o te roha waiariki: te kawe tere o te wera me te whakapumautanga o te ahu, te whakaiti i te rerekee, te pakaru ranei na te ahotea.
Tawhā Hua:
Tawhā paepae karamu Silicon carbide:
| (Tauhanga rawa) | (Waeine) | (ssic) | |
| (Ihirangi SiC) | (Wt)% | >99 | |
| (Rahi witi Toharite) | micron | 4-10 | |
| (Kōtoi) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Te ahua porosity) | Vo1% | <0.5 | |
| (Vickers pakeke) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Te kaha flexible* (e toru ira) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Te kaha kōpeke) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Kowae Elastic) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Te pakari o te whati) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Haariki te kawe) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Atete) | 20°ºC | Aue.cm | 106-108 |
(Ngā whakarea roha wera) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Te pāmahana whakahaere teitei) | oºC | 1700 | |
Tawhā ngongo uku Silicon carbide:
| Nga taonga | Taurangi |
| α-SIC | 99% min |
| Porosity ahua | 16% mōrahi |
| Kiato Nui | 2.7g/cm3 min |
| Te Kaha Piko i te Pawera Nui | 100 Mpa min |
| Whakarea o te Roha Ngawha | K-1 4.7x10 -6 |
| Whakarea o te Waawera (1400ºC) | 24 W/mk |
| Max. Te Mahana Mahi | 1650ºC |
Nga tono matua:
1. Silicon carbide pereti uku
- Te tapahi angiangi me te whakakoi: ka noho hei papa kawe hei whakarite i te tino tika me te pumau i te wa o te tapahi me te whakakoi.
- Tikanga Lithography: Kua whakaritea te angiangi ki roto i te miihini lithography hei whakarite i te tuunga tino tika i te wa e kitea ana.
- Te Maama Miihini (CMP) : ka mahi hei turanga tautoko mo nga papa whakakoi, e whakarato ana i te pehanga rite me te tohatoha wera.
2. Silicon carbide ngongo uku
- Te ngongo oumu wera teitei: whakamahia mo nga taputapu pāmahana teitei penei i te oumu whakamaarama me te oumu waiora hei kawe i nga wafers mo te maimoatanga tukanga pāmahana teitei.
- Te tukanga CVD/PVD: Hei ngongo kawe i roto i te ruuma tauhohenga, he atete ki te teitei o te mahana me te hau kino.
- Nga taputapu taputapu Semiconductor: mo nga whakawhiti wera, nga paipa hau, me etahi atu, hei whakapai ake i te pai o te whakahaere wera o nga taputapu.
Kei te tuku a XKH i nga momo ratonga ritenga mo nga paepae karamiki carbide silicon carbide, kapu momi me nga ngongo carbide silicon carbide. Ka taea te whakarite i te XKH kia rite ki nga whakaritenga a nga kaihoko o te rahi, te ahua me te taratara o te mata, me te tautoko i te maimoatanga paninga motuhake, te whakarei ake i te aukati kakahu me te aukati waikura; Mo nga ngongo karamu silicon carbide, ka taea e XKH te whakarite i nga momo o te diameter o roto, te diameter o waho, te roa me te hanganga matatini (penei i te ngongo ahua, te ngongo porous ranei), me te whakarato i te whakakoi, te paninga anti-oxidation me etahi atu tukanga maimoatanga mata. Ka whakarite a XKH ka taea e nga kaihoko te whakamahi i nga painga o te mahi o nga hua karaima silicon carbide ki te whakatutuki i nga hiahia o nga mara whakangao teitei penei i te semiconductors, te rama me te photovoltaics.
Hoahoa Taipitopito
