SiCOI angiangi 4inihi 6inihi HPSI SiC SiO2 Si hanganga subarate

Whakaahuatanga Poto:

Ko tenei pepa e whakaatu ana i te tirohanga whanui mo nga wafers Silicon Carbide-on-Insulator (SiCOI), e aro nui ana ki nga taputapu 4-inihi me te 6-inihi e whakaatu ana i nga paparanga-a-te-parakore (HPSI) silicon carbide (SiC) e hono ana ki te hauhautanga (SiO₂). Ko te hanganga SiCOI e whakakotahi ana i nga ahuatanga hiko, waiariki, me te miihini o te SiC me nga painga wehe hiko o te paparanga waikura me te tautoko miihini o te taputapu silicon. Ma te whakamahi i te HPSI SiC ka whakarei ake i te mahi taputapu ma te whakaiti i te kawe i te tïpako me te whakaheke i te ngaronga parapara, ka pai ai enei angiangi mo nga tono hiko teitei, te auau teitei, me te pāmahana teitei. Ko te tukanga hangahanga, nga ahuatanga o nga rawa, me nga painga o te hanganga o tenei whirihoranga multilayer e korerohia ana, e whakanui ana i tona whaitake ki nga hikohiko hiko o muri mai me nga punaha microelectromechanical (MEMS). Ka whakatairitehia e te rangahau nga taonga me nga tono pea o te 4-inihi me te 6-inihi angiangi SiCOI, e whakaatu ana i te tauineine me te whakahiatotanga mo nga taputapu semiconductor matatau.

Tukuna he imeera ki a matou

Ngā āhuatanga

Ko te hanganga angiangi SiCOI

HPB (High-Performance Bonding) BIC (Bonded Integrated Circuit) me te SOD (Silicon-on-Diamond or Silicon-on-Insulator-rite hangarau). Kei roto ko:

Inenga Mahinga:

Ka whakarārangihia ngā tawhā pēnei i te tika, ngā momo hapa (hei tauira, "Karekau he hapa," "Tawhiti uara"), me nga inenga matotoru (hei tauira, "Te matotoru o te Apa-Totika/kg").

He ripanga me nga uara tau (he tawhā whakamatautau, he tukanga ranei) i raro i nga pane penei "ADDR/SYGBDT," "10/0," etc.

Raraunga Matotoru Apa:

He maha nga urunga tukurua kua tapaina "L1 Matotoru (A)" ki "L270 Matotoru (A)" (kei roto pea i te Ångströms, 1 Å = 0.1 nm).

Ka whakaaro he hanganga paparanga-maha me te mana matotoru tika mo ia paparanga, he angamaheni i roto i nga angiangi hiko hikoi.

Hanganga Wafer SiCOI

Ko te SiCOI (Silicon Carbide on Insulator) he angiangi angiangi motuhake e whakakotahi ana i te carbide silicon (SiC) me te paparanga whakamarumaru, he rite ki te SOI (Silicon-on-Insulator) engari kua arotauhia mo nga tono mana-nui/te-mahana. Āhuatanga matua:

Paparanga Papa:

Paparanga Runga: Kotahi-kiriata Silicon Carbide (SiC) mo te neke hiko teitei me te pumau o te waiariki.

Insulator Tanu: Ko te tikanga ko te SiO₂ (waikura) he taimana ranei (i te SOD) hei whakaiti i te kaha o te parapara me te whakapai ake i te wehenga.

Raupapa turanga: Silicon or polycrystalline SiC mo te tautoko miihini

Nga taonga angiangi SiCOI

Nga Taonga Hiko Whanui Bandgap (3.2 eV mo te 4H-SiC): Ka taea te ngaohiko pakaru teitei (> 10x teitei ake i te silicon).Ka whakaiti i nga rerenga rerenga, te whakapai ake i te pai o nga taputapu hiko.

Nekehanga Irahiko teitei:~900 cm²/V·s (4H-SiC) vs. ~1,400 cm²/V·s (Si), engari he pai ake te mahi-a-marae.

Iti-Atete:Ko nga transistors-a-SiCOI (hei tauira, MOSFET) e whakaatu ana he iti ake te ngaronga o te kawe.

Wehenga Pai:Ko te waikura kua tanumia (SiO₂) he paparanga taimana ranei e whakaiti ana i te kaha parapara me te whakawhiti korero.

Ngaa WaiarikiTe Whakaaetanga Ngaaariki Nui:SiC (~ 490 W / m · K mo te 4H-SiC) me te Si (~ 150 W / m · K) .Ko te Taimana (mehemea ka whakamahia hei insulator) ka nui ake i te 2,000 W / m · K, te whakarei ake i te wera o te wera.

Pūmautanga Weariki:Mahi pono i> 300°C (vs. ~150°C mō te silicon).Whakaiti whakaritenga mātao i roto i te hiko hiko.

3. Tikanga Hangarau me te MatūTino Maamaa (~ 9.5 Mohs): Ka whakakeke i te kakahu, ka noho roa a SiCOI mo nga taiao kino.

Korekore matū:Ka ātete ki te hāora me te waikura, ahakoa i roto i te waikawa/waikawa.

Roha Weariki Iti:He pai te hono ki etahi atu rawa-nui (hei tauira, GaN).

4. Painga Hanganga (vs. Bulk SiC or SOI)

Nga Ngaronga Raapapa Whakaiti:Ko te paparanga whakamaarama hei aukati i te rerenga o naianei ki te tïpako.

Kua Pai ake te Mahinga RF:Ma te iti ake o te kaha parapara ka taea te whakawhiti tere (he whai hua mo nga taputapu 5G/mmWave).

Hoahoa Hangawari:Ko te paparanga SiC angiangi o runga ka taea te whakatika i nga taputapu (hei tauira, nga hongere tino kikokore i roto i nga transistors).

Whakatauritenga ki SOI & Bulk SiC

Taonga	SiCOI	SOI (Si/SiO₂/Si)	SiC nui
Mokowhiti	3.2 eV (SiC)	1.1 eV (Si)	3.2 eV (SiC)
Te Whakawhitinga Ngawha	Teitei (SiC + taimana)	Iti (SiO₂ whakawhāiti te rere wera)	Teitei (SiC anake)
Ngaohiko Paheketanga	Tino Teitei	Whakaōrite	Tino Teitei
Utu	Teitei ake	Raro	Tino teitei (SiC parakore)

Ko nga tono a SiCOI wafer

Hiko Hiko
Ko nga wafers SiCOI e whakamahia nuitia ana i roto i te ngaohiko teitei me nga taputapu semiconductor hiko teitei penei i nga MOSFET, Schottky diodes, me nga huringa hiko. Ko te whanui whanui me te ngaohiko pakaru teitei o te SiC ka taea te huri i te hiko pai me te iti o nga mate me te whakarei ake i nga mahi wera.

Ngā Pūrere Reo Irirangi (RF).
Ko te paparanga insulating i roto i nga angiangi SiCOI ka whakaiti i te kaha o te parapara, e pai ana mo nga transistors auau teitei me nga whakakaha e whakamahia ana i roto i nga mahi waea, radar, me nga hangarau 5G.

Pūnaha Microelectromechanical (MEMS)
Ka whakaratohia e nga wafers SiCOI he papa pakari mo te hanga i nga puoro MEMS me nga kaitahuri e mahi pono ana i roto i nga taiao kino na te koretake o te matū me te kaha miihini o SiC.

Hiko-Pamahana Hiko
Ka taea e SiCOI te hikohiko e mau tonu ana te mahi me te pono i nga pāmahana teitei, e whai hua ana ki nga miihini, aerospace, me nga tono ahumahi kei te ngaro nga taputapu silicon tikanga.

Pūrere Photonic me Optoelectronic
Ko te whakakotahitanga o nga ahuatanga whatu a SiC me te paparanga whakamarumaru e whakahaere ana i te whakaurunga o nga ara iahiko whakaahua me te whakapai ake i te whakahaere waiariki.

Hikohiko-whakapakeke iraruke
Na te kaha o te whakamaarama iraruke o te SiC, he pai nga wafers SiCOI mo nga waahi me nga tono karihi e hiahia ana ki nga taputapu e mau ana i nga taiao-nui.

SiCOI wafer's Q&A

Q1: He aha te SiCOI wafer?

A: Ko te SiCOI e tu ana mo te Silicon Carbide-on-Insulator. He angiangi angiangi semiconductor e herea ana he papa angiangi o te silicon carbide (SiC) ki runga i te paparanga insulating (te nuinga o te silicon dioxide, SiO₂), e tautokohia ana e te tïpako silicon. Ko tenei hanganga e whakakotahi ana i nga ahuatanga pai o SiC me te wehe hiko mai i te insulator.

Q2: He aha nga tino painga o nga wafers SiCOI?

A: Ko nga painga nui ko te ngaohiko pakaru teitei, te whanui whanui, te pai o te kawe wera, te pakeke miihini pai ake, me te whakaheke i te kaha parapara na te paparanga whakamarumaru. Ma tenei ka pai ake te mahi o te taputapu, te pai me te pono.

Q3: He aha nga tono angamaheni o nga wafers SiCOI?

A: Kei te whakamahia i roto i nga hiko hiko, nga taputapu RF teitei, nga puoro MEMS, nga taputapu hiko teitei, nga taputapu whakaahua, me nga taputapu hiko-whakapakeke.