SICOI (Silicon Carbide on Insulator) Wafers SiC Film ON Silicon

Whakaahuatanga Poto:

Ko nga Wafers Silicon Carbide on Insulator (SICOI) he taputapu semiconductor reanga e whai ake nei e whakauru ana i nga ahuatanga tino pai ake o te tinana me te hiko o te silicon carbide (SiC) me nga ahuatanga motuhake o te hiko o te paparanga parepare insulating, penei i te silicon dioxide (SiO₂) me te silicon nitride (Si₃N₄). He angiangi SICOI angamaheni he paparanga SiC epitaxial angiangi, he kiriata whakamaarama takawaenga, me tetahi tïpako turanga tautoko, ka taea te kirikiri, te SiC ranei.

Tukuna he imeera ki a matou

Ngā āhuatanga

Hoahoa Taipitopito

Te whakauru o te Silicon Carbide i runga i te Insulator (SICOI) angiangi

I hangaia tenei hanganga ranu ki te whakatutuki i nga tono kaha o nga taputapu hiko teitei-nui, teitei-auau, me te wera-teitei. Ma te whakauru i te paparanga whakamarumaru, ka whakaitihia e nga angiangi SICOI te kaha o te parapara me te peehi i nga rerenga rerenga, na reira ka pai ake nga iarere whakahaere, te pai ake, me te whakapai ake i te whakahaere wera. Ko enei painga ka tino whai hua ki nga waahanga penei i nga waka hiko, nga hanganga waea 5G, nga punaha aerospace, nga hikohiko RF matatau, me nga hangarau puoro MEMS.

Kaupapa Hanga o SICOI Wafers

SICOI (Silicon Carbide on Insulator) he angiangi ka hangaia ma te matatauhononga angiangi me te mahi angiangi:

Te Tiputanga o te Raupapa SiC– He angiangi SiC kirikiri-kounga-kounga teitei (4H/6H) kua whakaritea hei rauemi kaituku.
Werohanga Papa Wewete– Ka hangaia he kiriata whakamaarama (SiO₂, Si₃N₄) i runga i te angiangi kawe (Si, SiC ranei).
Wafer Bonding– Ko te angiangi SiC me te angiangi kawe ka hono tahi i raro i te pāmahana teitei, te awhina plasma ranei.
Te Angiangi me te Whakakorikori– Ko te angiangi kaituku SiC ka angiangi ki te iti o te moroiti, ka orohia kia pai ai te mata o te ngota.
Tirohanga Whakamutunga– Ko te angiangi SICOI kua oti te whakamatau mo te riterite o te matotoru, te taratara o te mata, me te mahi whakaahuru.

Na roto i tenei tukanga, apaparanga SiC hohe kikokoreme nga taonga hiko me te waiariki pai ka honoa me te kiriata whakamaarama me te taputapu tautoko, ka hangaia he papaa mahi teitei mo te hiko o muri mai me nga taputapu RF.

Painga matua o SICOI Wafers

Kāwai Āhuahira	Nga Ahuatanga Hangarau	Nga Painga Matua
Hanganga Rawa	4H/6H-SiC paparanga hohe + kiriata whakamarumaru (SiO₂/Si₃N₄) + Si or SiC kawe	Ka tutuki te wehenga hiko kaha, ka whakaiti i te wawaotanga parapara
Nga Taonga Hiko	Te kaha pakaru nui (> 3 MV/cm), iti te mate dielectric	Kua arotauhia mo te mahi ngaohiko teitei me te auau teitei
Ngaa Waiariki	Ko te kawe werawera ki runga ki te 4.9 W/cm·K, pūmau i runga ake i te 500°C	He pai te tohanga wera, he pai te mahi i raro i nga kawenga wera wera
Nga Taonga Miihini	Tino pakeke (Mohs 9.5), he iti te whakarea o te roha wera	He pakari ki te ahotea, ka whakanui i te roa o te taputapu
Kounga Mata	Mata tino-maeneene (Ra <0.2 nm)	Ka whakatairanga i te epitaxy kore koha me te hanga taputapu pono
Wewete	Parenga >10¹⁴ Ω·cm, iti te naianei turuturu	Te mahi pono i roto i te RF me nga tono wehe ngaohiko teitei
Rahi & Whakaritenga	Kei te waatea i roto i nga whakatakotoranga 4, 6, me te 8-inihi; SiC matotoru 1–100 μm; whakamatao 0.1–10 μm	Hoahoa ngawari mo nga whakaritenga tono rereke

Nga waahanga tono matua

Rangai Tono	Nga Take Whakamahi Tikanga	Nga Painga Mahi
Hiko Hiko	Hurihuri EV, teihana utu, taputapu hiko ahumahi	Te ngaohiko pakaru teitei, te whakaheke i te mate whakawhiti
RF & 5G	Nga whakakaha hiko o te teihana turanga, nga waahanga mirimita-ngaru	Ko nga parasitic iti, e tautoko ana i nga mahi awhe-GHz
Pūoko MEMS	Pūoko pehanga taiao-kaha, MEMS-whakatere	Te teitei o te waiariki, te atete ki te radiation
Aerospace & Defense	Whakawhitiwhitinga Satellite, avionics power modules	Te ti'aturi i roto i te tino mahana me te whakamaarama iraruke
Mātiti Ataata	Nga kaitahuri HVDC, nga waahi ara iahiko totoka	Ko te whakamaarama teitei ka whakaiti i te mate hiko
Optoelectronics	Nga LED UV, nga taputapu laser	Ko te kounga teitei o te karaihe e tautoko ana i te tuku marama

Hangaia o 4H-SiCOI

Ko te hanga o nga angiangi 4H-SiCOI ka tutuki mate hononga angiangi me te angiangi, whakaahei i nga atanga whakamaarama o te kounga teitei me nga papa hohe SiC kore koha.

a: Ahangahanga o te hanga papanga papanga 4H-SiCOI.
b: Whakaahua o te 4-inihi 4H-SiCOI angiangi e whakamahi ana i te hono me te angiangi; nga rohe koha kua tohua.
c: Matotoru ōritetanga huru o te tïpako 4H-SiCOI.
d: Atahanga whatu o te mate 4H-SiCOI.
e: Rere tukanga mo te hanga i te resonator microdisk SiC.
f: SEM o te resonator microdisk kua oti.
g: SEM kua whakanuia e whakaatu ana i te pakitara taha resonator; Ko te whakauru AFM e whakaatu ana i te maeneene o te mata nanoscale.
h: Whakawhitiwhiti SEM e whakaatu ana i te mata o runga te ahua parabolic.

FAQ mo SICOI Wafers

Q1: He aha nga painga o nga angiangi SICOI ki nga wafers SiC tuku iho?
A1: Kaore i rite ki nga taputapu SiC paerewa, kei roto i nga angiangi SICOI he paparanga whakamarumaru e whakaheke ana i te kaha o te parapara me te rerenga rerenga, ka piki ake te kaha, te pai ake o te whakautu auau, me te mahi wera.

Q2: He aha nga rahi angiangi e waatea ana?
A2: Ko nga momo angiangi SICOI ka mahia i roto i nga whakatakotoranga 4-inihi, 6-inihi, me te 8-inihi, me te SiC me te matotoru paparanga insulating e waatea ana i runga i nga whakaritenga taputapu.

Q3: Ko wai nga ahumahi e tino whai hua ana mai i nga wafers SICOI?
A3: Ko nga ahumahi matua ko te hikohiko hiko mo nga waka hiko, te hikohiko RF mo nga whatunga 5G, MEMS mo nga puoro aerospace, me nga optoelectronics penei i nga LED UV.

Q4: Me pehea e pai ake ai te mahi o te taputapu i te paparanga insulating?
A4: Ko te kiriata whakamarumaru (SiO₂ ranei Si₃N₄) ka aukati i te rerenga o naianei me te whakaiti i te whakawhiti korero hiko, ka kaha ake te kaha o te ngaohiko, te whakawhiti pai ake, me te whakaheke i te wera.

Q5: He pai nga wafers SICOI mo nga tono wera-teitei?
A5: Ae, me te kaha o te wera me te aukati i tua atu i te 500 ° C, kua hangaia nga wafers SICOI ki te mahi pono i raro i te wera nui me nga taiao kino.

Q6: Ka taea te whakarite i nga wafers SICOI?
A6: Tino. Ka tukuna e nga Kaihanga nga hoahoa mo nga matotoru motuhake, nga taumata doping, me nga huinga taputapu hei whakatutuki i nga rangahau me nga hiahia ahumahi.

Tōmua: Miihini Tapa Waea Taimana mo SiC | Hapira | Haupapa | Karaihe

Panuku: Miihini Raima Taimana Maha-Waea mo te SiC Sapphire Ultra-Hard Brittle Materials