SiC tïpako 3inihi 350um matotoru HPSI momo Prime Grade Dummy kōeke

Tïpako SiC 3inihi 350um te matotoru HPSI momo Prime Grade Dummy aueke Whakaahua Whakaatuhia

Whakaahuatanga Poto:

Ko te 3-inihi High Purity Silicon Carbide (SiC) wafers he mea hanga motuhake mo te tono tono i roto i te hikohiko hiko, optoelectronics, me te rangahau matatau. E waatea ana i roto i te Whakangao, Rangahau, me nga Koeke Dummy, ko enei angiangi he tuku i te parenga, he iti te kiato koha, me te kounga teitei o te mata. Me nga taonga whakaahuru-a-waa, ka whakaratohia e ratou te papaa pai mo te hanga i nga taputapu mahi teitei e mahi ana i raro i nga tikanga wera me te hiko.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Āhuatanga

Tawhā	Koeke Whakaputa	Koeke Rangahau	Kōeke Dummy	Waeine
Kōeke	Koeke Whakaputa	Koeke Rangahau	Kōeke Dummy
Diamita	76.2 ± 0.5	76.2 ± 0.5	76.2 ± 0.5	mm
Mātotoru	500 ± 25	500 ± 25	500 ± 25	µm
Takotoranga Wafer	I runga-tuaka: <0001> ± 0.5°	I runga-tuaka: <0001> ± 2.0°	I runga-tuaka: <0001> ± 2.0°	tohu
Kiatotanga Micropipe (MPD)	≤ 1	≤ 5	≤ 10	cm−2^-2−2
Te Atete Hiko	≥ 1E10	≥ 1E5	≥ 1E5	Ω·cm
Dopant	Kua wetekina	Kua wetekina	Kua wetekina
Kaupapa Papatahi Tuatahi	{1-100} ± 5.0°	{1-100} ± 5.0°	{1-100} ± 5.0°	tohu
Te Roa Papatahi Tuatahi	32.5 ± 3.0	32.5 ± 3.0	32.5 ± 3.0	mm
Te Roa Papatahi Tuarua	18.0 ± 2.0	18.0 ± 2.0	18.0 ± 2.0	mm
Takotoranga Papatahi Tuarua	90° CW mai i te papa tuatahi ± 5.0°	90° CW mai i te papa tuatahi ± 5.0°	90° CW mai i te papa tuatahi ± 5.0°	tohu
Whakakorenga Tapa	3	3	3	mm
LTV/TTV/Kopere/Warp	3 / 10 / ±30 / 40	3 / 10 / ±30 / 40	5 / 15 / ±40 / 45	µm
Riroke Mata	Si-kanohi: CMP, C-kanohi: Kua orohia	Si-kanohi: CMP, C-kanohi: Kua orohia	Si-kanohi: CMP, C-kanohi: Kua orohia
Nga Kapiti (Te Maama-Kaimaha)	Karekau	Karekau	Karekau
Nga Pereti Hex (Maama-Kairahi)	Karekau	Karekau	Horahanga whakahiato 10%	%
Nga Rohe Momo Momo (Maama-Kaimaha)	Horahanga whakahiato 5%	Horahanga whakahiato 20%	Horahanga whakahiato 30%	%
Nga karawarawa (Te Maama-Kaimaha)	≤ 5 karawarawa, te roa whakaemi ≤ 150	≤ 10 karawarawa, te roa whakaemi ≤ 200	≤ 10 karawarawa, te roa whakaemi ≤ 200	mm
Tapatapahi Tapa	Kore ≥ 0.5 mm te whanui/hohonu	2 whakaaetia ≤ 1 mm te whanui/hohonu	5 whakaaetia ≤ 5 mm te whanui/hohonu	mm
Parahanga Mata	Karekau	Karekau	Karekau

Nga tono

1. Hiko Hiko Hiko
Ko te pai o te kawe wera me te whanui whanui o nga wafers SiC e pai ana mo nga taputapu hiko-tiketike, teitei:
●MOSFET me nga IGBT mo te huri hiko.
●Ko nga punaha hiko o te waka hiko, tae atu ki nga kaitahuri me nga riihi.
●Ko nga hanganga matiti atamai me nga punaha hiko hou.
2. RF me nga Pūnaha Ngaruiti
Ka taea e nga taputapu SiC nga tono RF me te miihini ngaruiti me te iti o te mate tohu:
●Whakawhitiwhiti me nga punaha amiorangi.
●Nga punaha radar aerospace.
●Wahanga whatunga 5G matatau.
3. Optoelectronics and Sensors
Ko nga ahuatanga ahurei o SiC e tautoko ana i nga momo tono optoelectronic:
●UV detectors mo te aroturuki taiao me te ahumahi ahumahi.
●LED me nga taputapu taiaho mo nga rama totika me nga taputapu tika.
●Whakaahua teitei mo nga umanga aerospace me nga umanga miihini.
4. Rangahau me te Whanaketanga
Ko te kanorau o nga tohu (Whakaputa, Rangahau, Dummy) ka taea te whakamatautau me te tauira tauira taputapu i roto i te whare wananga me te umanga.

Nga painga

●Whakatikanga:He pai te parenga me te pumau puta noa i nga reanga.
● Whakaritenga:Ko nga whakatakotoranga me te matotoru kia rite ki nga hiahia rereke.
●Te Tino Ma:Ko te hanganga karekau e whakarite kia iti noa nga rereketanga e pa ana ki te poke.
●Whakanuia:Ka tutuki nga whakaritenga o te hanga papatipu me te rangahau whakamatautau.
Ko nga angiangi SiC 3-inihi teitei te parakore ko to kuaha ki nga taputapu mahi teitei me nga ahunga whakamua hangarau hou. Mo nga patai me nga korero taipitopito, waea mai ki a maatau i tenei ra.

Whakarāpopototanga

Ko te 3-inihi High Purity Silicon Carbide (SiC) Wafers, e waatea ana i roto i te Whakangaonga, Rangahau, me nga Maatauranga Dummy, he taputapu utu i hangaia mo te hikohiko-kaha, nga punaha RF/microwave, optoelectronics, me te R&D matatau. Ko enei momo angiangi he mea korekore, he ahua-waihanga he pai te parenga (≥1E10 Ω·cm mo te Tohu Whakangao), he iti te kiato moroiti (≤1 cm−2^-2−2), me te kounga o te mata. Kua arotauhia mo nga tono mahi nui, tae atu ki te hurihanga hiko, te waea, te whakamaarama UV, me nga hangarau LED. Ma nga ritenga whakarite, te kawe werawera pai, me nga taonga miihini pakari, ka taea e enei angiangi SiC te hanga taputapu pai, pono, me nga mahi auaha puta noa i nga umanga.