Umu Whakawhanake Ingot SiC mo nga Tikanga TSSG/LPE Tirohanga Nui-Diameter SiC Crystal
Kaupapa Mahi
Ko te maataapono matua o te tipu ingot silicon carbide wai-waa ko te whakakore i nga rawa SiC tino parakore i roto i nga konganuku whakarewa (hei tauira, Si, Cr) i te 1800-2100°C ki te hanga wairewa kukū, whai muri i te tipu aronga o te SiC tioata kotahi i runga i nga tioata kakano ma te tika o te rōnaki pāmahana me te supersaturation. Ko tenei hangarau he tino pai mo te whakaputa i te parakore teitei (> 99.9995%) 4H / 6H-SiC nga kiripiri kotahi me te iti o te koha koha (<100/cm²), te whakatutuki i nga whakaritenga taapiri mo te hikohiko hiko me nga taputapu RF. Ka taea e te punaha tipu wai-waa te whakahaere tika mo te momo kawe karaihe (momo N/P) me te parenga na roto i te hanganga otinga me nga tawhā tipu.
Waenga Matua
1. Pūnaha Whakakotahitanga Motuhake: Te graphite/tantalum composite ipu parakore teitei, te parenga pāmahana> 2200°C, te ātete ki te SiC rewa te waikura.
2. Pūnaha Whakawera Rohe-maha: Whakakotahitia te whakamahana parenga / whakaurunga me te tika o te mana pāmahana o ± 0.5 ° C (1800-2100 ° C awhe).
3. Pūnaha Nekehanga Tika: Te mana whakahaere kati-rua mo te hurihanga uri (0-50rpm) me te hiki (0.1-10mm/h).
4. Pūnaha Whakahaere Atmosphere: Tiaki argon / hauota teitei-ma, te pehanga mahi ka taea te whakarite (0.1-1atm).
5. Pūnaha Whakahaere Maramarama: PLC + PC ahumahi te mana whakahaere me te aroturuki atanga tipu-a-waa.
6. Pūnaha whakamatao pai: Ko te hoahoa whakamahana wai kua tohua hei whakarite i te mahi pumau mo te wa roa.
TSSG ki LPE Whakatauritenga
| Nga ahuatanga | Tikanga TSSG | Tikanga LPE |
| Tipu Temp | 2000-2100°C | 1500-1800°C |
| Reanga Tipu | 0.2-1mm/h | 5-50μm/h |
| Rahi tioata | 4-8 inihi ingots | 50-500μm paparanga-epi |
| Taupānga Matua | Te whakarite i te papapa | Nga paparanga epi taputapu hiko |
| Kiato Koha | <500/cm² | <100/cm² |
| Polytypes e tika ana | 4H/6H-SiC | 4H/3C-SiC |
Nga tono matua
1. Hiko Hiko: 6-inihi 4H-SiC substrates mo 1200V+ MOSFETs/diodes.
2. 5G RF Pūrere: Semi-insulating substrates SiC mō te turanga turanga PA.
3. Nga tono EV: Nga papa-epi-te-te-te-nui (>200μm) mo nga waahanga miihini-auto.
4. PV Inverters: Tïpako hapa-iti e taea ai >99% te pai o te hurihanga.
Nga Painga Matua
1. Te Hiranga Hangarau
1.1 Hoahoa Tikanga-maha kua whakauruhia
Ko tenei punaha tipu SiC-wai-waa e whakakotahi ana i nga hangarau tipu tioata TSSG me LPE. Ka whakamahia e te punaha TSSG te tipu o te otinga o runga-kakano me te whakakorikori rewa tika me te mana rōnaki pāmahana (ΔT≤5 ℃/cm), ka taea te tipu pūmau o te 4-8 inihi nui-diameter SiC ingots me nga hua oma kotahi o te 15-20kg mo nga tioata 6H/4H-SiC. Ka whakamahia e te punaha LPE te hanganga whakarewa papai (Si-Cr system alloy) me te mana supersaturation (± 1%) ki te whakatipu i nga paparanga epitaxial matotoru o te kounga teitei me te kiato koha <100/cm² i te iti o te mahana (1500-1800 ℃).
1.2 Pūnaha Mana Mana
Kua whakauruhia ki te whakatipuranga 4-whakatupuranga atamai e whakaatu ana:
• Te aro turuki i roto i te waahi-maha (400-2500nm awhe roangaru)
• Te kitenga taumata whakarewa-a-taiaho (± 0.01mm te tika)
• Te mana o te diameter-a-CCD (<±1mm te rerekee)
• Te arotautanga tawhā tipu a AI (15% te penapena hiko)
2. Tukatuka Mahinga Painga
2.1 Tikanga TSSG Nga Kaha Matua
• Te kaha-rahi-rahi: Ka tautoko ake ki te 8-inihi te tipu karaihe me te >99.5% te riterite diameter
• Maataatatanga teitei: Kiato wehenga <500/cm², kiato moroiti <5/cm²
• Te tauritenga o te Doping: <8% te rerekeetanga parenga-momo (4-inihi angiangi)
• Te tere tipu pai ake: Ka taea te whakarite 0.3-1.2mm/h, 3-5x tere ake i nga tikanga wahanga-kohu
2.2 Tikanga LPE Nga Kaha Matua
• Epitaxy koha-iti rawa: Atanga ahua kiato <1×10¹¹¹cm⁻²·eV⁻¹
• Mana matotoru tika: 50-500μm epi-paparanga ki <±2% rerekētanga matotoru
• Te kaha iti-mahana: 300-500 ℃ iti iho i nga tukanga CVD
• Te tipu o te hanganga matatini: Ka tautoko i nga hononga pn, superlattices, etc.
3. Hua Hua Painga
3.1 Mana Utu
• 85% te whakamahi rauemi mata (vs. 60% tikanga)
• 40% te iti ake o te whakapau kaha (whakaritea ki te HVPE)
• 90% te wa mahi taputapu (ko te hoahoa modular te whakaiti i te wa heke)
3.2 Te Kounga Kounga
• 6σ mana tukanga (CPK>1.67)
• Te kimi hapa ipurangi (0.1μm taumira)
• Tukatuka katoa te rapunga raraunga (2000+ tawhā wā-tūturu)
3.3 Whakanuia
• Hototahi ki te 4H/6H/3C polytypes
• Ka taea te whakahou ake ki nga waahanga tukanga 12-inihi
• Ka tautoko i te SiC/GaN hetero-integration
4. Nga Painga Tono Ahumahi
4.1 Pūrere Hiko
• Nga taputapu aukati-iti (0.015-0.025Ω·cm) mo nga taputapu 1200-3300V
• Ko nga taputapu whakaahuru-a-whaa (>10⁸Ω·cm) mo nga tono RF
4.2 Hangarau Putanga
• Whakawhitiwhitinga rahi: Nga taputapu haruru tino iti (1/f haruru<-120dB)
• Nga taiao tino nui: Ko nga kiripiri-a-raruraru (<5% te whakahekenga i muri i te 1×10¹⁶n/cm²)
Ratonga XKH
1. Taputapu Whakaritea: Whakaritea nga whirihoranga pūnaha TSSG / LPE.
2. Whakangungu Tukatuka: Nga kaupapa whakangungu hangarau matawhānui.
3. Tautoko muri-hoko: 24/7 whakautu hangarau me te tiaki.
4. Nga Whakataunga Turnkey: Ratonga-tuhinga-katoa mai i te whakaurunga ki te tukatuka whakamana.
5. Taonga Rauemi: 2-12 inihi SiC substrates / epi-wafers e wātea ana.
Ko nga painga matua ko:
• Tae atu ki te 8-inihi te kaha o te tipu tioata.
• Tauritenga parenga <0.5%.
• Te wa mahi taputapu>95%.
• 24/7 tautoko hangarau.
Hua e Pa ana
-
4 inihi High parakore Al2O3 99.999% Sapphire subst...
-
2inihi 50.8mm pouaka kawe angiangi kotahi o PC me PP
-
Indium Antimonide (InSb) angiangi N momo P momo E...
-
Titi Whakarewa Hapaira Maamaa Kotahi karaihe Al₂O₃...
-
Sapphire Windows Optical Glass Rahi Whakaritea ...
-
8inihi SiC Production kōeke angiangi 4H-N SiC subst...