SiC Ingot 4H momo Dia 4inihi 6inihi Te Matotoru 5-10mm Rangahau / Koeke Dummy
Āhuatanga
1. Hanganga Kiriata me te Whakaritenga
Polytype: 4H (hanganga hexagonal)
Reeti Tonu:
a = 3.073 Å
c = 10.053 Å
Takotoranga: Ko te tikanga [0001] (C-rererangi), engari ko etahi atu ritenga penei i te [11\overline{2}0] (A-rererangi) ka waatea ano ina tono.
2. Ahu Tinana
Diane:
Kōwhiringa Paerewa: 4 inihi (100 mm) me te 6 inihi (150 mm)
Mātotoru:
E waatea ana i te awhe o te 5-10 mm, ka taea te whakarite i runga i nga whakaritenga tono.
3. Nga Taonga Hiko
Momo Doping: E waatea ana i roto i te intrinsic (haehae-insulating), momo-n (doped ki te hauota), momo p ranei (doped ki te konumohe, boron ranei).
4. Nga Taonga Ngaaahu me te Hangarau
Te Waahanga Waahanga: 3.5-4.9 W/cm·K i te pāmahana rūma, ka taea te tohanga wera pai.
Maamaa: Mohs tauine 9, ka tuarua noa a SiC ki te taimana i te pakeke.
Tawhā | Nga korero | Waeine |
Tikanga Tipu | PVT (Te Kawe Kohu Kohu Tino) | |
Diamita | 50.8 ± 0.5 / 76.2 ± 0.5 / 100.0 ± 0.5 / 150 ± 0.5 | mm |
Polytype | 4H / 6H (50.8 mm), 4H (76.2 mm, 100.0 mm, 150 mm) | |
Takotoranga Mata | 0.0˚ / 4.0˚ / 8.0˚ ± 0.5˚ (50.8 mm), 4.0˚ ± 0.5˚ (ētahi atu) | tohu |
Momo | Momo-N | |
Mātotoru | 5-10 / 10-15 / >15 | mm |
Kaupapa Papatahi Tuatahi | (10-10) ± 5.0˚ | tohu |
Te Roa Papatahi Tuatahi | 15.9 ± 2.0 (50.8 mm), 22.0 ± 3.5 (76.2 mm), 32.5 ± 2.0 (100.0 mm), 47.5 ± 2.5 (150 mm) | mm |
Takotoranga Papatahi Tuarua | 90˚ CCW mai i te takotoranga ± 5.0˚ | tohu |
Te Roa Papatahi Tuarua | 8.0 ± 2.0 (50.8 mm), 11.2 ± 2.0 (76.2 mm), 18.0 ± 2.0 (100.0 mm), Kore (150 mm) | mm |
Kōeke | Rangahau / Dummy |
Nga tono
1. Rangahau me te Whanaketanga
He pai te kopae rangahau 4H-SiC mo nga taiwhanga matauranga me te ahumahi e arotahi ana ki te whanaketanga taputapu-a-SiC. Ko te kounga teitei o te karaihe ka taea te whakamatautau tika mo nga taonga SiC, penei:
Nga rangahau nekeneke kawe.
Ko te tohu koha me nga tikanga whakaiti.
Te arotautanga o nga tukanga tipu epitaxial.
2. Taapapa Dummy
Kei te whakamahia nuitia te ingot karaehe mo te whakamatautau, te whakatikatika, me nga tono tauira. He huarahi utu whai hua mo:
Tukatuka te whakatikatika tawhā i roto i te Weenga Kohu Matū (CVD) i te Waenga Kohu Tino (PVD).
Te arotake i nga tukanga tarai me te whakakoi i roto i nga taiao whakangao.
3. Hiko Hiko
Na tona whanui whanui me te kaha o te wera wera, ko te 4H-SiC he kohatu kokonga mo te hiko hiko, penei:
Ngaohiko teitei MOSFET.
Schottky Barrier Diodes (SBDs).
Whakawhitinga Papa-Apure Whakawhitinga (JFET).
Ko nga tono kei roto ko nga waka hiko hiko, ko nga hiko o te ra, me nga matiti atamai.
4. Pūrere Auautanga-Teitei
Ko te nekeneke irahiko teitei o te rauemi me te iti o te ngaronga o te punga e tika ana mo:
Nga Waea Irirangi (RF) transistors.
Nga punaha whakawhitiwhiti ahokore, tae atu ki nga hanganga 5G.
Aerospace me nga tono whakamarumaru e hiahia ana nga punaha radar.
5. Nga Pūnaha Whakararuraru
Ko te aukati a 4H-SiC ki te kino iraruraru he mea nui ki nga taiao kino penei:
Nga taputapu torotoro mokowhiti.
Nga taputapu mo te tirotiro i nga tipu hiko karihi.
Hikohiko-akomanga hoia.
6. Nga Hangarau Putanga
I te ahu whakamua o te hangarau SiC, ka tipu tonu ana tono ki nga mara penei:
Te rangahau whakaahua me te rangahau rorohiko quantum.
Te whakawhanaketanga o nga rama hiko teitei me nga pūoko UV.
Te whakaurunga ki roto i te whanui-bandgap semiconductor heterostructures.
Nga painga o te 4H-SiC Ingot
Te Maamaa Teitei: I hangaia i raro i nga tikanga kaha hei whakaiti i nga poke me te kiato koha.
Whakanuia: E waatea ana i roto i te 4-inihi me te 6-inihi diameter hei tautoko i nga hiahia paerewa-ahumahi me te rangahau-tauine.
Te Maamaa: Ka taea te urutau ki nga momo momo doping me nga whakatakotoranga hei whakatutuki i nga whakaritenga tono motuhake.
Mahinga Tino: He pai ake te waiariki me te mahi miihini i raro i nga tikanga whakahaere tino nui.
Whakamutunga
Ko te ingot 4H-SiC, me ona taonga motuhake me te whanui-whanui tono, e tu ana ki mua o nga taonga hou mo nga reanga hikohiko me te optoelectronics. Ahakoa e whakamahia ana mo te rangahau matauranga, te tauira ahumahi, te hanga taputapu matatau ranei, ka whakaratohia e enei ingots he turanga pono mo te turaki i nga rohe o te hangarau. Ma nga rahinga whakarite, doping, me nga whakatakotoranga, kua whakaingoatia te ingot 4H-SiC ki te whakatutuki i nga hiahia tipu o te umanga semiconductor.
Mena kei te pirangi koe ki te ako atu, ki te whakatakoto ota ranei, tena koa toro atu ki nga korero taipitopito me nga korero hangarau.