English

SiC Epitaxial Wafer mo nga Pūrere Hiko - 4H-SiC, N-momo, Iti Kohakore Kiato

SiC Epitaxial Wafer mo nga Pūrere Hiko - 4H-SiC, N-momo, Iti Koha Koha Te Atahanga Whakaatuhia
  • SiC Epitaxial Wafer mo nga Pūrere Hiko - 4H-SiC, N-momo, Iti Kohakore Kiato
  • SiC Epitaxial Wafer mo nga Pūrere Hiko - 4H-SiC, N-momo, Iti Kohakore Kiato
  • SiC Epitaxial Wafer mo nga Pūrere Hiko - 4H-SiC, N-momo, Iti Kohakore Kiato

Whakaahuatanga Poto:

Ko te SiC Epitaxial Wafer kei te uho o nga taputapu semiconductor mahi teitei hou, ina koa ko nga mea i hangaia mo te kaha-nui, te tere-tere, me te mahi-nui. He poto mo te Silicon Carbide Epitaxial Wafer, he SiC Epitaxial Wafer kei roto he paparanga epitaxial SiC-kounga teitei, kikokore i tupu ki runga ake o te taputapu SiC nui. Ko te whakamahinga o te hangarau SiC Epitaxial Wafer kei te tere haere i roto i nga waka hiko, nga matiti atamai, nga punaha hiko hou, me te aerospace na te mea he pai ake nga ahuatanga o te tinana me te hiko ki te whakataurite ki nga wafers-a-siliconi tikanga.


Ngā āhuatanga

Hoahoa Taipitopito

SiC Epitaxial Wafer-4
SiC Epitaxial Wafer-6 - 副本

Kupu Whakataki

Ko te SiC Epitaxial Wafer kei te uho o nga taputapu semiconductor mahi teitei hou, ina koa ko nga mea i hangaia mo te kaha-nui, te tere-tere, me te mahi-nui. He poto mo te Silicon Carbide Epitaxial Wafer, he SiC Epitaxial Wafer kei roto he paparanga epitaxial SiC-kounga teitei, kikokore i tupu ki runga ake o te taputapu SiC nui. Ko te whakamahinga o te hangarau SiC Epitaxial Wafer kei te tere haere i roto i nga waka hiko, nga matiti atamai, nga punaha hiko hou, me te aerospace na te mea he pai ake nga ahuatanga o te tinana me te hiko ki te whakataurite ki nga wafers-a-siliconi tikanga.

Nga Tikanga Hanga o SiC Epitaxial Wafer

Ko te hanga i te SiC Epitaxial Wafer me tino whakahaere te whakahaerenga o te kohu matū (CVD). Ka tipuhia te paparanga epitaxial ki runga i te tïpako SiC monocrystalline ma te whakamahi i nga hau penei i te silane (SiH₄), propane (C₃H₈), me te hauwai (H₂) i te pāmahana neke atu i te 1500°C. Ko tenei tipu epitaxial teitei-nui e whakarite ana i te pai o te tirohanga tioata me nga hapa iti i waenga i te paparanga epitaxial me te tïpako.

Ko te tukanga he maha nga waahanga matua:

  1. Te Whakaritenga Papanga: Ko te turanga angiangi SiC kua horoia, kua whakakoapahia kia maeneene te ngota.

  2. Te tipu CVD: I roto i te reactor tino parakore, ka tauhohe nga hau ki te whakatakoto i tetahi paparanga SiC kirikiri kotahi ki runga i te tïpako.

  3. Mana Doping: Ko te doping momo-N, momo-P ranei ka whakauruhia i te wa epitaxy hei whakatutuki i nga taonga hiko e hiahiatia ana.

  4. Te Tirotiro me te Metrology: Ka whakamahia te moroiti whatu, te AFM, me te taarua hihi-X hei manatoko i te matotoru o te paparanga, te kukū doping, me te kiato koha.

Ko ia SiC Epitaxial Wafer ka ata tirotirohia kia mau tonu nga kaakoro ki te riterite te matotoru, te papatahi o te mata, me te parenga. Ko te kaha ki te whakatikatika i enei tawhā he mea nui mo nga MOSFET ngaohiko teitei, Schottky diodes, me etahi atu taputapu hiko.

Whakatakotoranga

Tawhā Whakatakotoranga
Ngā Kāwai Pūtaiao Rawa, Raupapa Kiriata Kotahi
Polytype 4H
Doping N Momo
Diamita 101 mm
Whakaaetanga Diameter ± 5%
Mātotoru 0.35 mm
Whakaaetanga Matotoru ± 5%
Te Roa Papatahi Tuatahi 22 mm (± 10%)
TTV (Tapeke Rerekēnga Matotoru) ≤10 µm
Warp ≤25 µm
FWHM ≤30 Arc-hekona
Whakaoti Mata Rq ≤0.35 nm

Nga tono a SiC Epitaxial Wafer

Ko nga hua SiC Epitaxial Wafer he mea nui ki nga waahanga maha:

  • Nga Waka Hiko (EV): Ko nga taputapu a SiC Epitaxial Wafer ka whakanui ake i te kaha o te hikohiko me te whakaiti i te taumaha.

  • Pūngao Whakahou: Ka whakamahia i roto i nga hurihuri mo nga punaha hiko me te hau.

  • Nga Taonga Hiko Ahumahi: Whakahohehia te huringa teitei-nui, te pāmahana teitei me te iti o nga mate.

  • Aerospace and Defense: He pai mo nga taiao kino e hiahia ana i nga semiconductors pakari.

  • 5G turanga turanga: Ko nga waahanga SiC Epitaxial Wafer e tautoko ana i nga kaha teitei ake mo nga tono RF.

Ka taea e te SiC Epitaxial Wafer nga hoahoa kiato, te tere tere, me te pai ake o te hurihanga kaha ki te whakarite ki nga wafers silicon.

Nga painga o te SiC Epitaxial Wafer

Ko te hangarau SiC Epitaxial Wafer he painga nui:

  1. Ngaohiko Paanga Teitei: Ka mau ngaohiko ki te 10 nga wa teitei ake i nga wafers Si.

  2. Te Whakawhitinga Ngawha: Ko te SiC Epitaxial Wafer ka tere ake te wera, ka pai ake te rere o nga taputapu me te pono.

  3. Nga Tere Whakawhiti Nui: Ko nga ngaronga whakawhiti iti ka taea te kaha ake me te whakaiti.

  4. Whanui Bandgap: Ka whakarite i te pumau i nga ngaohiko teitei ake me te mahana.

  5. Te Kaha Rawa: Ko te SiC he matū ngoikore me te kaha miihini, he pai mo te tono tono.

Ko enei painga ka waiho ko te SiC Epitaxial Wafer hei taonga maataki mo nga reanga o muri mai o nga semiconductors.

FAQ: SiC Epitaxial Wafer

Q1: He aha te rereketanga o te SiC wafer me te SiC Epitaxial Wafer?
Ko te angiangi SiC e tohu ana ki te tïpako nui, engari kei roto i te SiC Epitaxial Wafer he paparanga doped kua whakatipuria mo te hanga taputapu.

Q2: He aha nga matotoru e waatea ana mo nga papanga SiC Epitaxial Wafer?
Ko nga paparanga epitaxial te nuinga mai i etahi micrometers ki runga ake i te 100 μm, i runga i nga whakaritenga tono.

Q3: Ko te SiC Epitaxial Wafer e tika ana mo nga taiao-teitei?
Ae, ka taea e SiC Epitaxial Wafer te mahi i roto i nga ahuatanga i runga ake i te 600 ° C, he nui ake te mahi silicon.

Q4: He aha te mea nui i roto i te SiC Epitaxial Wafer?
Ko te iti o te kiato koha ka pai ake te mahi me te hua o te taputapu, ina koa mo nga tono ngaohiko teitei.

Q5: Kei te waatea nga momo N-momo me te P-momo SiC Epitaxial Wafers?
Ae, ka hangaia nga momo e rua ma te whakamahi i te mana hau dopant tika i roto i te tukanga epitaxial.

Q6: He aha nga rahi angiangi he paerewa mo te SiC Epitaxial Wafer?
Ko nga diameter paerewa ko te 2-inihi, 4-inihi, 6-inihi, me te piki ake te 8-inihi mo te hanga pukapuka-nui.

Q7: He pehea te paanga o te SiC Epitaxial Wafer ki te utu me te whai hua?
Ahakoa i te tuatahi he nui ake te utu atu i te silicon, ka whakaitihia e SiC Epitaxial Wafer te rahi o te punaha me te ngaronga hiko, me te whakapai ake i te utu katoa mo te wa roa.

  • Tōmua:
  • Panuku:

    • Hua e Pa ana

    Tuhia to korero ki konei ka tukuna mai ki a matou
    Patua tomo ki te rapu, ESC ranei hei kati