He kauwhata pereti pereti SiC me te paninga CVD SiC mo nga taputapu

Whakaahuatanga Poto:

Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd. ka whakaputa Φ380mm–Φ600mm semiconductor etching kōpae, angiangi kawe kōpae, silicon carbide paepae, SIC paepae, silicon carbide paepae, ICP etching paepae, paepae etching, silicon carbide purea> 99.9%, SIC te ora ratonga paepae. e wha nga wa atu o te paepae CVD e ahu mai ana i te kauwhata, te whakamahi mo te wa roa kaore he rerekee, Atete ki te waikawa FH, te waikura H2So4.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Kaore i te whakamahia noa nga karaera Silicon carbide i roto i te atamira waipara kiriata angiangi, penei i te epitaxy, i te MOCVD ranei, i roto ranei i te tukatuka angiangi, kei roto i te ngakau ka tukuna tuatahi nga paepae kawe angiangi mo te MOCVD ki te taiao waipara, na reira ka tino atete ki te. wera me te corrosion.Ko nga kaikawe kua whakakikoruatia a SiC he nui te kawe wera me te pai o nga waahanga tohatoha waiariki.

Matū Matū Pure Deposition Silicon Carbide (CVD SiC) kawe angiangi mo te tiketike pāmahana Metal Organic Chemical Kore Deposition (MOCVD) tukatuka.

Ko nga kaikawe angiangi CVD SiC parakore he tino pai ake i nga kaikawe angiangi tikanga e whakamahia ana i roto i tenei mahi, he graphite me te pani ki te paparanga o te CVD SiC. e kore e taea e enei kawe kawe kauwhata whakakikoruatia te tu atu ki te teitei o te pāmahana (1100 ki te 1200 nekehanga Celsius) e hiahiatia ana mo te whakangao GaN o enei ra te kanapa o te puru me te ma. Na te nui o te pāmahana ka puta te paninga ki te whakawhanake i nga kohao iti na roto i nga mahi matū ka horo te kauwhata o raro. Ka tihorea nga matūriki kauwhata ka whakapoke i te GaN, ka whakakapihia te kawe angiangi kua pania.

Ko te CVD SiC he ma o 99.999% neke atu ranei, a he teitei te kawe i te waiariki me te awangawanga o te waiariki. Na reira, ka taea e ia te tu atu ki nga pāmahana teitei me nga taiao kino o te hangahanga LED kanapa teitei. He rauemi monolithic totoka ka eke ki te kiato ariā, ka whakaputa matūriki iti, me te whakaatu i te waikura tino teitei me te aukati horo. Ka taea e te rauemi te whakarereke i te opacity me te kawe me te kore e whakauru i nga poke whakarewa. Ko nga kaikawe angiangi he 17 inihi te whanui ka taea te pupuri ki te 40 2-4 inihi angiangi.