SiC pereti uku/paepae mo te 4inihi 6inihi pupuri angiangi mo ICP

SiC pereti uku/paepae mo te 4inihi 6inihi pupuri angiangi mo te ICP Whakaaturanga Whakaahua

Whakaahuatanga Poto:

Ko te pereti ceramic SiC he waahanga mahi teitei i hangaia mai i te Silicon Carbide parakore-nui, i hangaia mo te whakamahi i roto i nga taiao wera nui, matū, me te miihini. He mea rongonui mo tona tino pakeke, te kawe wera, me te aukati i te waikura, ka whakamahia te pereti SiC hei kaikawe angiangi, he kaikawe, he waahanga hangahanga ranei i roto i nga umanga semiconductor, LED, photovoltaic, me nga umanga aerospace.

Tukuna he imeera ki a matou

Ngā āhuatanga

Pereti uku SiC Abstract

Ma te tino pai o te waiariki tae atu ki te 1600°C me te tino pai o te aukati ki nga hau hohenga me nga taiao plasma, ka whakarite te pereti SiC i nga mahi rite tonu i te wa o te whakamaarama teitei, te whakaheke, me te whakamaarama. Ko tana hangahanga moroiti kore-porous ka whakaiti i te whakatipu matūriki, he pai mo nga tono ultra-ma i roto i nga waahi korehau, ruma ma ranei.

Taupānga pereti uku SiC

1. Hangahanga Semiconductor

Ka whakamahia nga pereti uku SiC hei kaikawe angiangi, karekau, me nga pereti turanga i roto i nga taputapu hanga semiconductor penei i te CVD (Maama Kohu Deposition), PVD (Physical Vapor Deposition), me nga punaha tarai. Ko te pai o te kawe waiariki me te iti o te roha wera ka taea e raatau te pupuri i te tohatoha o te pāmahana, he mea tino nui mo te tukatuka angiangi tino tika. Ko te parenga a SiC ki nga hau me nga plasmas e whakapumau ana i te mauroa i roto i nga taiao kino, e awhina ana ki te whakaiti i te poke matūriki me te tiaki taputapu.

2. Ahumahi LED - ICP Etching

I roto i te rängai whakangao LED, ko nga pereti SiC nga waahanga matua o te ICP (Inductively Coupled Plasma). Ko te mahi hei kaipupuri angiangi, ka whakaratohia e ratou he papaa pumau me te waiariki hei tautoko i te sapphire, i nga wafer GaN ranei i te wa e tukatuka ana te plasma. Ko ta raatau aukati plasma pai, te papatahi o te mata, me te whakapumautanga o te rahi ka awhina i te tino tika me te riterite, ka piki ake te hua me te mahi taputapu i roto i nga maramara LED.

3. Photovoltaics (PV) me Solar Energy

Ka whakamahia hoki nga pereti uku SiC i roto i te hanga pūtau solar, ina koa i te wa o te whakamaarama teitei me nga hikoi whakamaarama. Ko to ratou ngoikoretanga i te teitei o te mahana me te kaha ki te aukati i te pakanga ka whakarite kia rite tonu te tukatuka o nga wafers silicon. I tua atu, he mea nui to ratou mate poke iti mo te pupuri i te kaha o nga pūtau photovoltaic.

SiC pereti uku Ko nga ahuatanga

1. Te Kaha Miihini Rawa me te Maamaa

Ko nga pereti uku SiC e whakaatu ana i te kaha miihini tino teitei, me te kaha ngawari o te kaha neke atu i te 400 MPa me te pakeke o Vickers tae atu ki te 2000 HV. Na tenei ka tino atete ki te kakahu miihini, te abrasion, me te whakarereketanga, me te whakarite i te roa o te ratonga ahakoa i raro i te kawenga teitei, i te paihikara waiariki ranei.

2. Te Kawenga Ngawha Nui

He pai te kawe wera o te SiC (te nuinga o te 120–200 W/m·K), ka taea e ia te tohatoha wera puta noa i te mata. He mea tino nui tenei taonga i roto i nga mahi penei i te tarai angiangi, te waipara, te sintering ranei, ka pa te rite o te pāmahana ki te hua me te kounga o te hua.

3. Te Pumau Ngaaariki Kairangi

He teitei te rewa (2700°C) me te iti o te whakarea o te roha wera (4.0 × 10⁻⁶/K), ka mau tonu nga pereti uku SiC i te tika o te ahu me te tika o te hanganga i raro i nga huringa whakamahana tere me te whakamatao. Ma tenei ka tino pai mo nga tono i roto i nga oumu wera-teitei, nga ruma korehau, me nga taiao plasma.

Nga Taonga Hangarau
Taurangi	Waeine	Uara
Ingoa Rawa		Tauhohenga Sintered Silicon Carbide	Karekau Hiko Hiko Carbide	Silicon Carbide Recrystallized
Te tito		RBSiC	SSiC	R-SiC
Kiato Nui	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
Te Kaha Toka	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Te Kaha Kōpeke	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Te pakeke	Knoop	2700	2800	/
Whatiwhati Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Te Whakawhitinga Ngawha	W/mk	95	120	23
Whakarea o te Roha Ngawha	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Te wera motuhake	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Te pāmahana teitei i te hau	℃	1200	1500	1600
Kōwae Elastic	Gpa	360	410	240

SiC pereti uku Q&A

Q: He aha nga ahuatanga o te pereti carbide silicon?

A: Ko nga pereti Silicon carbide (SiC) e mohiotia ana mo te kaha nui, te pakeke, me te pumau o te waiariki. He pai rawa atu te kawe i te waiariki me te iti o te roha wera, me te whakarite i te mahi pono i raro i te wera nui. Ko te SiC ano hoki he matū matū, he ātete ki te waikawa, te kawakore, me te taiao plasma, he pai mo te semiconductor me te tukatuka LED. Ko tana mata matotoru, maeneene ka whakaiti i te whakatipu matūriki, ka mau tonu te hototahitanga o te ruuma ma. Ko nga pereti SiC e whakamahia whanuitia ana hei kaikawe angiangi, he whakaraerae, me nga waahanga tautoko i roto i te pāmahana-nui me te taiao pirau puta noa i te ahumahi semiconductor, photovoltaic, me te aerospace.