Ko te ringa toha o te kaikawe mutunga uku SiC mo te kawe angiangi
SiC huanga mutunga uku Abstract
Ko te SiC (Silicon Carbide) he mea tino nui i roto i nga punaha whakahaere angiangi-nui e whakamahia ana i roto i te hangahanga semiconductor me nga taiao miihini miihini. I hangaia hei whakatutuki i nga whakaritenga o nga taiao tino maamaa, teitei-te-mahana, me te tino pumau, ka whakarite tenei kaikorero mutunga motuhake ki te kawe pono me te kore poke o nga wafers i roto i nga waahanga whakaputa matua penei i te lithography, te tarai, me te tuku.
Ma te whakamahi i nga mea tino pai o te carbide silicon—pēnei i te kaha o te waiariki, te tino pakeke, te koretake matū tino pai, me te whakawhänui iti o te waiariki—ko te SiC ceramic end-effector e whakarato ana i te pakari o te miihini me te whakapumautanga o te rahi ahakoa i raro i te tere o te paihikara waiariki, i roto ranei i nga ruuma mahi pirau. Ko te iti o te whakatipuranga matūriki me nga ahuatanga parenga plasma e tino pai ana mo te horoi horoi me nga tono tukatuka korehau, he mea nui ki te pupuri i te tika o te mata angiangi me te whakaiti i te poke matūriki.
SiC Ukumu mutunga effector Tono
1. Mahinga Wafer Semiconductor
Kei te whakamahia nuitia te SiC i roto i te ahumahi semiconductor mo te whakahaere i nga wafers silicon i te wa e hanga ana. Ko enei kaikorero mutunga ka mau ki runga i nga ringaringa karetao, i nga punaha whakawhiti korehau ranei ka hangaia hei whakauru i nga angiangi o nga momo rahi penei i te 200mm me te 300mm. He mea nui i roto i nga tukanga tae atu ki te Whakaaetanga Kohu Maama (CVD), te Whakaaetanga Kohu Kohu-a-tinana (PVD), te tarai, me te whakamaarama—kei te kitea te nui o te mahana, nga ahuatanga korehau, me nga hau haukino. Ko te tino parenga waiariki a SiC me te pumau matū he mea tino pai ki te tu atu ki nga taiao kino me te kore e pakaru.
2. Te Whare Maama me te Hototahi Maama
I roto i nga waahi horoi me nga waahi korehau, me whakaitihia te poke o te matūriki, ka whai hua nui nga karamu SiC. Ko te mata maataki, maeneene o te papanga e whakahē ana i te whakatipu matūriki, e mau tonu ana te tapatahi o te angiangi i te wa e kawe ana. Na tenei ka tino pai nga kaikawe mutunga SiC mo nga tikanga whakahirahira penei i te Extreme Ultraviolet Lithography (EUV) me te Atomic Layer Deposition (ALD), he mea nui te ma. I tua atu, ko te iti o te whakaputanga a SiC me te aukati plasma teitei e whakarite ana i nga mahi pono i roto i nga ruuma korehau, e whakaroa ana i te oranga o nga taputapu me te whakaheke i te auau tiaki.
3. Nga Pūnaha Whakatakotoranga Whakataunga Nui
He mea nui te tika me te pumau i roto i nga punaha whakahaere angiangi, ina koa i roto i te metrology, te tirotiro, me nga taputapu whakatikatika. He iti rawa te whakarea o te roha waiariki me te tino pakari o nga karamu SiC, e taea ai e te kaikorero mutunga te pupuri i te tika o te hanganga ahakoa i raro i te paihikara waiariki, te utaina miihini ranei. Ma tenei ka whakarite kia noho tika nga angiangi i te wa e kawe ana, e whakaiti ana i te tupono o te pakaru moroiti, te hee, te hapa ine ranei — nga mea e tino nui haere ana i nga waahanga mahi iti-5nm.
SiC huanga mutunga uku
1. Te Kaha Miihini Teitei me te Maamaa
He tino kaha nga miihini SiC, me te kaha toka i te nuinga o te waa neke atu i te 400 MPa me nga uara pakeke o Vickers i runga ake i te 2000 HV. Ma tenei ka tino atete ki te ahotea miihini, te paanga, me te kakahu, ahakoa i muri i te whakamahi roa. Ko te tino pakari o te SiC ka whakaiti i te paheketanga i te wa e whakawhiti ana i te wafer tere, me te whakarite i te tuunga tika me te whakahoki ano.
2. Tino Pumau Ngaaariki
Ko tetahi o nga mea tino nui o te SiC ceramics ko to ratou kaha ki te tu atu i nga wera tino tiketike-he maha ki te 1600°C i roto i nga hau koretake-kaore e ngaro te tika o te miihini. Ko te iti o te whakarea o te roha waiariki (~ 4.0 x 10⁻⁶ /K) ka whakapumau i te whakapumautanga i raro i te paihikara waiariki, e pai ana mo nga tono penei i te CVD, PVD, me te whakamaarama teitei.
SiC Ukumu mutunga effector Q&A
Q: He aha nga rauemi e whakamahia ana i roto i te angiangi mutunga effector?
A:Ko te nuinga o te wa ka mahia nga kaikoi mutunga mai i nga rawa e kaha ana te kaha, te pumau o te waiariki, me te hanga matūriki iti. I roto i enei, ko te Silicon Carbide (SiC) ceramic tetahi o nga mea tino matatau me te pai ake. He tino uaua nga karamu SiC, he waiariki, he matū karekau, he atete ki te kakahu, na reira he pai mo te whakahaere i nga angiangi hikaka i roto i te rūma horoi me te waahi korehau. Ka whakatauritea ki te kiripaka, ki nga konganuku whakakikoruatia ranei, ka tuku a SiC i te pumau o te rahi i raro i te pāmahana teitei, kaore hoki e whakaheke i nga matūriki, hei aukati i te poke.
