SiC ipu momi uku Ko nga kapu momi uku he mea whakarite
āhuatanga rauemi:
1.High pakeke: te Mohs pakeke o te silicon carbide ko 9.2-9.5, tuarua anake ki taimana, ki te kaha mau ātete.
2. Te kaha o te waiariki: ko te kaha o te waiariki o te silicon carbide he rite ki te 120-200 W / m · K, ka taea te whakakore wawe i te wera me te pai mo te taiao teitei.
3. He iti te whakarea whakareatanga waiariki: he iti te whakarea whakareatanga waiariki carbide (4.0-4.5×10⁻⁶/K), ka taea tonu te pupuri i te pumau o te ahu i te pāmahana teitei.
4. Te pumau matū: te waikawa carbide silicon me te aukati waikura alkali, e tika ana mo te whakamahi i roto i te taiao matū.
5. He kaha te kaha o te miihini: he nui te kaha piko o te carbide me te kaha pupuhi, a ka taea te tu atu i te ahotea miihini nui.
Āhuatanga:
1.I roto i te ahumahi semiconductor, me whakanoho nga angiangi tino angiangi ki runga i te kapu momi momi, ka whakamahia te momi momi hei whakatika i nga angiangi, me te mahi o te waxing, thinning, waxing, horoi me te tapahi i runga i nga wafers.
2.Silicon carbide ngongo he pai te kawe waiariki, ka taea te whakapoto i te wa waxing me te waxing, te whakapai ake production tōtika.
3.Silicon carbide mārua momi hoki he pai waikawa me te waikura alkali ātete.
4.Whakaritea ki te pereti kawe corundum tuku iho, whakapoto i te utaina me te whakaheke i te whakamahana me te wa whakamahana, te whakapai ake i te pai o te mahi; I te wa ano, ka taea e ia te whakaiti i te kakahu i waenga i nga papa o runga me raro, te pupuri i te pai o te rererangi rererangi, me te whakawhānui ake i te oranga o te ratonga mo te 40%.
5.He iti te rahinga rauemi, he maamaa te taumaha. He maamaa ake mo nga kaiwhakahaere ki te kawe i nga palleti, ka whakaiti i te tupono o te tukinga mai i nga uauatanga kawe waka ma te 20%.
6.Rahi: morahi diameter 640mm; Papatahi: 3um iti iho ranei
Āpure tono:
1. Hangahanga Semiconductor
●Tukatuka angiangi:
Mo te whakatika angiangi i roto i te whakaahua whakaahua, te tarai, te whakatakoto kiriata angiangi me etahi atu tukanga, kia tika te tika me te riterite o te tukanga. Ko te teitei o te pāmahana me te aukati waikura he pai mo nga taiao hangahanga semiconductor kino.
●Epitaxial tipu:
I roto i te tipu epitaxial SiC, GaN ranei, hei kaikawe ki te whakamahana me te whakatika i nga wafers, me te whakarite i te riterite o te pāmahana me te kounga o te karaihe i te pāmahana teitei, te whakapai ake i te mahi o te taputapu.
2. Nga taputapu whakaahua hiko
●Whakahanga LED:
Ka whakamahia ki te whakatika i te sapphire, te SiC substrate ranei, me te kawe whakawera i roto i te mahi MOCVD, hei whakarite i te rite o te tipu epitaxial, te whakapai ake i te pai o te rama me te kounga.
●Diode taiaho:
Ka rite ki te taputapu tino tika, te whakatika me te whakamahana i te taputapu hei whakarite i te pumau o te pāmahana, te whakapai ake i te mana whakaputa me te pono o te diode laser.
3. Mahinga tika
●Tukatuka Waahanga Optical:
Ka whakamahia mo te whakatika i nga waahanga tika penei i nga arotahi whatu me nga whiriwhiringa hei whakarite i te tino tika me te iti o te parahanga i te wa e tukatuka ana, he pai hoki mo te mahi miihini teitei.
●Tukatuka uku:
Ka rite ki te whakapumautanga teitei, he pai mo te miihini tika o nga rawa uku ki te whakarite i te tika o te miihini me te rite i raro i te pāmahana teitei me te taiao kino.
4. Nga whakamatautau putaiao
●Whakamātau pāmahana teitei:
Hei tauira taputapu whakatika i roto i nga taiao teitei o te pāmahana, ka tautokohia e ia nga whakamatautau pāmahana tino nui i runga ake i te 1600°C hei whakarite i te riterite o te pāmahana me te pumau o te tauira.
●Whakamātautau mārua:
Hei tauira whakatika me te kawe whakawera i roto i te taiao korehau, ki te whakarite i te tika me te tukurua o te whakamatautau, e tika ana mo te paninga korehau me te maimoatanga wera.
Whakatakotoranga Hangarau:
| (Tauhanga rawa) | (Waeine) | (ssic) | |
| (Ihirangi SiC) |
| (Wt)% | >99 |
| (Rahi witi Toharite) |
| micron | 4-10 |
| (Kōtoi) |
| kg/dm3 | >3.14 |
| (Te ahua porosity) |
| Vo1% | <0.5 |
| (Vickers pakeke) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *( Te kaha whakaheke) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Te kaha kōpeke) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Kowae Elastic) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Te pakari o te whati) |
| MPa/m'% | 3.5 |
| (Haariki te kawe) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Atete) | 20°ºC | Aue.cm | 106-108 |
|
| a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| oºC | 1700 |
He maha nga tau o te whakaemi hangarau me te wheako ahumahi, ka taea e XKH te whakarite i nga tawhā matua penei i te rahi, te tikanga whakamahana me te hoahoa whakangao o te chuck kia rite ki nga hiahia motuhake o te kaihoko, me te whakarite kia pai te urutau o te hua ki te mahi a te kaihoko. Ko te SiC silicon carbide ceramic chucks kua noho hei waahanga nui mo te tukatuka angiangi, te tipu epitaxial me etahi atu tikanga matua na te pai o te kawe waiariki, te teitei o te pāmahana me te pumau matū. Ina koa i roto i te hangahanga o nga rauemi semiconductor tuatoru-whakatupuranga penei i te SiC me te GaN, kei te tipu haere tonu te tono mo nga raima carbide silicon carbide. I te wa kei te heke mai, na te tere o te whakawhanaketanga o te 5G, nga waka hiko, nga mohiotanga horihori me etahi atu hangarau, ka nui ake nga tumanakohanga mo te tono mo nga miihini karamiki silicon carbide i roto i te umanga semiconductor.
Hoahoa Taipitopito
