Ko nga Taputapu Whakaoho-Whakatika Semiconductor Laser Whakahurihia te Whakangao Ingot
Hoahoa Taipitopito


Te Whakataki Hua o nga Taputapu Whakaoho-Whakatika Semiconductor Laser
Ko te Taputapu Semiconductor Laser Lift-Off he otinga ahumahi tino motuhake i hangaia mo te whakakikorua tika me te kore-whakapaa o nga ingots semiconductor na roto i nga tikanga ara-whakarewa i te laser. Ko tenei punaha matatau he mahi nui i roto i nga mahi wafering semiconductor hou, ina koa i roto i te hanga o nga angiangi ultra-angiangi mo nga hikohiko hiko teitei, LED, me nga taputapu RF. Ma te whakaahei i te wehenga o nga papa angiangi mai i nga kohanga nui, i nga taputapu kaikoha ranei, ka huri te taputapu Semiconductor Laser Lift-Off i te whakakikorua o te ingot ma te whakakore i te kani kani, te huri, me nga hikoinga matū.
Ko te angiangi tuku iho o nga ingots semiconductor, penei i te gallium nitride (GaN), silicon carbide (SiC), me te sapphire, he maha nga wa e kaha ana te mahi, te moumou, me te ngawari ki te moroiti me te kino o te mata. He rereke, ko nga Taputapu Whakaoranga-Whakatika Semiconductor Laser e tuku ana i tetahi momo rereke kore-whakangaro, e tika ana hei whakaiti i te ngaronga rawa me te ahotea o te mata i te wa e piki haere ana te hua. E tautoko ana i te maha o nga momo tioata me nga rauemi whakahiato ka taea te whakauru marie ki nga raina whakangao semiconductor o mua-mutunga ranei.
Me nga roangaru laser ka taea te whirihora, nga punaha arotahi urutau, me nga kopa angiangi hototahi-kore, he tino pai tenei taputapu mo te tapahi ingot, te hanga lamella, me te wehenga kiriata tino kikokore mo nga hanganga taputapu poutū, whakawhiti paparanga heteroepitaxial ranei.

Tawhā o nga Taputapu Whakaoho-Whakatika Semiconductor Laser
Te roangaru | IR/SHG/THG/FHG |
---|---|
Te Whanuitanga Puhi | Nanohekona, Pikohekona, Femtohakona |
Pūnaha Optical | Pūnaha whatu pūmau, pūnaha Galvano-optical ranei |
XY Wāhanga | 500 mm × 500 mm |
Awhe Tukatuka | 160 mm |
Tere Nekehanga | Mōrahi 1,000 mm/hekona |
Te tukurua | ±1 μm iti iho ranei |
Tikanga Whakapumau: | ±5 μm iti iho ranei |
Rahi Wafer | 2–6 inihi kua whakaritea ranei |
Whakahaere | Windows 10,11 me PLC |
Ngaohiko Whakawhiwhi Hiko | AC 200 V ±20 V, Waahanga-kotahi, 50/60 kHz |
Ahu o waho | 2400 mm (W) × 1700 mm (D) × 2000 mm (H) |
Taumaha | 1,000 kg |
Tikanga Mahi o nga Taputapu Whakaoho-Whakatika Semiconductor Laser
Ko te tikanga matua o te Taputapu Whakaoho-Whakatika Semiconductor Laser e whakawhirinaki ana ki te whakamaaramatanga o te whakamaarama whakaahua, te whakakore ranei i te atanga i waenga i te ingot kaituku me te paparanga epitaxial, te paparanga whaainga ranei. He taiaho UV kaha-nui (ko te nuinga o te KrF i te 248 nm, ko nga taiaho UV ahua totoka ranei huri noa i te 355 nm) ka arohia ma roto i tetahi rauemi kaikoha marama, ahua-maata ranei, kei reira te kaha ka uru ki te hohonutanga kua whakaritea.
Ko tenei whakaurunga hiko o te rohe ka hangaia he wahanga hau pehanga teitei, he paparanga whakawhaariki ranei i te atanga, ka timata te whakakorenga ma o te angiangi o runga, te paparanga taputapu mai i te turanga ingot. Ko te tukanga e tino pai ana ma te whakatikatika i nga tawhā penei i te whanui o te pupuhi, te rere o te taiaho, te tere matawai, me te hohonu o te arotahi tuaka-z. Ko te hua he poro angiangi-nui-te nuinga i roto i te awhe 10 ki te 50 µm—i wehe maemaa mai i te ingot matua kaore he apiti miihini.
Ko tenei tikanga o te arai taiaho mo te angiangi ingot ka karo i te ngaronga o te kerf me te kino o te mata e pa ana ki te kani waea taimana, te tarai miihini ranei. Ka pupuri hoki i te tika o te karaihe me te whakaheke i nga whakaritenga whakaorapa o raro, ka waiho i te Taputapu Semiconductor Laser Lift-Off hei taputapu huri keemu mo te hanga angiangi o muri.
Nga Whakamahinga o nga Taputapu Whakaoho-Whakatika Semiconductor Laser
Ka kitea e te taputapu Semiconductor Laser Lift-Off te whai kiko ki te whakahiato ingot puta noa i te whānuitanga o nga rauemi matatau me nga momo taputapu, tae atu ki:
-
GaN me GaAs Ingot Thinning mo nga taputapu hiko
Whakahohe ai te hanga angiangi angiangi mo te kaha-nui, te iti-atete hiko transistors me nga diodes.
-
Te Reclamation o te Taahiranga SiC me te Wehenga Lamella
Whakaaetia te hiki i te tauine angiangi mai i nga taputapu SiC nui mo nga hanganga taputapu poutū me te angiangi te whakamahi ano.
-
Tiihanga Wafer LED
Ka whakakorikori i nga paparanga GaN mai i nga ngota sapphire matotoru hei whakaputa i nga taputapu LED tino kikokore.
-
RF me te Hanganga Pūrere Ngaruiti
E tautoko ana i nga hanganga transistor-hiko-hiko-hiko (HEMT) ultra-aniangi e hiahiatia ana i roto i te 5G me nga punaha radar.
-
Whakawhiti Paparanga Epitaxial
Ka wetewetehia nga paparanga epitaxial mai i nga ingots tioata hei whakamahi ano, hei whakauru ranei ki nga hanganga hetero.
-
Kiriata Angiangi Pūtau Solar me Photovoltaics
Ka whakamahia ki te wehe i nga papa angiangi mo te ngongo, te kaha teitei ranei o te ra.
I roto i ia o enei rohe, ko te Semiconductor Laser Lift-Off Equipment e whakarato ana i te mana kore e rite mo te riterite matotoru, te kounga o te mata, me te tika o te paparanga.

Painga o te Ingot Thinning Taiaho-Based
-
Ngaronga Rawa Kore-Kerf
Ka whakatauritea ki nga tikanga tapahi angiangi tuku iho, ka puta te tukanga laser tata ki te 100% te whakamahi rauemi.
-
Te Awetea Iti me te Whawhai
Ko te hiki-kore-whakapapa ka whakakore i te wiri miihini, te whakaheke i te kopere angiangi me te hanga microcrack.
-
Tiaki Kounga Mata
Karekau he tapahi i muri i te angiangi me te orohia i roto i te maha o nga keehi, na te mea ka mau te taiaho-whakarewa i te tika o runga-mata.
-
Kua Reri Te Whakaaetanga me te Aunoatanga
He kaha ki te tukatuka i nga rau taputapu mo ia nekehanga me te utaina / wetewete aunoa.
-
Ka taea te urutau ki nga rawa maha
He hototahi ki te GaN, SiC, sapphire, GaAs me nga taonga III-V ka puta ake.
-
Haumaru Taiao
Ka whakaiti i te whakamahinga o te abrasives me nga matū kino e rite ana ki nga mahi angiangi-a-slurry.
-
Te Whakamahi Anō i te Raupapa
Ka taea te hangarua nga koha koha mo te maha o nga huringa whakaheke, ka tino whakaiti i nga utu rawa.
Nga Uiuinga Uiuinga (FAQ) o nga Taputapu Whakaoho-Whakatika Semiconductor Laser
-
Q1: He aha te awhe matotoru ka taea e te Semiconductor Laser Lift-Off Taputapu te whakatutuki mo nga poro angiangi?
A1:Mai i te 10 µm ki te 100 µm te matotoru o te poro angamaheni i runga i te rauemi me te whirihoranga.Q2: Ka taea te whakamahi i tenei taputapu ki nga ingots angiangi i hangaia mai i nga mea opaque penei i te SiC?
A2:Ae. Ma te whakamaarama i te roangaru laser me te arotau i te miihini atanga (hei tauira, nga whaowhanga patunga tapu), ka taea hoki te tukatuka i nga rawa puatakore.Q3: Me pehea te whakangao o te taputapu koha i mua i te hikitanga taiaho?
A3:Ka whakamahia e te punaha nga waahanga whakararangi-a-matakite-iti me nga urupare mai i nga tohu pono me nga matawai whakaata mata.Q4: He aha te wa huringa e tumanakohia ana mo te mahi whakarewa-whakaatu laser?
A4:I runga i te rahi o te angiangi me te matotoru, ko nga huringa angamaheni ka roa mai i te 2 ki te 10 meneti.Q5: E hiahia ana te tukanga ki te taiao horoi?
A5:Ahakoa ehara i te whakahau, ka tūtohuhia te whakaurunga rūma ma ki te pupuri i te ma o te tïpako me te hua o te taputapu i roto i nga mahi tino tika.
Mo Tatou
Ko te XKH he tohungatanga ki te whakawhanaketanga hangarau-nui, te whakaputa, me te hoko o nga karaihe mata motuhake me nga taonga karaihe hou. Ko o maatau hua e mahi ana i te hikohiko whatu, te hikohiko kaihoko, me te hoia. Ka whakaekea e matou nga waahanga whatu Sapphire, nga uhi mo te waea pūkoro, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, me nga angiangi karaihe semiconductor. Ma te tohungatanga mohio me nga taputapu tapahi, ka eke matou ki te mahi tukatuka hua kore-paerewa, e whai ana kia waiho hei hinonga hangarau teitei o nga rawa optoelectronic.
