He maha nga painga o te whakatipu i tetahi paparanga o nga ngota silicon ki runga i te taputapu angiangi silicon:
I roto i nga tukanga silicon CMOS, ko te tipu o te epitaxial (EPI) i runga i te taputapu angiangi he mahi tino mahi.
1, Te whakapai ake i te kounga tioata
Nga koha me nga poke o te tïpako tuatahi: I te wa o te hangahanga, ka whai koha me te poke o te tïpako angiangi. Ka taea e te tipu o te paparanga epitaxial te whakaputa i te paparanga silicon monocrystalline teitei me te iti o te kukū o nga koha me nga poke i runga i te tïpako, he mea tino nui mo te hanga taputapu ka whai ake.
Hanganga karaihe rite: Ko te tipu o te Epitaxial e whakarite ana i te hanganga karaihe riterite ake, e whakaiti ana i te paanga o nga rohe o te witi me nga koha o te rauemi tïpako, na reira ka pai ake te kounga o te karaihe o te angiangi.
2, whakapai ake mahi hiko.
Te whakapai ake i nga ahuatanga o te taputapu: Ma te whakatipu i te paparanga epitaxial i runga i te tïpako, ka taea te whakahaere tika te kukū o te doping me te momo silicon, me te arotau i nga mahi hiko o te taputapu. Hei tauira, ka taea te whakatikatika i te doping o te paparanga epitaxial ki te whakahaere i te ngaohiko paepae o nga MOSFET me etahi atu tawhā hiko.
Te whakaheke i te naianei turuturu: Ko te paparanga epitaxial-kounga teitei he iti ake te kiato koha, e awhina ana ki te whakaheke i te rerenga rerenga o nga taputapu, na reira ka pai ake te mahi o te taputapu me te pono.
3, whakapai ake mahi hiko.
Te Whakaiti i te Rahi Ahuatanga: I roto i nga waahanga iti ake (penei i te 7nm, 5nm), kei te heke haere tonu te rahi o nga taputapu, me te hiahia kia pai ake nga taonga me te kounga teitei. Ka taea e te hangarau tipu epitaxial te whakatutuki i enei tono, e tautoko ana i te hanga o nga waahanga hiko-nui me te teitei-nui.
Te Whakanuia Ngaohiko Ngaohiko: Ka taea te hoahoa i nga paparanga epitaxial me nga ngaohiko pakaru teitei ake, he mea tino nui mo te hanga i nga taputapu hiko teitei me te ngaohiko teitei. Hei tauira, i roto i nga taputapu hiko, ka taea e nga paparanga epitaxial te whakapai ake i te ngaohiko pakaru o te taputapu, te whakanui ake i te awhe mahi haumaru.
4、Tukatuka Hototahi me nga Hanganga Paparanga-maha
Hanganga Paparanga Maha: Ko te hangarau tipu epitaxial e taea ai te tipu o nga hanganga paparanga maha i runga i nga taputapu, me nga paparanga rereke he rereke nga momo doping me nga momo. He tino painga tenei mo te hanga i nga taputapu CMOS matatini me te whakauru i nga waahanga e toru.
Hototahi: Ko te tukanga tipu epitaxial e tino hototahi ana ki nga tikanga hangahanga CMOS o naianei, he ngawari ki te whakauru ki nga rerenga mahi o naianei me te kore e hiahiatia he whakarereketanga nui ki nga raina mahi.
Whakarāpopototanga: Ko te tono o te tipu epitaxial i roto i nga tukanga silicon CMOS ko te kaupapa matua ki te whakarei ake i te kounga o te karaihe angiangi, ki te arotau i nga mahi hiko o te taputapu, ki te tautoko i nga waahanga o mua, me te whakatutuki i nga hiahia o te mahi-nui me te whakahiato-a-te-nui-a-roto i te hanga iahiko. Ko te hangarau tipu epitaxial ka taea te whakahaere tika i te doping rauemi me te hanganga, te whakapai ake i te mahi me te pono o nga taputapu.
Te wa tuku: Oketopa-16-2024