He aha te tikanga o TTV, BOW, WARP me te TIR i roto i nga Wafers?

I te wa e tirotiro ana i nga wafers silicon semiconductor, i nga taputapu ranei i hangaia mai i etahi atu rawa, ka tutaki tatou ki nga tohu hangarau penei: TTV, BOW, WARP, me te TIR, STIR, LTV, me etahi atu. He aha nga tawhā e tohu ana enei?

TTV — Rerekēnga Matotoru Tapeke
BOW — Kopere
WARP — Warp
TIR — Tapeke Tohu Panui
STIR — Pae Tapeke Tohu Panui
LTV — Rerekētanga Matotoru Rohe

1. Rerekēnga Matotoru Tapeke - TTV

Ko te rereketanga i waenga i te teitei me te iti o te matotoru o te angiangi e pa ana ki te rererangi tohutoro ina rawhi te angiangi me te whakapiri tata. Ko te tikanga ka whakaatuhia ki roto i te micrometers (μm), ka tohuhia hei: ≤15 μm.

2. Kopere — BOW

Ko te rereke i waenga i te iti me te tawhiti teitei mai i te pokapū o te mata angiangi ki te rererangi tohutoro i te wa e noho korekore ana te angiangi (kaore i mauhia). Kei roto i tenei ko nga take concave (kopere kino) me te convex (kopere pai). Ko te tikanga ka whakaatuhia ki te micrometers (μm), ka tohuhia hei: ≤40 μm.

3. Warp — WARP

Ko te ine i waenga i te iti me te tawhiti teitei mai i te mata angiangi ki te rererangi tohutoro (te nuinga o te mata o muri o te angiangi) i te wa e noho korekore ana te angiangi (kaore i piri). Kei roto i tenei ko nga keehi concave (negative warp) me te convex (positive warp). Ko te tikanga ka whakaatuhia ki roto i te micrometers (μm), ka tohuhia hei: ≤30 μm.

4. Tapeke Tohu Panui - TIR

Ina rawhi te angiangi me te whakapiri tata, ma te whakamahi i te rererangi tohutoro e whakaiti ana i te tapeke o nga haukoti o nga tohu katoa i roto i te waahanga kounga, i tetahi rohe rohe kua tohua ranei i runga i te mata angiangi, ko te TIR te wehenga i waenga i te teitei me te iti rawa o te tawhiti mai i te mata angiangi ki tenei rererangi tohutoro.

I kitea i runga i nga tohungatanga hohonu ki nga whakaritenga rauemi semiconductor penei i te TTV, BOW, WARP, me te TIR, XKH e whakarato ana i nga ratonga tukatuka angiangi ritenga e rite ana ki nga paerewa umanga kaha. Ka whakaratohia e matou me te tautoko i te tini o nga rauemi mahi nui tae atu ki te sapphire, te silicon carbide (SiC), te angiangi silicon, te SOI, me te quartz, me te whakarite i te papatahi, te rite tonu te matotoru, me te kounga o te mata mo nga tono matatau i roto i te optoelectronics, nga taputapu hiko, me te MEMS. Whakawhirinaki mai ki a maatau ki te tuku otinga rauemi pono me te miihini tika e tutuki ana i o whakaritenga hoahoa tino uaua.