Ko nga painga oNa roto i te karaihe ma (TGV)me Na roto i nga tukanga Silicon Via(TSV) i runga i a TGV ko te nuinga:
(1) tino pai nga ahuatanga hiko teitei. Ko nga mea karaihe he mea insulator, ko te 1/3 noa o te taima o te taikaha o te taikaha, a ko te mea ngaro ko te 2-3 ota te nui ki raro iho i tera o nga mea silicon, na reira ka tino heke te mate o te tïpako me nga paanga parapara. me te whakarite i te tika o te tohu tuku;
(2)rahi nui me te taputapu karaihe ultra-aniangihe ngawari ki te tiki. Ka taea e Corning, Asahi me SCHOTT me etahi atu kaihanga karaihe te whakarato i te rahi-nui-nui (>2m × 2m) me te tino kikokore (<50µm) te karaehe panui me nga rauemi karaihe ngawari.
3) Utu iti. Ka whai hua mai i te ngawari o te uru ki te karaehe ultra-aniangi rahi-rahi, a kaore e hiahiatia te whakatakoto o nga paparanga whakamarumaru, ko te utu hanga o te pereti urutau karaihe ko te 1/8 noa iho o te pereti urutau-a-silicon;
4) Te tukanga ngawari. Kaore he take ki te whakatakoto i tetahi paparanga whakamarumaru ki runga i te mata o te tïpako me te pakitara o roto o te TGV, a kaore e hiahiatia te angiangi i roto i te pereti urutau tino kikokore;
(5) He kaha te pumau miihini. Ahakoa he iti iho i te 100µm te matotoru o te pereti urutau, he iti tonu te riri;
(6) Ko te whānuitanga o nga tono, he hangarau honohono roa e puta mai ana i roto i te waahi o te kohinga taumata-wafer, ki te whakatutuki i te tawhiti poto i waenga i te wafer-wafer, ko te iti rawa o te hononga hono e whakarato ana i te huarahi hangarau hou, me te pai o te hiko. , nga waiariki, nga taonga miihini, i roto i te maramara RF, nga puoro MEMS teitei, te whakauru o te punaha teitei me etahi atu waahanga me nga painga ahurei, ko te reanga o muri o 5G, 6G maramara teitei 3D Ko tetahi o nga whiringa tuatahi mo 3D tākainga o muri-whakatupuranga 5G me 6G maramara auau teitei.
Ko te tikanga hanga o TGV te nuinga ko te kirikiri kirikiri, te keri ultrasonic, te whakamakuku maku, te hopu katote hohenga hohonu, te whakamaarama whakaahua, te tarai taiaho, te whakairo hohonu a te taiaho, me te hangahanga o te kohao tuku.
Ko nga hua rangahau me nga whanaketanga hou e whakaatu ana ka taea e te hangarau te whakarite i roto i nga rua me te 5:1 rua matapo me te hohonu ki te whanui o te 20:1, me te pai o te ahua. Ko te tikanga e tino akohia ana i naianei, na te taiaho i whakapouri hohonu. E whakaatu ana i te Whakaahua 1, ka kitea nga kapiti huri noa i te keri taiaho noa, i te mea he ma, he maeneene hoki nga pakitara a tawhio noa me te taha o te whakairo hohonu a te taiaho.
Ko te tukanga tukatuka oTGVKei te Whakaaturanga 2. Ko te kaupapa katoa ko te keri rua ki runga i te tïpako karaihe i te tuatahi, katahi ka whakatakoto i te paparanga arai me te paparanga kakano ki te pakitara taha me te mata. Ko te paparanga arai e aukati ana i te tohatoha o Cu ki te taputapu karaihe, me te whakanui ake i te piri o nga mea e rua, o te akoranga, i roto i etahi rangahau i kitea e kore e tika te paparanga arai. Na ka tukuna te Cu ma te whakakikorua, katahi ka whakauruhia, ka tangohia te paparanga Cu e CMP. Ka mutu, ka whakaritea te paparanga rewiring RDL e te PVD paninga lithography, ka hangaia te paparanga passivation i muri i te tangohanga o te kapia.
(a) Te whakarite o te angiangi, (b) te hanganga o te TGV, (c) te whakakikorua-taha-rua - te whakaheke o te parahi, (d) te whakaene me te whakakoi matū-miihini CMP, te tango i te paparanga parahi mata, (e) te paninga PVD me te lithography , (f) te whakanohonga o te paparanga rewiring RDL, (g) te whakaheke me te tarai Cu/Ti, (h) te hanga o te paparanga passivation.
Hei whakapoto,karaihe ma roto i te poka (TGV)He whanui nga tumanako mo te tono, kei te piki haere te maakete o naianei, mai i nga taputapu ki te hoahoa hua me te rangahau me te tipu whanaketanga he teitei ake i te toharite o te ao.
Mena he takahi, whakapā muku
Wā tuku: Hūrae-16-2024