I roto i te tukanga whanaketanga kotokoto o te ahumahi semiconductor, oro karaihe kotahinga angiangi siliconwhai wāhi nui. Ka mahi ratou hei rauemi taketake mo te hanga o nga momo momo miihini hiko. Mai i nga iahiko whakauru uaua me te tika ki nga miihini miihini tere-tere me nga pukoro maha, he karaihe kotahi kua orohia.nga angiangi siliconhe mea tino nui. Ko nga rereketanga o a raatau mahi me o raatau whakaritenga e pa ana ki te kounga me te mahi o nga hua whakamutunga. Kei raro nei nga whakaritenga noa me nga tawhā o nga angiangi kirikiri karaihe kotahi kua whakakoihia:

Te Diamita: Ko te rahi o nga momo angiangi kirikiri karaihe kotahi ka inehia e te diameter, ka tae mai ki roto i nga momo whakaritenga. Ko nga diameter noa ko te 2 inihi (50.8mm), 3 inihi (76.2mm), 4 inihi (100mm), 5 inihi (125mm), 6 inihi (150mm), 8 inihi (200mm), 12 inihi (300mm), me te 18 inihi (450mm). Ko nga diameter rereke e tika ana mo nga hiahia whakaputa me nga whakaritenga tukanga. Hei tauira, ka whakamahia nga wafers diameter iti ake mo nga taputapu miihini hiko iti-iti, engari ko nga angiangi diameter nui ake e whakaatu ana i te pai ake o te whakaputa me te utu i roto i nga mahi whakahiato iahiko whakauru nui. Ko nga whakaritenga o te mata kua whakarōpūhia hei whakakoi taha-tahi (SSP) me te whakakoi-taha-rua (DSP). Ka whakamahia nga angiangi whakakoi taha-tahi mo nga taputapu e hiahia ana kia papatahi teitei ki tetahi taha, penei i etahi pukoro. Ko nga angiangi whakakorikori taha-rua ka whakamahia mo nga iahiko whakauru me etahi atu hua e hiahia ana kia tino tika i runga i nga papa e rua. Whakaritenga Mata (Whakaoti): SSP whakakoi-taha-taha / DSP whakakoi-taha-rua.

Momo/Dopant: (1) N-momo Semiconductor: Ina whakaurua etahi ngota poke ki roto i te hikohiko o roto, ka rerekee i te kawe. Hei tauira, ka taapirihia nga huānga pentavalent penei i te hauota (N), te ūkuikui (P), te arsenic (As), te antimony (Sb) ranei, ka hangai o ratou irahiko valence i nga here kovalent ki nga irahiko valence o nga ngota silicon a tawhio noa, ka waiho he irahiko taapiri kaore e herea e te here kovalent. Ka puta mai he kukū irahiko nui ake i te kukū kohao, ka hanga he momo-N-momo semiconductor, e mohiotia ana ano he hiko-momo hiko. He mea nui nga momo-N- Semiconductors ki te hanga taputapu e hiahia ana i nga irahiko hei kawe utu matua, penei i etahi taputapu hiko. (2) P-momo Semiconductor: Ina whakaurua nga huānga poke trivalent penei i te boron (B), gallium (Ga), indium (In) ranei ki roto i te hiko hikohiko, ko nga irahiko valence o nga ngota poke ka hanga i nga here kovalent ki nga ngota silicon huri noa, engari karekau kia kotahi te iti rawa o te irahiko valence, a, kaore e taea te hanga i te here kovalent. Ko tenei ka arai atu ki te kuhanga poka nui ake i te kuhanga irahiko, ka hanga he momo-P-momo semiconductor, e mohiotia ana ano he momo-poka semiconductor. Ko nga momo-P semiconductor he waahi nui ki te hanga taputapu ka noho nga kohao hei kawe utu matua, penei i nga diodes me etahi transistors.

Te ātete: Ko te parenga he rahinga tinana matua e ine ana i te kawe hiko o nga angiangi kirikiri karaihe kotahi kua orohia. Ko tana uara e whakaatu ana i te mahi whakahaere o te rauemi. Ko te iti o te parenga, ko te pai ake o te kawe o te wafer silicon; engari, te teitei te parenga, te rawakore te kawe. Ko te parenga o nga angiangi silicon e whakatauhia ana e o raatau taonga, me te paanga nui o te pāmahana. Ko te tikanga, ka piki te parenga o nga angiangi silicon ki te pāmahana. I roto i nga tono whaihua, he rereke nga whakaritenga whakaahuru mo nga taputapu miihini hiko mo nga wafers silicon. Hei tauira, ko nga angiangi e whakamahia ana i roto i te hanga ara iahiko whakauru, me tika te whakahaere i te parenga kia mau ai te mahi a te taputapu.

Takotoranga: Ko te ahua o te karaihe o te angiangi e tohu ana i te ahunga tioata o te raima silicon, e tohuhia ana e nga tohu Miller penei i te (100), (110), (111), me etahi atu. Ko tenei rereketanga ka pa ki te mahi a te angiangi i roto i nga waahanga tukatuka ka whai ake me te mahi whakamutunga o nga taputapu miihinihikohiko. I roto i te mahi whakangao, ko te kowhiri i te wafer silicon me te tuunga tika mo nga whakaritenga taputapu rereke ka taea te arotau i te mahi a te taputapu, te whakapai ake i te pai o te whakaputa, me te whakarei ake i te kounga o te hua.

Flat/Notch: Ko te mata papatahi (Flat) ranei V-notch (Notch) i runga i te porowhita o te angiangi silicon he mahi tino nui ki te tiaroaro o te karaihe, he tohu nui ki te hanga me te tukatuka o te angiangi. Ko nga angiangi he rereke nga diameter e rite ana ki nga paerewa rereke mo te roa o te Flat, Notch ranei. Ka whakarōpūhia nga tapa whakaroa ki te papa tuatahi me te papa tuarua. Ko te papa tuatahi ka whakamahia hei whakatau i te whakatakotoranga karaihe taketake me te tohutoro tukatuka o te angiangi, ka awhina ano te papa tuarua ki te whakatika tika me te tukatuka, me te whakarite i te mahi tika me te rite o te wafer puta noa i te raina whakaputa.

Matotoru: Ko te matotoru o te angiangi ka tohua ki te micrometers (μm), me nga awhe matotoru noa i waenga i te 100μm me te 1000μm. Ko nga momo angiangi he rereke te matotoru e tika ana mo nga momo momo miihini hiko. Ka whakamahia te angiangi angiangi (hei tauira, 100μm – 300μm) mo te hanga maramara me kaha te whakahaere i te matotoru, te whakaiti i te rahi me te taumaha o te maramara me te whakanui ake i te kiato whakauru. Ko nga mea angiangi matotoru (hei tauira, 500μm - 1000μm) e whakamahia nuitia ana i roto i nga taputapu e hiahia ana kia teitei ake te kaha miihini, penei i nga taputapu hiko hiko, hei whakarite i te pumau i te wa e mahi ana.

Te Maamaa o te Mata: Ko te taratara o te mata tetahi o nga tawhā matua mo te arotake i te kounga o te angiangi, na te mea e pa ana ki te piri i waenga i te angiangi me nga taonga kiriata angiangi kua tukuna, me te mahi hiko o te taputapu. I te nuinga o te wa ka whakahuahia ko te tapawha tikanga pakiaka (RMS) taratara (i roto i te nm). Ko te taratara o raro te tikanga he maeneene te mata angiangi, ka awhina i te whakaiti i nga ahuatanga penei i te marara irahiko me te whakapai ake i te mahi me te pono o te taputapu. I roto i nga mahi whakangao semiconductor matatau, kei te kaha haere nga whakaritenga taratara o te mata, ina koa mo te hanga ara iahiko whakauru teitei, me whakahaere te taratara o te mata ki etahi nanometera iti iho ranei.

Rerekēnga Matotoru Tapeke (TTV): Ko te rerekētanga matotoru katoa e pā ana ki te rerekētanga i waenga i te mōrahi me te mātotoru iti i inehia ki ngā pūwāhi maha i runga i te mata angiangi, ka kīia ki te μm. Ko te TTV teitei pea ka paheke i roto i nga tikanga penei i te whakaahua whakaahua me te tarai, ka pa ki te riterite o te mahinga taputapu me te tuku. No reira, ko te whakahaere i te TTV i te wa e hanga ana he angiangi he mahi nui hei whakarite i te kounga o nga hua. Mo te hanga taputapu microelectronic tino tika, ko te tikanga me uru te TTV ki roto i nga mita iti.

Kopere: Ko te kopere e tohu ana ki te ine i waenga i te mata angiangi me te papa papatahi pai, te tikanga ine ki te μm. Ko nga mea angiangi me te nui o te tuohu ka pakaru, ka paheke ranei te ahotea i te wa e tukatuka ana ka whai ake, ka pa ki te pai o te whakaputa me te kounga o te hua. Ina koa i roto i nga mahi e hiahia ana kia tino maamaa, penei i te whakaahua whakaahua, me whakahaere te tuohu ki roto i te awhe motuhake kia tika ai te rite o te tauira whakaahua.

Warp: Ko te Warp e tohu ana i te ine i waenga i te mata angiangi me te ahua porohita pai, ka ine ano ki te μm. He rite ki te kopere, ko te warp tetahi tohu nui o te papa angiangi. Ko te nui rawa atu o te raupatu ka pa ki te tika o te whakaurunga o te angiangi i roto i nga taputapu tukatuka engari ka puta he take i te wa e mahi ana te putunga maramara, penei i te ngoikoretanga o te hononga i waenga i te maramara me nga taonga kapi, ka pa ki te pono o te taputapu. I roto i nga mahi hanga semiconductor teitei, kei te kaha ake nga whakaritenga warp ki te whakatutuki i nga hiahia o te hanga maramara matatau me nga tikanga whakangao.

Kōtaha Tapa: He mea tino nui te kōtaha taha o te angiangi mō tōna tukatuka me te whāwhā. Ko te nuinga o te waa e tohuhia ana e te Rohe Whakakotahitanga Edge (EEZ), e tohu ana i te tawhiti mai i te taha angiangi kaore e whakaaetia te tukatuka. Ko te ahua o te taha i hangaia me te mana EEZ tika ka awhina i te karo i nga koha o te taha, te taumahatanga o te ahotea, me era atu take i te wa e tukatuka ana, me te whakapai ake i te kounga me nga hua angiangi. I roto i etahi o nga mahi whakangao matatau, me noho tika te ahua o te taha ki te taumata iti-micron.

Tatau Matūriki: Ko te maha me te rahi o te tohatoha matūriki i runga i te mata angiangi ka tino pa ki te mahi o nga taputapu hikohikohiko. Ko nga matūriki nui, nui ranei ka raru pea nga taputapu, penei i te ara iahiko poto, te rerenga ranei, ka heke te hua o te hua. No reira, ko te nuinga o nga wa ka inehia te tatau matūriki ma te tatau i nga matūriki mo ia waahanga waahanga, penei i te maha o nga matūriki nui ake i te 0.3μm. Ko te tino whakahaere i te tatau matūriki i te wa e hanga ana he angiangi he ine nui hei whakarite i te kounga o te hua. Ka whakamahia nga hangarau horoi matatau me te taiao whakangao ma hei whakaiti i te poke matūriki i runga i te mata angiangi.

Te hanga e pa ana

Kotahi Crystal Silicon Wafer Si Substrate Momo N/P Kōwhiringa Silicon Carbide Wafer

FZ CZ Si angiangi kei roto i nga taonga 12inihi Silicon wafer Prime, Whakamatau ranei