Ko ngā papa tioata me te whakatakotoranga tioata he ariā matua e rua i roto i te karaihe whakapūmau, e pā tata ana ki te hanganga tioata i roto i te hangarau ara iahiko whakauru e hangai ana ki te silicon.
1. Te Whakamāramatanga me ngā Āhuatanga o te Whakatakotoranga Kiriata
Ko te aronga tioata e tohu ana i tētahi ahunga motuhake i roto i te tioata, e whakaatuhia ana e ngā tohu aronga tioata. Ka tautuhia te aronga tioata mā te hono i ngā pūwāhi whatunga e rua i roto i te hanganga tioata, ā, ko ēnei ōna āhuatanga: kei roto i ia aronga tioata he maha mutunga kore o ngā pūwāhi whatunga; ka taea e te aronga tioata kotahi te whakauru i ngā aronga tioata whakarara maha e hanga ana i tētahi whānau aronga tioata; ka kapi te whānau aronga tioata i ngā pūwāhi whatunga katoa i roto i te tioata.
Ko te hiranga o te aronga o te tioata kei roto i te tohu i te whakaritenga ahunga o ngā ngota i roto i te tioata. Hei tauira, ko te aronga tioata [111] e tohu ana i tētahi ahunga motuhake ko ngā ōwehenga whakaata o ngā tuaka taunga e toru he 1:1:1.
2. Te Whakamāramatanga me ngā Āhuatanga o ngā Papa Tioata
Ko te papa tioata he papa o te whakaritenga ngota i roto i te tioata, e tohuhia ana e ngā tohu papa tioata (ngā tohu Miller). Hei tauira, e tohu ana te (111) ko ngā tauutuutu o ngā taunga o te papa tioata i runga i ngā tuaka taunga kei roto i te ōwehenga o te 1:1:1. Ko ngā āhuatanga o te papa tioata: kei roto i ia papa tioata he maha mutunga kore o ngā pūwāhi whatunga; kei roto i ia papa tioata he maha mutunga kore o ngā papa whakarara e hanga ana i te whānau papa tioata; ka kapi te whānau papa tioata i te tioata katoa.
Ko te whakatau i ngā tāurangi Miller ko te tango i ngā taunga o te papa tioata i runga i ia tuaka taunga, te kimi i ō rātou taurite, me te huri i aua taunga ki te ōwehenga tauoti iti rawa. Hei tauira, ko te papa tioata (111) he taunga kei runga i ngā tuaka x, y, me z i te ōwehenga 1:1:1.
3. Te Hononga i waenganui i ngā Papa Kiriata me te Aronga Kiriata
E rua ngā momo huarahi e whakaahua ai te hanganga ā-ira o te tioata, arā, ko te papa tioata me te aronga tioata. Ko te aronga tioata e pā ana ki te whakaritenga o ngā ngota i runga i tētahi ahunga motuhake, ko te papa tioata ia e pā ana ki te whakaritenga o ngā ngota i runga i tētahi papa motuhake. He rite tonu te āhua o ēnei e rua, engari he rerekē ngā ariā ā-tinana e tohu ana i tēnei.
Hononga matua: Ko te ira noa o te papa tioata (arā, ko te ira poutū ki taua papa) e rite ana ki te aronga tioata. Hei tauira, ko te ira noa o te papa tioata (111) e rite ana ki te aronga tioata [111], ko te tikanga ko te whakaritenga ngota i te ahunga [111] e poutū ana ki taua papa.
I roto i ngā tukanga haurua-haurua, he nui te pānga o te kōwhiringa o ngā papa tioata ki te mahi a te taputapu. Hei tauira, i roto i ngā haurua-haurua e hangai ana ki te silicon, ko ngā papa tioata e whakamahia whānuitia ana ko ngā papa (100) me (111) nā te mea he rerekē ngā whakaritenga ngota me ngā tikanga here i ngā ahunga rerekē. He rerekē ngā āhuatanga pēnei i te nekenekehanga irahiko me te kaha mata i runga i ngā papa tioata rerekē, e pā ana ki te mahi me te tukanga tipu o ngā taputapu haurua-haurua.
4. Ngā Whakamahinga Whaihua i roto i ngā Tukanga Ārahi-Haumaru
I roto i te hanga haurua-ā-irahiko e hangai ana ki te silicon, ka whakamahia te whakatakotoranga tioata me ngā papa tioata i roto i ngā āhuatanga maha:
Te Tipu o te Tioata: Ko ngā tioata haurua-arataki ka tipuhia i runga i ngā aronga tioata motuhake. Ko ngā tioata silicon te nuinga o te wā ka tipu i runga i ngā aronga [100] me [111] nā te mea he pai te pumau me te whakaritenga ngota i roto i ēnei aronga mō te tipu o te tioata.
Te Tukanga Whakairo: I roto i te whakairo mākū, he rerekē ngā tere whakairo o ngā papa tioata rerekē. Hei tauira, he rerekē ngā tere whakairo i runga i ngā papa (100) me (111) o te silicon, ka hua ake he pānga whakairo anisotropic.
Ngā Āhuatanga o te Pūrere: Ka pāngia te nekehanga irahiko i roto i ngā pūrere MOSFET e te papa tioata. I te nuinga o te wā, he teitei ake te nekehanga i runga i te papa (100), koia te take e whakamahia nuitia ai e ngā MOSFET hou e hangai ana ki te silicon ngā anga (100).
Hei whakarāpopototanga, ko ngā papa tioata me ngā whakatakotoranga tioata he huarahi matua e rua hei whakaahua i te hanganga o ngā tioata i roto i te mahi tioata. Ko te whakatakotoranga tioata e tohu ana i ngā āhuatanga ahunga i roto i te tioata, ko ngā papa tioata ia e whakaahua ana i ngā papa motuhake i roto i te tioata. He hononga tata ēnei ariā e rua i roto i te hanga haurua-ā-ira. Ko te kōwhiringa o ngā papa tioata ka pā tika ki ngā āhuatanga ā-tinana me te matū o te rauemi, ko te whakatakotoranga tioata ia ka pā ki te tipu me ngā tikanga tukatuka tioata. He mea nui te mārama ki te whanaungatanga i waenga i ngā papa tioata me ngā whakatakotoranga hei arotau i ngā tukanga haurua-ā-ira me te whakapai ake i te mahi a te taputapu.
Wā tuku: Oketopa-08-2024