SOI (Silicon-On-Insulator) angiangie tohu ana i tetahi papanga hikohiko motuhake e whakaatu ana i te paparanga silicon tino kikokore i hangaia i runga i te paparanga waikura whakamatao. Ko tenei hanganga hanawiti ahurei e tuku ana i nga mahi whakarei ake mo nga taputapu semiconductor.
Tito Hanganga:
Apa Pūrere (Runga Silicon):
Ko te matotoru mai i te maha o nga nanometers ki te micrometers, ka noho hei paparanga kaha mo te hanga transistor.
Apa Oxide Tanu (PUAKA):
He paparanga whakamaarama hiako hauhauora (0.05-15μm te matotoru) ka wehea te paparanga taputapu mai i te tïpako.
Raupapa turanga:
Hikaona nui (100-500μm te matotoru) hei tautoko miihini.
E ai ki te hangarau tukanga whakarite, ka taea te whakarōpūtia nga huarahi mahi auraki o nga angiangi silicon SOI: SIMOX (hangarau wehenga werohanga hāora), BESOI (hangarau whakahiato hononga), me Smart Cut (hangarau tangohanga mohio).
Ko te SIMOX (Hangarau werohanga o te Oxygen injections) he tikanga e werohia ana nga katote hāora kaha-kaha ki roto i nga angiangi silicon ki te hanga i tetahi paparanga whakamau hauhauora, katahi ka tukuna ki te whakamaarama teitei-nui ki te whakatika i nga hapa o te reeti. Ko te mea matua he werohia te hāora katote ki te hanga i te hāora paparanga tanumia.
Ko te BESOI (Te Hangarau Thinning Hononga) ko te hono i nga wafers silicon e rua katahi ka angiangi tetahi o aua mea ma te huri miihini me te tarai matū hei hanga i te hanganga SOI. Ko te matua kei te hono me te angiangi.
Tapahi Maamaa (Te Hangarau Maamaa Maamaa) ka hanga he paparanga whakamomori ma te werohanga katote hauwai. Whai muri i te herenga, ka mahia te maimoatanga wera ki te whakakorikori i te angiangi angiangi ki te taha o te paparanga katote hauwai, ka hanga he paparanga silicon tino kikokore. Ko te matua ko te werohanga hauwai.
I tenei wa, tera ano tetahi atu hangarau e mohiotia ana ko SIMBOND (te hangarau honohono o te werohanga o te hāora), i hangaia e Xinao. Inaa, he huarahi e whakakotahi ana i te wehenga werohanga hāora me nga hangarau honohono. I roto i tenei huarahi hangarau, ka whakamahia te hāora i werohia hei paparanga arai angiangi, a ko te apa o te hāora kua tanumia he paparanga waiariki. Na reira, i te wa ano ka whakapai ake i nga taapiri penei i te rite o te silicon runga me te kounga o te paparanga hāora kua tanumia.
Ko nga angiangi angiangi SOI i hangaia e nga huarahi hangarau rereke he rereke nga tawhā mahi, he pai hoki mo nga ahuatanga tono rereke.
E whai ake nei he ripanga whakarāpopototanga o nga tino painga o te mahi o nga angiangi hiraka SOI, me o raatau ahuatanga hangarau me nga ahuatanga tono tuuturu. Ka whakatauritea ki te silicon nuinga o mua, he nui nga painga o te SOI i te toenga o te tere me te kohi hiko. (PS: Ko te mahi a 22nm FD-SOI e tata ana ki tera o FinFET, a ka whakahekehia te utu e 30%.)
| Painga Mahinga | Kaupapa Hangarau | Whakaaturanga motuhake | Tauari Taupānga Angamaheni |
| Te Kaha Parasitic iti | Ko te paparanga whakamaarama (BOX) ka aukati i te honohono utu i waenga i te taputapu me te taputapu | Ko te tere o te whakawhiti i piki ake i te 15%-30%, ka whakahekehia te mana hiko e 20%-50% | 5G RF, Nga maramara korero auau teitei |
| Whakahekea Leakage Naianei | Ko te paparanga whakamaarama ka pehi i te turuturu i nga ara o naianei | Kua whakahekehia te naianei leakage e >90%, kua roa te ora o te pākahiko | Nga taputapu IoT, Te hikohiko kakahu |
| Whakarei ake i te Maama Irirangi | Ka aukati te paparanga whakamaarama i te whakaemi utu iraruraru | Kua pai ake te whakamaarama iraruke i te 3-5x, i whakaitihia nga raruraru o te huihuinga kotahi | Waka mokowhiti, taputapu ahumahi karihi |
| Mana Whakaaetanga Waehere Poto | Ko te paparanga silicon angiangi ka whakaiti i te pokanoatanga o te papa hiko i waenga i te awaawa me te puna | Kua pai ake te pumau o te ngaohiko o te paepae, te pikinga o te paepae raro | Ngā maramara arorau kōpuku matatau (<14nm) |
| Kua Pai ake te Whakahaere Ngawha | Ko te paparanga whakamaarama ka whakaiti i te hononga kawe wera | 30% iti te whakaemi wera, 15-25°C raro ake te pāmahana whakahaere | 3D ICs, Hikohiko Automotive |
| Arotautanga Auautanga Nui | Kua whakaitihia te kaha o te parapara me te nekeneke o te kawe kawe | 20% te roa o raro, tautoko> 30GHz tukatuka tohu | Whakawhitiwhiti mmWave, maramara waea taurangi |
| Whakanuia te Hangawari Hoahoa | Kaore e hiahiatia te doping pai, e tautoko ana i te whakamuri | 13%-20% te iti ake o nga hikoi tukanga, 40% teitei ake te kiato whakauru | IC tohu-whakaranu, Pūoko |
| Whakamaunga-ake Whakarere | Ko te paparanga whakamaarama ka wehe i nga hononga PN pirinoa | Kua piki ake te paepae o naianei ki> 100mA | Ngaohiko hiko teitei |
Hei whakarapopototanga, ko nga tino painga o te SOI: he tere te oma, he pai ake te kaha.
Na enei ahuatanga mahi o SOI, he whanui nga tono ki nga mara e hiahia ana kia pai te mahi auau me te mahi whakapau hiko.
Ka rite ki te whakaatu i raro nei, i runga i te waahanga o nga mara tono e pa ana ki a SOI, ka kitea ko te RF me nga taputapu hiko te nuinga o te maakete SOI.
| Apure Tono | Toha Maakete |
| RF-SOI (Irirangi Auaumoka) | 45% |
| Mana SOI | 30% |
| FD-SOI (Kua pau katoa) | 15% |
| Optical SOI | 8% |
| Pūoko SOI | 2% |
Na te tipu o nga maakete penei i te whakawhitiwhiti korero pūkoro me te taraiwa motuhake, ko te SOI silicon wafers e tika ana kia mau tonu te tipu o te tipu.
Ko te XKH, he tino kaiwhakahou i roto i te hangarau angiangi Silicon-On-Insulator (SOI), ka tukuna he otinga SOI matawhānui mai i te R&D ki te whakaputa rōrahi ma te whakamahi i nga tikanga whakangao-ahumahi. Kei roto i ta maatau kopaki katoa nga momo angiangi 200mm/300mm SOI e toro ana i nga momo rerekee RF-SOI, Power-SOI me FD-SOI, me te mana o te kounga pai hei whakarite i te riterite o nga mahi (te riterite te matotoru i roto i te ±1.5%). Ka whakaekea e matou he otinga motuhake me te matotoru o te paparanga o te waikura (BOX) mai i te 50nm ki te 1.5μm me nga momo whakaritenga parenga hei whakatutuki i nga whakaritenga motuhake. Ma te whakamahi i nga tau 15 o te tohungatanga hangarau me te mekameka toha toha ki te ao, he pono ka tukuna e matou nga rauemi taputapu SOI-kounga teitei ki nga kaihanga semiconductor o runga o te ao, e taea ai nga mahi hou maramara i roto i nga korero 5G, te hikohiko miihini, me nga tono mohio.
XKH's SOI angiangi:
Te wa tuku: Apr-24-2025