Ko te Silicon carbide (SiC) he puhui whakamiharo e kitea ana i roto i te umanga semiconductor me nga hua uku teitei. I te nuinga o te wa ka raru te hunga reimana ka pohehe he rite tonu te momo hua. I roto i te meka, i te wa e tohatoha ana i nga hanganga matū rite tonu, ko te SiC ka whakaatu mai i te kakahu-aukati i nga karamu teitei, i nga semiconductors tino kaha ranei, e takaro ana i nga mahi rereke i roto i nga tono ahumahi. He nui nga rereketanga i waenga i nga taonga SiC-grade me te semiconductor-grade SiC i runga i te hanganga karaihe, nga mahi whakangao, nga ahuatanga mahi, me nga waahanga tono.
- Nga Whakaritenga Maamaa rereke mo nga Rawa Rawa
He ngawari nga whakaritenga mo te parakore o te SiC mo tana kai paura. Ko te tikanga, ka taea e nga hua arumoni 90% -98% te purea te whakatutuki i te nuinga o nga hiahia tono, ahakoa ka hiahia pea nga uku hangahanga teitei ki te 98% -99.5% te parakore (hei tauira, ko te SiC tauhohenga-hononga me whai ihirangi silicon kore utu). Ka whakamanahia e ia etahi poke, a, i etahi wa ka whakauru i nga awhina whakahiato penei i te waikura konumohe (Al₂O₃) me te yttrium oxide (Y₂O₃) hei whakapai ake i te mahi sintering, whakaiti i te pāmahana sintering, me te whakarei ake i te kiato hua whakamutunga.
Ko te SiC-koeke Semiconductor e hiahia ana ki nga taumata parakore tata-tino. Me ≥99.9999% (6N) te parakore, me etahi tono teitei e hiahia ana kia 7N (99.99999%) te ma. Ko nga paparanga epitaxial me mau tonu nga kuhanga poke i raro i te 10¹⁶ ngota/cm³ (ina koa te karo i nga poke taumata-hohonu penei i a B, Al, me V). Ahakoa nga mea poke penei i te rino (Fe), te konumohe (Al), te boron (B) ka kaha te pa ki nga taonga hiko ma te marara kaikawe, ka whakaheke i te kaha o te mara pakaru, ka mutu ka whakararu i te mahi me te pono o te taputapu, me kaha te whakahaere poke.
Ko nga rauemi semiconductor Silicon carbide
- Nga Hanganga Kiriata Motuhake me te Kounga
Ko te ahua o te SiC te karamiki te mea he paura polycrystalline, he tinana kua titohia mai i te maha o nga microcrystals SiC kua noho matapōkeretia. He maha pea nga momo polytypes i roto i te rawa (hei tauira, α-SiC, β-SiC) kaore he mana whakahaere mo nga momo polytypes motuhake, me te aro nui ki te kiato me te riterite. Kei roto i te hanganga o roto te maha o nga rohe o te witi me nga pore moroiti, kei roto pea he awhina whakahiato (hei tauira, Al₂O₃, Y₂O₃).
Ko te Semiconductor-grade SiC me noho hei taputapu kirikiri kotahi, he paparanga epitaxial ranei me nga hanganga karaihe tino ota. Me whai momo polytypes motuhake ka whiwhi mai i nga tikanga tipu tioata tika (hei tauira, 4H-SiC, 6H-SiC). Ko nga taonga hiko penei i te neke irahiko me te mokowhiti he tino tairongo ki te kowhiringa polytype, me kaha te whakahaere. I tenei wa, ko te 4H-SiC te rangatira o te maakete na ona taonga hiko teitei tae atu ki te tere o te kawe kawe me te kaha o te waahi pakaru, he pai mo nga taputapu hiko.
- Whakatauritetanga Matatini Tukanga
Ka whakamahia e te SiC karaehe nga tikanga hanga ngawari (te whakarite paura → te hanga → te sintering), he rite ki te "hanga pereki." Ko te tukanga ko:
- Te whakaranu i te paura SiC taumata arumoni (te nuinga o te micron-rahi) me nga here
- Te hanga ma te pehi
- Te whakahiato i te pāmahana teitei (1600-2200°C) ki te whakatutuki i te whakamaaramatanga ma te whakamaarama matūriki.
Ko te nuinga o nga tono ka makona ki te >90% kiato. Ko te katoa o nga mahi karekau e hiahia kia tika te mana tipu o te karaihe, me aro ke ki te hanga me te whakakotahitanga. Ko nga painga ko te ngawari o te tukanga mo nga ahua uaua, ahakoa he iti ake nga whakaritenga parakore.
Ko te SiC-koeke Semiconductor he maha atu nga tikanga uaua (te whakarite paura parakore teitei → te tipu o te tïpako kirikiri-kotahi → te wafer wafer epitaxial → te hanga taputapu). Ko nga mahi matua ko:
- Ko te whakarite i te papapa ma te tikanga kawe kohu tinana (PVT).
- Te whakahekenga o te paura SiC i nga ahuatanga tino kino (2200-2400°C, te korehau teitei)
- Te mana tika o te rōnaki pāmahana (±1°C) me ngā tawhā pēhanga
- Te tipu o te paparanga epitaxial na roto i te whakahekenga kohu matū (CVD) ki te hanga i te matotoru riterite, te paparanga doped (te nuinga o te maha ki te tekau microns)
Ko te tukanga katoa e hiahia ana ki nga taiao tino maamaa (hei tauira, nga ruma horoi o te akomanga 10) hei aukati i te poke. Ko nga ahuatanga ko te tino tika o te tukanga, me te whakahaere i nga waahi wera me nga reiti rere hau, me nga whakaritenga kaha mo te maa o nga rawa mata (>99.9999%) me te maamaatanga o nga taputapu.
- Nga Rerekēnga Utu Nui me nga Whakaritenga Maakete
Ko nga ahuatanga o te SiC karaima:
- Rauemi mata: Te paura tauhokohoko
- He ngawari noa nga tukanga
- Utu iti: He mano ki te tekau mano RMB mo ia tana
- Nga tono whaanui: Abrasives, refractory, me etahi atu ahumahi utu-tairongo
Ko nga ahuatanga SiC-koeke Semiconductor:
- He roa nga huringa tipu o te tïpako
- Te whakawero i te mana koha
- Reiti hua iti
- Te utu nui: Nga mano o te USD mo ia taputapu 6-inihi
- Nga maakete arotahi: Ko nga hikohiko mahi teitei penei i nga taputapu hiko me nga waahanga RF
Na te whanaketanga tere o nga waka hiko hou me nga korero 5G, kei te tipu haere te hiahia o te maakete.
- Tauari Taupānga Rerekē
Ko te SiC te karamu he "hoiho mahi ahumahi" mo nga tono hanganga. Ma te whakamahi i ona ahuatanga miihini tino pai (he kaha te pakeke, he aukati kakahu) me nga taonga waiariki (he parenga teitei o te pāmahana, te aukati waiora), he tino pai ki:
- Abrasive (wiri huri, pepa kirikiri)
- Reractories (nga ararewa umu wera-teitei)
- Nga waahanga weriweri/waikura (nga tinana papua, arai paipa)
Silicon carbide wāhanga hanganga uku
Ko te Semiconductor-grade SiC e mahi ana hei "tangata hiko," ma te whakamahi i ona taonga hikoi whanui whanui hei whakaatu i nga painga ahurei i roto i nga taputapu hiko:
- Nga taputapu hiko: Hurihuri EV, kaitahuri matiti (whakapai ake i te kaha o te huri hiko)
- Nga taputapu RF: nga teihana turanga 5G, nga punaha radar (ka taea te kaha ake o nga rerenga whakahaere)
- Optoelectronics: Rauemi papanga mo nga LED kikorangi
200-millimeter SiC epitaxial angiangi
| Ahu | SiC-koeke Ceramic | Semiconductor-grade SiC |
| Hanganga Kiriata | Polycrystalline, polytypes maha | tioata kotahi, polytypes tino tīpakohia |
| Te Arotahi Tukanga | Te whakaheke me te whakahaere ahua | Ko te kounga o te karaihe me te mana hiko |
| Mahi Matua | Te kaha miihini, te aukati waikura, te pumau o te waiariki | Nga taonga hiko (te aputa, te mara pakaru, me etahi atu) |
| Tauira Taupānga | Nga waahanga hangahanga, nga waahanga whakakakahu, nga waahanga wera-teitei | Nga taputapu hiko teitei, nga taputapu auau teitei, nga taputapu optoelectronic |
| Nga Kaitaraiwa Utu | Te ngawari o te tukanga, te utu rauemi mata | Ko te tere o te tipu o te karaihe, te tika o nga taputapu, te parakore o nga rauemi mata |
Hei whakarāpopototanga, ko te rereketanga nui i ahu mai i o raatau kaupapa mahi motuhake: ko te SiC-koeke karaehe e whakamahi ana i te "ahua (hanganga)" i te wa e whakamahi ana a SiC-koeke semiconductor "nga rawa (hiko)." Ko te mea o mua e whai ana i nga mahi miihini/waariki-utu whai hua, ko te mea whakamutunga e tohu ana i te tihi o te hangarau whakareri rawa hei taonga tino parakore, kirikiri kotahi. Ahakoa te tiritiri i te takenga matū kotahi, ka whakaatuhia e te SiC te karaehe karaehe me te tohu-ahuru-ahuru nga rereketanga o te ma, te hanga karaihe, me nga mahi whakangao - heoi he nui nga takoha e rua ki te hanga ahumahi me te ahu whakamua hangarau i o raatau rohe.
Ko te XKH he hinonga hangarau-nui e whai kiko ana ki te R&D me te hanga o nga rawa silicon carbide (SiC), e tuku ana i te whanaketanga kua whakaritea, te miihini tika, me nga ratonga maimoatanga mata mai i nga karamu SiC tino parakore ki nga kiripiri SiC semiconductor-grade. Ma te whakamahi i nga hangarau whakarite matatau me nga raina whakaputa mohio, ka whakarato a XKH i nga mahi tunable-performance (90% -7N pure) me te hanganga-whakahaere (polycrystalline / single-crystalline) nga hua SiC me nga otinga mo nga kaihoko i roto i te semiconductor, te kaha hou, te aerospace me etahi atu mara tapahi. Ka kitea e a maatau hua nga tono nui i roto i nga taputapu semiconductor, nga waka hiko, nga korero 5G me nga ahumahi e pa ana.
Ko nga mea e whai ake nei ko nga taputapu karaima silicon carbide i hangaia e XKH.
Wā tuku: Hūrae-30-2025