Ko te horoi maaku (Wet Clean) tetahi o nga mahi whakahirahira i roto i nga mahi whakangao semiconductor, e whai ana ki te tango i nga momo poke mai i te mata o te angiangi ki te whakarite ka taea te mahi i nga mahi o muri mai i runga i te mata ma.
I te mea kei te heke haere tonu te rahi o nga taputapu semiconductor me te piki haere o nga whakaritenga tika, kua kaha haere nga tono hangarau mo nga mahi horoi wafer. Ahakoa nga matūriki iti rawa, nga rawa waro, nga katote konganuku, nga toenga waikura ranei kei runga i te mata angiangi ka tino pa ki te mahi a te taputapu, na reira ka pa ki te hua me te pono o nga taputapu semiconductor.
Nga Tikanga Matua o te Whakapai Wafer
Ko te kaupapa matua o te horoi angiangi ko te tango i nga momo poke mai i te mata angiangi ma te tinana, matū, me etahi atu tikanga kia pai ai te maa o te angiangi mo te tukatuka o muri.
Momo Whakakino
Nga Awenga Matua ki nga ahuatanga o te taputapu
| Tuhinga Contamination | Nga hapa tauira
Nga hapa whakaurunga katote
Ko nga hapa pakaru o te kiriata whakamaarama
| |
| Te Whakakino Kotara | Nga Konanuku Alkali | MOS transistor koretake
Kua pakaru te kiriata waikura kuaha/whakakino
|
| Nga Korewa Taamaha | Kua piki ake te PN junction reverse leakage ia
Ko nga hapa pakaru o te kiriata waikura kuaha
Te whakahekenga oranga o te kaikawe tokoiti
Te whakaputanga koha o te paparanga ohaoha
| |
| Whakakino matū | Rauemi Organic | Ko nga hapa pakaru o te kiriata waikura kuaha
Rerekētanga kiriata CVD (wa incubation)
He rereke te matotoru o te kiriata waikura (whakaheke hāora)
Putanga kohu (wafer, arotahi, whakaata, kanohi, reticle)
|
| Te Dopants parakore (B, P) | Ka huri te MOS transistor Vth
Si tïpako me te ātete tiketike rau poly-silicon rerekē ātete ātete
| |
| Nga turanga parakore (amine, ammonia) me te waikawa (SOx) | Te paheketanga o te taumira o nga parenga whakakaha matū
Ka puta te poke matūriki me te kohu na te hanga tote
| |
| Nga Kiriata Oxide Maori me te Maama Na te Makuku, Te Hau | Kua piki ake te parenga whakapiri
Kua pakaru te kiriata waikura kuaha/whakakino
| |
Ina koa, ko nga whaainga o te mahi horoi angiangi ko:
Tango Matūriki: Te whakamahi tikanga tinana, matū ranei hei tango i nga matūriki iti e piri ana ki te mata angiangi. Ko nga matūriki iti ake he uaua ki te tango na te kaha o te hiko hiko i waenga i a raatau me te mata angiangi, me whai maimoatanga motuhake.
Tango Rauemi Organic: Ka piri pea nga poke pararopi penei i te hinu me nga toenga photoresist ki te mata angiangi. Ko enei mea poke ka whakakorehia ma te whakamahi i nga matū waiora kaha, whakarewa ranei.
Tango Katote Metal: Ko nga toenga katote whakarewa i runga i te mata angiangi ka taea te whakaheke i nga mahi hiko me te pa ki nga mahi tukatuka ka whai ake. Na reira, ka whakamahia etahi otinga matū motuhake hei tango i enei katote.
Tango Oxide: Ko etahi o nga tukanga e hiahia ana kia noho kore te mata angiangi mai i nga papa o te waikura, penei i te waikura silicon. I enei ahuatanga, me tango nga papa waikura maori i etahi wa horoi.
Ko te wero o te hangarau horoi angiangi ko te tango pai i nga mea poke me te kore e pa kino ki te mata angiangi, penei i te aukati i te taratara o te mata, te waikura, me etahi atu kino tinana.
2. Rere Tukatuka Wafer Cleaning
Ko te tikanga horoi angiangi he maha nga waahanga hei whakarite i te tango katoa o nga mea poke me te whakatutuki i te mata tino ma.
Pikitia: Whakatauritenga i waenga i te Momo Putunga me te Maamaa Wafer Kotahi
Kei roto i te tikanga horoi angiangi nga mahi matua e whai ake nei:
1. Whakapai i mua (Pre-Clean)
Ko te kaupapa o te horoi i mua ko te tango i nga mea poke me nga matūriki nui mai i te mata angiangi, ka tutuki i te nuinga o te waa ma te horoi wai (DI Water) me te horoi ultrasonic. Ka taea e te wai whakaheke i te tuatahi te tango i nga matūriki me nga poke kua rewa mai i te mata angiangi, i te wa e whakamahia ana e te horoi ultrasonic nga paanga cavitation ki te wawahi i te hononga i waenga i nga matūriki me te mata angiangi, kia ngawari ake ai te whakakore.
2. Whakapai matū
Ko te horoi matū tetahi o nga mahi matua i roto i te mahi horoi angiangi, ma te whakamahi i nga rongoa matū hei tango i nga rawa waro, nga katote whakarewa, me nga waikura mai i te mata angiangi.
Tango Rauemi Organic: Ko te tikanga, ka whakamahia te acetone, te ranunga haukini/peroxide ranei (SC-1) ki te tareka me te whakapouri i nga para parapara. Ko te ōwehenga angamaheni mo te otinga SC-1 ko te NH₄OH
₂O₂
₂O = 1:1:5, me te pāmahana mahi tata ki te 20°C.
Te Tango Katote Kotara: Ka whakamahia te waikawa Nitric, te waikawa maaota ranei/whakaranu peroxide (SC-2) hei tango i nga katote whakarewa mai i te mata angiangi. Ko te ōwehenga angamaheni mo te otinga SC-2 ko HCl
₂O₂
₂O = 1:1:6, ka mau tonu te mahana ki te 80°C.
Tango Oxide: I etahi tukanga, ka hiahiatia te tango i te paparanga waikura taketake mai i te mata angiangi, hei whakamahi i te wairewa hydrofluoric acid (HF). Ko te ōwehenga angamaheni mo te otinga HF he HF
₂O = 1:50, ka taea te whakamahi i te pāmahana rūma.
3. Whakamutunga Whakamutunga
Whai muri i te horoi matū, ko te nuinga o nga wa ka mahia e nga angiangi tetahi mahi horoi whakamutunga kia kore ai he toenga matū e noho ki runga. Ko te horoi whakamutunga ko te nuinga o te whakamahi i te wai kaoona mo te horoi tino. I tua atu, ka whakamahia te horoi wai ozone (O₃/H₂O) ki te tango atu i nga toenga poke i te mata angiangi.
4. Te whakamaroke
Me tere te whakamaroke i nga angiangi kua horoia kia kore ai te tohuwai, te whakapiri ano ranei o nga mea poke. Ko nga tikanga whakamaroke noa ko te whakamaroke miro me te horoi hauota. Ko te mea o mua ka tango i te makuku mai i te mata angiangi ma te hurihuri i nga tere tere, ko te mea whakamutunga ka tino whakamaroke ma te pupuhi hau hauota maroke puta noa i te mata angiangi.
Whakakino
Ingoa Tikanga Whakapai
Whakaahuatanga Rahui matū
Matū
| Matūriki | Pirana (SPM) | Te waikawa whanariki/waiwaiwaiwai/DI wai | H2SO4/H2O2/H2O 3-4:1; 90°C |
| SC-1 (APM) | Te haukinia haukinia/waiwaiwaiwai/DI wai | NH4OH/H2O2/H2O 1:4:20; 80°C | |
| Nga konganuku (kaua he parahi) | SC-2 (HPM) | Waikawa pūmāota/waiwaiwaiwai/DI wai | HCl/H2O2/H2O1:1:6; 85°C |
| Pirana (SPM) | Te waikawa whanariki/waiwaiwaiwai/DI wai | H2SO4/H2O2/H2O3-4:1; 90°C | |
| DHF | Whakarihia te waikawa waiwaro/DI wai (kaore e tangohia te parahi) | HF/H2O1:50 | |
| Organics | Pirana (SPM) | Te waikawa whanariki/waiwaiwaiwai/DI wai | H2SO4/H2O2/H2O 3-4:1; 90°C |
| SC-1 (APM) | Te haukinia haukinia/waiwaiwaiwai/DI wai | NH4OH/H2O2/H2O 1:4:20; 80°C | |
| DIO3 | Ozone i roto i te wai katote | O3/H2O Whakaranu Arotau | |
| Oxide Maori | DHF | Whakarihia te waikawa waiwaro/DI wai | HF/H2O 1:100 |
| BHF | Waikawa pūngao pūmau | NH4F/HF/H2O |
3. Tikanga Whakapai Wafer Common
1. Tikanga Whakapai RCA
Ko te tikanga horoi RCA tetahi o nga tikanga horoi angiangi tino rongonui i roto i te ahumahi semiconductor, i whakawhanakehia e RCA Corporation neke atu i te 40 tau ki muri. Ko tenei tikanga ka whakamahia tuatahi ki te tango i nga poke pararopi me nga poke katote whakarewa, ka taea te whakaoti i nga waahanga e rua: SC-1 (Paerewa 1) me te SC-2 (Paerewa Ma 2).
SC-1 Horoi: Ka whakamahia tenei taahiraa ki te tango i nga mea poke me nga matūriki. Ko te otinga he ranunga o te haukinia, te hauwai peroxide, me te wai, ka hanga he paparanga waikura hiraka angiangi ki runga i te mata angiangi.
SC-2 Te horoi: Ko tenei taahiraa ka whakamahia tuatahi ki te tango i nga poke katote whakarewa, ma te whakamahi i te ranunga o te waikawa waikawa, te hauwai peroxide, me te wai. Ka waiho he paparanga angiangi ki runga i te mata angiangi kia kore ai e poke ano.
2. Tikanga Whakapai Piranha (Piranha Etch Clean)
Ko te tikanga horoi Piranha he tikanga tino whai hua mo te tango i nga rawa pararopi, ma te whakamahi i te ranunga o te waikawa pungatara me te hauwai peroxide, te tikanga i roto i te ōwehenga o 3:1 ranei 4:1. Na te tino kaha o te waiora o tenei otinga, ka taea e ia te tango i te nui o nga mea pararopi me nga mea poke. Ko tenei tikanga me kaha te whakahaere i nga tikanga, ina koa mo te pāmahana me te kukū, kia kore ai e pakaru te angiangi.
Ka whakamahia e te horoi Ultrasonic te painga o te cavitation i hangaia e nga ngaru oro teitei i roto i te wai hei tango i nga poke i te mata angiangi. Ka whakatauritea ki te horoi ultrasonic tuku iho, ka mahi te horoi megasonic i te auau teitei ake, ka taea te tango pai ake i nga matūriki iti-micron-rahi me te kore e pakaru te mata angiangi.
4. Whakapai Ozone
Ko te hangarau horoi Ozone e whakamahi ana i nga mea whakahaehae kaha o te ozone ki te pirau me te tango i nga parapara waro mai i te mata angiangi, i te mutunga ka huri hei waro waro kino me te wai. Ko tenei tikanga kaore e hiahiatia te whakamahi i nga reagents matū utu nui, ka iti ake te parahanga o te taiao, na te mea he hangarau hou i roto i te waahi o te horoi angiangi.
4. Taputapu Tukatuka Wafer Cleaning
Hei whakarite i te pai me te haumaru o nga mahi horoi angiangi, he maha nga momo taputapu horoi maamaa e whakamahia ana i roto i te hangahanga semiconductor. Ko nga momo matua ko:
1. Taputapu horoi maaku
Kei roto i nga taputapu horoi maku nga momo taika rumaki, nga taika horoi ultrasonic, me nga whakamaroke miro. Ka whakakotahihia e enei taputapu nga mana miihini me nga reagents matū hei tango i nga mea poke i te mata angiangi. I te nuinga o nga wa ka whakauruhia nga taika rumaki ki nga punaha whakahaere pāmahana hei whakarite i te pumau me te whai hua o nga otinga matū.
2. Taputapu horoi maroke
Ko nga taputapu horoi whakamaroke ko te nuinga o nga kaihoroi plasma, e whakamahi ana i nga matūriki hiko teitei i roto i te plasma hei urupare me te tango i nga toenga mai i te mata angiangi. He pai rawa te horoi o te plasma mo nga tukanga e hiahia ana kia mau tonu te tapatahi o te mata me te kore e whakauru i te toenga matū.
3. Pūnaha Whakapai Aunoa
Na te kaha haere tonu o te hanga semiconductor, ko nga punaha horoi aunoa te mea pai mo te horoi angiangi nui. Kei roto i enei punaha nga tikanga whakawhiti aunoa, nga punaha horoi taika maha, me nga punaha whakahaere tika kia rite tonu nga hua horoi mo ia angiangi.
5. Nga Tikanga a meake nei
I te mea kei te mimiti haere tonu nga taputapu hikoi, kei te tipu haere te hangarau horoi angiangi ki nga otinga pai ake me te pai ki te taiao. Ko nga hangarau horoi a meake nei ka aro ki:
Tango Matūriki iti-nanometer: Ka taea e nga hangarau horoi o naianei te whakahaere i nga matūriki tauine nanometer, engari na te whakahekenga ake o te rahi o te taputapu, ka waiho hei wero hou te tango matūriki iti-nanometer.
Te Whakapai Kaakaariki me te Hoahoa: Ko te whakaheke i te whakamahinga o nga matū kino o te taiao me te whakawhanake ake i nga tikanga horoi pai-taiao, penei i te horoi ozone me te horoi megasonic, ka nui haere ake.
Nga taumata teitei ake o te Aunoatanga me te Maramataka: Ka taea e nga punaha mohio te aro turuki me te whakatikatika i nga momo tawhā i te wa o te mahi horoi, me te whakapai ake i te pai o te horoi me te pai o te whakaputa.
Ko te hangarau horoi wafer, he mahi nui ki te hanga semiconductor, he whai waahi nui ki te whakarite i nga papa angiangi ma mo nga mahi ka whai ake. Ko te whakakotahitanga o nga momo tikanga horoi ka taea te whakakore i nga mea poke, ka whakarato i te mata tïpako ma mo nga mahi ka whai ake. I te ahu whakamua o te hangarau, ka arotau tonu nga tikanga horoi ki te whakatutuki i nga tono mo te tino tika me te whakaheke i nga reiti koha i roto i nga mahi hanga semiconductor.
Wā tuku: Oketopa-08-2024