Ko nga Whakaaro Matua mo te Whakaritenga Tiopapa Kiriata Kounga-Kounga teitei

Ko nga tikanga matua mo te whakarite karaihe kirikiri kotahi ko: Te Kawenata Kohu Kohu-a-tinana (PVT), Te Whakatupuranga Rongoa-Kakano-Tiki (TSSG), me te Whakaaetanga Matū Maama Teitei (HT-CVD). I roto i enei, ko te tikanga PVT e whakamahia whanuitia ana i roto i nga mahi ahumahi na ona taputapu ngawari, ngawari te whakahaere, me te iti o nga taputapu me nga utu whakahaere.

Nga Tohu Hangarau Matua mo te Tipu PVT o nga Tioata Silicon Carbide

I te wa e whakatipu ana i nga tioata carbide silicon ma te whakamahi i te Tikanga Kohu Kohu Tiana (PVT), me whai whakaaro nga waahanga hangarau e whai ake nei:

1. Te Maamaa o nga Rauemi Kawhata i roto i te Rua Tipu: Ko nga mea poke i roto i nga waahanga kauwhata me raro iho i te 5×10⁻⁶, ko te mea poke i roto i te whakamaarama me noho i raro i te 10×10⁻⁶. Ko nga waahanga penei i te B me te Al me pupuri i raro i te 0.1×10⁻⁶.
2. Ko te Tiwhiringa Polarity Kiriata Kakano Tika: Ko nga rangahau empirical e whakaatu ana he pai te kanohi C (0001) mo te whakatipu tioata 4H-SiC, ka whakamahia te mata Si (0001) mo te whakatipu tioata 6H-SiC.
3. Te Whakamahi i nga Tioata Kakano Tuaka Tuaka: Ka taea e nga tioata kakano tuaka te whakarereke i te hangarite o te tipu o te karaihe, te whakaiti i nga hapa o te karaihe.
4. Te Tukatuka Whakahononga Kiriata Kakano Nui-Kounga.
5. Te Pumau tonu o te Atanga Tipu Tipu Kiriata i te Roopu Tipu.

Hangarau Matua mo te Tipu Kiriata Silicon Carbide

1. Hangarau Doping mo Silicon Carbide Paura
   Ko te taapiri i te paura carbide silicon me te nui o te Ce ka taea te whakapumau i te tipu o nga tioata kotahi 4H-SiC. Ko nga hua whaitake e whakaatu ana ka taea e Ce doping te:

• Whakanuia te tere o te tipu o nga tioata carbide silicon.
• Whakahaerehia te takotoranga o te tipu o te karaihe, kia pai ake te ahua me te riterite.
• Te whakakore i te hanganga poke, te whakaiti i nga hapa me te whakahaere i te hanga o nga tioata kotahi-kounga me te kounga teitei.
• Aukati i te waikura o muri o te karaihe me te whakapai ake i te hua kirikiri kotahi.

• Hangarau Whakahaere Rōnaki Axial and Radial Temperature Rōnaki
  Ko te rōnaki pāmahana axial e pa ana ki te momo tipu tioata me te pai. Ma te iti rawa o te rōnaki pāmahana ka arahi ki te hanga polycrystalline me te whakaheke i te reiti tipu. Ko nga rōnaki pāmahana axial me te radial e tere ana te tipu o te karaihe SiC i te wa e mau tonu ana te kounga karaihe.
• Hangarau Mana Whakahaere (BPD).
  Ko nga hapa BPD te nuinga ka puta mai i te wa ka nui ake te ahotea kutikuti i roto i te karaihe i te ahotea kutikuti tino nui o te SiC, e whakahohe ana i nga punaha paheke. I te mea e tika ana nga BPD ki te ahunga tipu o te karaihe, ka puta i te wa e tipu ana te karaihe me te whakamatao.
• Hangarau Whakariterite i te Waahanga Hangarau Hangarau Hangarau Whakariterite
  Ko te whakanui ake i te tauwehenga waro-ki-silicon i roto i te taiao tipu he ine whai hua hei whakapumau i te tipu-kiriata kotahi. Ko te owehenga waro-ki-silikoni teitei ake ka whakaiti i te paihere hikoi nui, ka pupuri i nga korero tipu o te mata karaihe kakano, ka aukati i te hanga polytype.
• Hangarau Mana Whakahau-iti
  Ko te taumahatanga i te wa e tipu ana te karaehe ka piko nga rererangi karaihe, ka paheke te kounga o te karaihe, ka pakaru ranei. Ko te ahotea nui ka piki ake nga wehenga o te papa rererangi, ka pa te kino ki te kounga o te paparanga epitaxial me te mahi taputapu.

6-inihi SiC angiangi ahua matawai

Nga tikanga hei whakaiti i te ahotea i roto i nga tioata:

• Whakaritea te tohatoha mara pāmahana me nga tawhā tukanga kia taea ai te tipu tata-taurite o nga kiripiri kotahi SiC.
• Arotauhia te hanganga para hei tuku i te tipu karaihe kore utu me nga here iti.
• Whakarerekehia nga tikanga whakatika karaihe kakano hei whakaiti i te rerekeetanga o te roha wera i waenga i te karaihe kakano me te kaipupuri kauwhata. Ko te huarahi noa ko te waiho he 2 mm te mokowhiti i waenga i te karaihe kakano me te kaipupuri kauwhata.
• Whakapai ake i nga tikanga whakangao ma te whakatinana i te whakamaarama i roto i te oumu, te whakatikatika i te pāmahana me te roa o te whakamaarama ki te tuku i te ahotea o roto.

Nga Tikanga a meake nei i roto i te Hangarau Tipu Tiroata Silicon Carbide

Ma te titiro whakamua, ka whanake te hangarau whakarite karaihe kotahi SiC-kounga teitei ki nga huarahi e whai ake nei:

1. Te Tipu Nui
   Ko te diameter o nga tioata kotahi te karaehe silicon carbide kua tipu mai i te iti mitamano ki te 6-inihi, 8-inihi, me te rahi ake 12-inihi. Ko nga kiripiri SiC rahi-diamita te whakapai ake i te pai o te whakaputa, te whakaheke i nga utu, me te whakatutuki i nga hiahia o nga taputapu hiko-nui.
2. Te Tipu Kounga-Teitei
   Ko nga kiripiri kotahi SiC kounga teitei he mea nui mo nga taputapu mahi teitei. Ahakoa he nui te ahunga whakamua, kei te noho tonu nga hapa penei i te paipa moroiti, te wehenga me te poke, e pa ana ki te mahi me te pono o te taputapu.
3. Whakaiti Utu
   Ko te utu nui o te whakarite karaihe SiC ka whakawhāiti i tana tono ki etahi waahi. Ko te whakapai ake i nga tikanga tipu, te whakapai ake i te pai o te whakaputanga, me te whakaheke i nga utu rawa ka taea te whakaiti i nga whakapaunga whakaputa.
4. Te Tipu Maramarama
   Na te ahunga whakamua i roto i te AI me nga raraunga nui, ka piki haere te hangarau tipu tioata SiC ki nga otinga mohio. Ko te aro turuki me te mana whakahaere ma te whakamahi i nga puoro me nga punaha aunoa ka whakarei ake i te pumau me te mana whakahaere. Hei taapiri, ka taea e nga tātaritanga raraunga nui te arotau i nga tawhā tipu, te whakapai ake i te kounga o te karaihe me te pai o te whakaputa.

Ko te hangarau takahanga kirikiri kotahi te kounga teitei he kaupapa matua mo te rangahau rauemi semiconductor. I te wa e haere whakamua ana te hangarau, ka tipu tonu nga tikanga tipu tioata SiC, e whakarato ana i te turanga pakari mo nga tono i roto i nga waahi teitei-nui, teitei-tere, me te kaha-kaha.