Ko te Silicon carbide (SiC), he momo rauemi semiconductor aputa roopu whanui, he nui ake te mahi i roto i te whakamahinga o te aoiao me te hangarau hou.Ko te Silicon carbide he pai te pumau o te waiariki, te kaha o te waahi hiko, te kawe i te whakaaro me etahi atu tino pai o te tinana me te mata, ka whakamahia i roto i nga taputapu optoelectronic me nga taputapu solar.Na te piki haere o te tono mo nga taputapu hiko pai ake me te pumau, ko te mohio ki te hangarau tipu o te silicon carbide kua waiho hei waahi wera.
Na he aha te nui o to mohio mo te tukanga tipu SiC?
I tenei ra ka korerohia e matou nga tikanga matua e toru mo te tipu o nga tioata kotahi o te carbide silicon: te kawe kohu tinana (PVT), te epitaxy wahanga wai (LPE), me te whakahekenga matū matū teitei (HT-CVD).
Tikanga Whakawhiti Kohu Kohu tinana (PVT)
Ko te tikanga whakawhiti kohu-a-tinana tetahi o nga tikanga whakatipu carbide silicon carbide e whakamahia nuitia ana.Ko te tipu o te carbide silicon tioata kotahi te nuinga o te ti'aturi i runga i te sublimation o te paura sic me te redeposition i runga i te karaihe purapura i raro i te pāmahana teitei.I roto i te graphite crucible kati, ka whakawerahia te paura silicon carbide ki te teitei o te pāmahana, na roto i te mana o te rōnaki pāmahana, te korohū carbide silicon condenses i runga i te mata o te karaihe kākano, a ka tipu haere he karaihe kotahi rahi.
Ko te nuinga o te SiC monocrystalline e whakaratohia ana e matou i tenei wa ka mahia i tenei huarahi o te tipu.Koia hoki te huarahi auraki o te umanga.
Wāhanga wai epitaxy (LPE)
Ko nga tioata Silicon carbide kua whakaritea e te epitaxy wahanga wai na roto i te tukanga tipu karaihe i te atanga totoka-wai.I roto i tenei tikanga, ka rewa te paura silicon carbide i roto i te otinga silicon-carbon i te teitei o te pāmahana, katahi ka whakahekehia te pāmahana kia whakahekehia te carbide silicon mai i te otinga ka tipu ki runga i nga tioata purapura.Ko te painga nui o te tikanga LPE ko te kaha ki te whiwhi tioata kounga teitei i te iti o te tipu o te tipu, he iti te utu, he pai mo te hanga nui.
Te Wehi Teitei Te Whakapae Kore Matū (HT-CVD)
Ma te whakauru i te hau kei roto i te silicon me te waro ki roto i te ruuma tauhohenga i te teitei o te pāmahana, ko te paparanga karaihe kotahi o te silicon carbide ka tuu tika ki te mata o te karaihe kakano na roto i te tauhohenga matū.Ko te painga o tenei tikanga ko te tere o te rere me nga tikanga tauhohenga o te hau ka taea te whakahaere tika, kia whiwhi ai i te karaihe carbide silicon me te tino parakore me te iti o nga hapa.Ka taea e te tukanga HT-CVD te whakaputa i nga kiripiri carbide silicon me nga taonga tino pai, he mea tino nui mo nga tono e hiahiatia ana nga rauemi tino kounga.
Ko te tukanga tipu o te silicon carbide te kohatu kokonga o tona tono me te whanaketanga.Na roto i nga mahi hangarau me te arotautanga tonu, ko enei tikanga tipu e toru e whai waahi ana ki te whakatutuki i nga hiahia o nga waa rereke, me te whakarite i te waahi nui o te carbide silicon.Na te hohonutanga o te rangahau me te ahunga whakamua hangarau, ka piki tonu te tipu o nga rawa carbide silicon, ka pai ake te mahi o nga taputapu hiko.
(whakataki)
Wā tuku: Hune-23-2024