Ko te Silicon carbide (SiC) ehara i te mea he hangarau tino nui mo te arai mo te motu engari he mea tino nui mo nga umanga miihini me te hiko o te ao. Ko te mahi nui tuatahi i roto i te tukatuka kirikiri-kotahi a SiC, ko te tapahi angiangi ka whakatau tika i te kounga o te angiangi me te oro o muri. I te nuinga o nga wa ka puta nga kapiti o te mata me te papa o raro o te mata, ka piki ake te pakaru o te angiangi me nga utu whakangao. No reira, he mea nui te whakahaere i nga pakaru o te mata mo te ahu whakamua i te hanga taputapu SiC.
I tenei wa, e rua nga wero nui e pa ana ki te tapahi ingot SiC:
- Te ngaronga rawa o nga rawa i roto i te kanikau waea-maha tuku iho:Ko te tino pakeke me te pakarukaru o te SiC ka ngawari ki te pakaru me te pakaru i te wa o te tapahi, te huri, me te whakakorikori. E ai ki nga korero a Infineon, ko te 50% noa iho te whakamahi rauemi mo te tapahi, ka eke ki te 250 μm i muri i te whakakorikori, he iti noa nga mea ka taea te whakamahi.
- He iti te pai me te roa o nga huringa whakaputa:E ai ki nga tatauranga whakangao o te ao ko te hanga 10,000 angiangi ma te whakamahi 24-haora e 24-haora karekau waea-maha ka pau ~273 ra. Ko tenei tikanga me nui nga taputapu me nga kai pau i te wa e whakaputa ana i te taratara o te mata me te parahanga (te puehu, te wai para).
Hei whakatika i enei take, kua whakawhanakehia e te roopu a Ahorangi Xiu Xiangqian i te Whare Wananga o Nanjing nga taputapu tapahi taiaho tino tika mo te SiC, ma te whakamahi i te hangarau laser ultrafast hei whakaiti i nga hapa me te whakanui i te hua. Mo te 20-mm SiC ingot, ka ruarua tenei hangarau i te hua angiangi ka whakaritea ki te kani waea tuku iho. I tua atu, ko nga angiangi tapatapahi taiaho e whakaatu ana i te riterite ahuahanga pai ake, ka taea te whakaheke i te matotoru ki te 200 μm mo ia wafer me te whakanui ake i te whakaputanga.
Painga matua:
- Kua oti te R&D i runga i nga taputapu tauira tauine nui, kua whakamanahia mo te tapahi i nga angiangi SiC 4-6-inihi me te 6-inihi kawe kawe SiC.
- Ko te tapahi ingot 8-inihi kei raro i te manatoko.
- He poto ake te wa tapahi, teitei ake te whakaputanga a-tau, me te >50% te whakapai ake.
XKH's SiC tïpako o te momo 4H-N
Ka taea te maakete:
Ko tenei taputapu kua rite ki te noho hei otinga matua mo te 8-inihi SiC ingot slicing, i tenei wa e kaha ana nga kawemai a Hapanihi me nga utu nui me te aukati i te kaweake. Neke atu i te 1,000 nga waeine te tono a-whare mo nga taputapu tapatapahi laser, engari karekau he momo rereke i hangaia e Hainamana. Ko te hangarau o te Whare Wananga o Nanjing he nui te uara o te maakete me te kaha ohaoha.
Hototahi Rawa-maha:
I tua atu i te SiC, ka tautokohia e nga taputapu te tukatuka taiaho o te gallium nitride (GaN), te waikura konumohe (Al₂O₃), me te taimana, te whakawhānui i ana tono ahumahi.
Na roto i te hurihanga i te tukatuka wafer SiC, ka whakatika tenei mahi hou i nga kohungahunga tino nui i roto i te hanga semiconductor i te wa e hono ana ki nga ahuatanga o te ao ki nga taonga mahi-nui, pai-kaha.
Whakamutunga
I te mea he kaihautu i te ahumahi mo te hanga taputapu carbide silicon (SiC), XKH he tohunga ki te whakarato i nga taputapu SiC rahi-katoa 2-12-inihi (tae atu ki te momo 4H-N/SEMI-momo, 4H/6H/3C-momo) he mea whakarite ki nga waahanga tipu-nui penei i nga waka hiko hou (NEVs) whitiwhitinga hiko (PVs) hiko hiko (PVs), hiko hikohikohikohikohiko. Ma te whakamahi i te hangarau angiangi-rahi-iti me te hangarau tukatuka tino tika, kua tutuki i a maatau te hanga papatipu o nga taputapu 8-inihi me nga pakaruhanga i roto i te hangarau tipu kiripiri SiC conductive 12-inihi, he tino whakaiti i nga utu maramara mo ia wae. Mo te anga whakamua, ka haere tonu taatau ki te arotau i te tapahi laser taumata-ingot me nga tikanga whakahaere ahotea mohio ki te whakanui i te hua o te tïpako 12-inihi ki nga taumata whakataetae o te ao, e whakamana ana i te ahumahi SiC o-whare ki te wawahi i nga mana whakahaere o te ao me te whakatere i nga tono tauineine i roto i nga rohe teitei penei i nga maramara miihini-auto me nga taputapu hiko a te tūmau AI.
XKH's SiC tïpako o te momo 4H-N
Te wa tuku: Akuhata-15-2025