Te Maramatanga Hohonu mo te Pūnaha SPC i te Wafer Manufacturing

1. Tirohanga o te Pūnaha SPC

Ko te SPC he tikanga e whakamahi ana i nga tikanga tauanga hei aro turuki me te whakahaere i nga mahi whakangao. Ko tana mahi matua ko te kite i nga kohikohiko i roto i te mahi whakangao ma te kohi me te tātari i nga raraunga tuuturu, hei awhina i nga miihini ki te whakatikatika me nga whakatau tika. Ko te whainga a SPC ko te whakaiti i te rereketanga o te mahi whakaputa, me te whakarite kia mau tonu te kounga o te hua me te tutuki i nga whakaritenga.

Ka whakamahia te SPC i roto i te tukanga tarai ki:

Aroturuki i nga tawhā taputapu tino nui (hei tauira, te reiti etch, te hiko RF, te pehanga ruma, te pāmahana, me etahi atu)

Tātarihia ngā tohu kounga hua matua (hei tauira, te whanui raina, te hohonu o te haki, te taratara o te taha, me etahi atu)

Ma te aro turuki i enei tawhā, ka taea e nga miihini te kite i nga ahuatanga e tohu ana i te paheketanga o nga mahi taputapu, i nga rereke ranei i roto i te mahi whakaputa, na reira ka whakahekehia nga reeti mokamoka.

2. Nga Waahanga Taketake o te punaha SPC

Ko te punaha SPC he maha nga waahanga matua:

Kōwae Kohinga Raraunga: Kohikohi raraunga wā-tūturu mai i ngā taputapu me ngā rerenga tukanga (hei tauira, mā te FDC, ngā pūnaha EES) me te tuhi i ngā tawhā nui me ngā putanga whakaputa.

Kōwae Tūtohi Mana: Ka whakamahi i ngā tūtohi mana tauanga (hei tauira, te tūtohi Pae-X, te tūtohi R, te tūtohi Cp/Cpk) ki te tiro i te pūmautanga o te tukanga me te āwhina ki te whakatau mena kei te mana te tukanga.

Pūnaha Whakaoho: Ka whakaohooho i te wa ka nui ake nga tawhā tino nui i te mana whakahaere, ka whakaatu ranei i nga huringa o te ia, ka akiaki nga miihini ki te mahi.

Kōwae Tātari me te Pūrongo: Ka wetewete i te pūtake o ngā kōhikohiko i runga i ngā tūtohi SPC me te whakaputa i ngā pūrongo mahi mō te hātepe me ngā taputapu.

3. Whakamaramatanga Taipitopito o nga Tutohi Mana i roto i te SPC

Ko nga tūtohi whakahaere tetahi o nga taputapu e whakamahia nuitia ana i roto i te SPC, e awhina ana ki te wehewehe i waenga i te "rerekenga noa" (na nga rereketanga o te tukanga taiao) me te "rereketanga rereke" (na te rahunga o nga taputapu, i nga rereketanga o te tukanga). Kei roto i nga mahere whakahaere noa:

X-Bar me R Tūtohi: Ka whakamahia ki te aro turuki i te toharite me te awhe i roto i nga kohinga whakaputa kia kitea mena he pumau te mahi.

Taurangi Cp me Cpk: Ka whakamahia hei ine i te kaha o te tukanga, ara, mehemea ka taea e te whakaputanga tukanga te whakatutuki i nga whakaritenga whakaritenga. Ka inehia e Cp te kaha ka taea, ka whakaaro a Cpk ki te rereke o te pokapū tukanga mai i nga rohe whakahiato.

Hei tauira, i roto i te mahi tarai, ka taea e koe te aro turuki i nga tawhā penei i te tere etch me te taratara o te mata. Mēnā ka nui ake te reiti o tetahi taputapu taputapu i te tepe mana, ka taea e koe te whakamahi i nga tūtohi mana ki te whakatau mena he rereke noa tenei, he tohu ranei mo te he o nga taputapu.

4. Te Whakamahinga o te SPC i roto i nga Taputapu Etching

I roto i te tukanga tarai, he mea nui te whakahaere i nga tawhā taputapu, a ka awhina a SPC ki te whakapai ake i te pumau o te tukanga i roto i nga huarahi e whai ake nei:

Aroturuki Tikanga Taputapu: Ko nga punaha penei i te FDC ka kohi raraunga tuuturu mo nga tawhā matua o nga taputapu tarai (hei tauira, te mana RF, te rere hau) me te whakakotahi i enei raraunga me nga mahere mana SPC kia kitea nga take taputapu pea. Hei tauira, ki te kite koe kei te rereke haere te mana RF i runga i te tūtohi mana i te uara kua whakaritea, ka taea e koe te mahi moata mo te whakatikatika, tiaki ranei kia kore ai e pa ki te kounga o te hua.

Te Aroturuki Kounga Hua: Ka taea hoki e koe te whakauru i nga tawhā kounga hua matua (hei tauira, te hohonu o te etch, te whanui raina) ki roto i te punaha SPC ki te aro turuki i to raatau pumau. Mena ka rere ke atu etahi tohu hua tino nui mai i nga uara o te whaainga, ka tukuna e te punaha SPC he whakaoho, e tohu ana me hiahia whakatikatika.

Tiaki Aukati (PM): Ka taea e SPC te awhina i te hurihanga tiaki aukati mo nga taputapu. Ma te tarai i nga raraunga mo te wa roa mo te mahi taputapu me nga hua o te tukanga, ka taea e koe te whakatau i te waa tino pai mo te tiaki taputapu. Hei tauira, ma te aro turuki i te mana RF me te roanga o te ESC, ka taea e koe te whakatau i te wa e hiahiatia ana te horoi me te whakakapi i nga waahanga, te whakaheke i nga reiti ngoikore o nga taputapu me te wa whakangao.

5. Nga Tohu Whakamahi i ia ra mo te punaha SPC

I te wa e whakamahi ana i te punaha SPC i nga mahi o ia ra, ka taea te whai i nga mahi e whai ake nei:

Tautuhia nga Tawhā Mana Matua (KPI): Tautuhia nga tawhā tino nui i roto i te tukanga whakaputa me te whakauru ki te aroturuki SPC. Ko enei tawhā me hono tata ki te kounga o te hua me te mahi taputapu.

Whakaritea nga Tepe Mana me nga Tepe Whakaoho: I runga i nga raraunga o mua me nga whakaritenga tukanga, whakaritea nga rohe mana tika me nga rohe whakaoho mo ia tawhā. Ko te nuinga o nga wa ka whakatauhia nga rohe whakahaere ki te ± 3σ (nga rerekee paerewa), ko nga rohe whakaoho kei runga i nga tikanga motuhake o te tukanga me nga taputapu.

Te Aroturuki me te Tirohanga Tonu: Te arotake i nga mahere mana SPC ki te tātari i nga ia me nga rereketanga o nga raraunga. Mena ka nui ake etahi tawhā i te mana whakahaere, me mahi tonu, penei i te whakatikatika i nga tawhā taputapu, te whakahaere taputapu ranei.

Te Mahinga Raraunga me te Tatari Putake Putake: Ka pa mai he mate, ka tuhia e te punaha SPC nga korero mo te aitua. Me rapu raruraru me te wetewete i te putake o te mate i runga i enei korero. He maha nga wa ka taea te whakakotahi i nga raraunga mai i nga punaha FDC, nga punaha EES, me etahi atu, ki te tātari mehemea na te ngoikore o nga taputapu, te rereke o te tukanga, me nga ahuatanga taiao o waho.

Te Whakapai Atu: Ma te whakamahi i nga raraunga o mua i tuhia e te punaha SPC, tautuhi i nga ngoikoretanga o te tukanga me te whakatakoto mahere whakapai ake. Hei tauira, i roto i te mahi tarai, tātarihia te paanga o te oranga o te ESC me nga tikanga horoi ki nga huringa tiaki taputapu me te arotau tonu i nga tawhā whakahaere taputapu.

6. Take Whakamahinga Mahi

Hei tauira whaihua, me whakaaro kei a koe te kawenga mo te taputapu tarai E-MAX, a kei te mau te katode ruuma ki te mau ohooho, ka piki ake nga uara D0 (BARC hapa). Ma te aro turuki i te mana RF me te reiti etch na roto i te punaha SPC, ka kite koe i te ahua ka rereke haere enei tawhā i o raatau uara kua whakaritea. Whai muri i te whakaohooho SPC, ka whakakotahi koe i nga raraunga mai i te punaha FDC ka whakatau ko te take i puta mai i te mana o te pāmahana kore i roto i te ruma. Ka whakatinanahia e koe nga tikanga horoi hou me nga rautaki tiaki, ka mutu te whakaiti i te uara D0 mai i te 4.3 ki te 2.4, na reira ka pai ake te kounga o nga hua.

7.In XINKEHUI ka taea e koe te tiki.

I XINKEHUI, ka taea e koe te whakatutuki i te angiangi tino pai, ahakoa he angiangi silicon, he angiangi SiC ranei. He tohungatanga matou ki te tuku wafers-kounga teitei mo nga momo ahumahi, e aro ana ki te tika me te mahi.