I roto i nga mahi hangahanga hikoi, ahakoa ko te whakaahua whakaahua me te tarai nga tikanga e tino whakahuahia ana, ko nga tikanga whakamaarama kiriata epitaxial, angiangi ranei he mea tino nui. Ko tenei tuhinga e whakaatu ana i nga tikanga tukunga kiriata angiangi noa e whakamahia ana i roto i te hanga maramara, tae atu kiMOCVD, te pupuhi magnetron, aPECVD.
He aha te mea he mea nui nga tukanga kiriata angiangi ki te hanga maramara?
Ei faahoho‘araa, a feruri na i te hoê faraoa tunu-noa-hia. I a ia ano, ka reka pea. Heoi, ma te parai i te mata ki nga ranu rereke-penei i te whakapiri pini reka me te tirikara malt reka-ka taea e koe te huri i tona reka. He rite ki enei paninga whakanui-rekakiriata kikokorei roto i nga tukanga semiconductor, i te mea ko te paraharaha tonu e tohu ana i tetïpako.
I roto i te hanga maramara, he maha nga mahi a nga kiriata angiangi—te whakamarumaru, te kawe, te whakangao, te urunga marama, me era atu—a me whai tikanga motuhake mo ia mahi.
1. Te Whakapae Matū Matū-Waikawa (MOCVD)
Ko te MOCVD he tikanga tino matatau me te tino tika e whakamahia ana mo te tukunga o nga kiriata kikokore me nga hanganga nano. He mea nui ki te hanga i nga taputapu penei i te LED, lasers, me te hiko hiko.
Nga Waahanga Matua o te punaha MOCVD:
- Pūnaha Tuku Hau
Ko te kawenga mo te whakaurunga tika o nga tauhohenga ki roto i te ruma tauhohenga. Kei roto i tenei ko te mana rere o:
-
Nga hau kawe
-
Ko nga mea whakarewa-organic
-
Nga hau hauwai
Kei roto i te punaha nga reera maha-ara mo te huri i waenga i te tipu me te purenga.
-
Whare Tauhohenga
Ko te ngakau o te punaha e tupu ai te tipu o nga rawa. Ko nga waahanga kei roto:-
Te kaitapahi kaitapaa
-
Pūoko whakamahana me te pāmahana
-
Nga tauranga whatu mo te aroturuki i roto i te waahi
-
Nga ringa karetao mo te utaina/tango angiangi aunoa
-
- Pūnaha Whakahaere Tipu
Kei roto ko nga kaiwhakahaere arorau ka taea te whakarite me te rorohiko manaaki. Ka whakarite enei i te aro turuki tika me te tukuruatanga puta noa i te tukanga tuku. -
Aroturuki-a-roto
Ko nga taputapu penei i te pyrometers me te reflectometers ine:-
Te matotoru kiriata
-
Te pāmahana mata
-
Te piko o te papanga
Ka taea e enei te whakahoki urupare me te whakatikatika.
-
- Pūnaha Whakamaori Whakamaero
Ka rongoa i nga hua paitini ma te whakamahi i te waiariki, te whakahiato matū ranei hei whakapumau i te haumaru me te tautukunga o te taiao.
Whirihoranga Utu Utu Kati-Coupled (CCS):
I roto i nga reactors MOCVD poutū, ma te hoahoa CCS ka taea te werohia o nga hau ma roto i nga puha tauutuutu i roto i te anga kaukau. Ma tenei ka whakaiti i nga tauhohenga o mua me te whakarei ake i te whakakotahitanga rite.
-
Ko tetakahuri kauwhata susceptorka awhina ano ki te whakakotahi i te paparanga rohe o nga hau, te whakapai ake i te rite o te kiriata puta noa i te angiangi.
2. Te Maamaa Magnetron
Ko te pupuhi aukumete he tikanga whakaheke kohu tinana (PVD) e whakamahia whanuitia ana mo te whakatakoto i nga kiriata angiangi me nga paninga, ina koa ki te hikohiko, optics, me nga karaima.
Kaupapa Mahi:
-
Rauemi Whainga
Ko te rauemi puna hei whakatakoto—te konganuku, te waikura, te nitride, te aha atu—kua mau ki runga i te cathode. -
Korehau Chamber
Ka mahia te tukanga i raro i te korehau teitei kia kore ai e poke. -
Whakatupu Plasma
Ko te hau inert, te tikanga argon, ka katote hei hanga plasma. -
Taupānga Papa Aukume
Ka herea e te papa autō i nga irahiko tata ki te taumata hei whakarei ake i te pai o te katote. -
Te Tukanga Puta
Ka pupuhi nga katote ki te whainga, ka whakakore i nga ngota e haere ana i roto i te ruma, ka whakatakoto ki runga i te tïpako.
Nga painga o te Magnetron Sputtering:
-
Te Whakanoho Kiriata Uniformputa noa i nga waahi nui.
-
Te kaha ki te whakatakoto i nga Puhui Matatini, tae atu ki te koranu me te uku.
-
Tawhā Tukatuka Taeamo te whakahaere tika o te matotoru, te hanganga, me te hanganga moroiti.
-
Kounga Kiriata Teiteime te piri kaha me te kaha miihini.
-
Whanui Rawa Hototahi, mai i te konganuku ki te waikura me te nitrides.
-
Mahi iti-Pamahana, e tika ana mo nga taputapu wera-tairongo.
3. Te Whakareinga Matū Matū Whakanuia (PECVD)
Kei te whakamahia nuitia te PECVD mo te whakatakoto i nga kiriata angiangi penei i te nitride silicon (SiNx), te hauhā (SiO₂), me te silicon amorphous.
Kaupapa:
I roto i te pünaha PECVD, ka whakauruhia nga hau kawa ki roto i te ruma korehau kei reira aplasma tuku muraka hangaia ma te whakamahi:
-
RF whakaongaonga
-
DC ngaohiko teitei
-
Ngaruiti, nga puna paoho ranei
Ka whakahohehia e te plasma nga tauhohenga hau-waahanga, ka whakaputa i nga momo tauhohenga ka whakatakoto ki runga i te tïpako hei hanga kiriata kikokore.
Nga Waahi Whakapae:
-
Hanganga Plasma
Hikaka ana i nga mara hiko, ka katote nga hau o mua ki te hanga i nga tuwhena me nga katote. -
Tauhohenga me te Kawe
Ko enei momo ka pa ki nga tauhohenga tuarua i a ratou e neke ana ki te tïpako. -
Tauhohenga Mata
Ka tae ki te tïpako, ka uru, ka tauhohe, ka hanga he kiriata totoka. Ko etahi o nga hua ka tukuna hei hau.
Nga Painga PECVD:
-
Tino Whakatauritengai roto i te hanganga kiriata me te matotoru.
-
Kaha Adhesionahakoa te iti o te pāmahana waipara.
-
Reiti Whakatakotoranga Teitei, kia pai ai mo te hanga ahumahi-tauine.
4. Tikanga Whakaaturanga Kiriata Angiangi
Ko te mohio ki nga ahuatanga o nga kiriata kikokore he mea nui mo te whakahaere kounga. Ko nga tikanga noa ko:
(1) Wehenga hihihihi (XRD)
-
Te kaupapa: Te wetewete i nga hanganga karaihe, nga taumau kurupae, me nga whakatakotoranga.
-
Tikanga: I runga i te Ture a Bragg, ka ine i te rerekee o nga hihi-X i roto i tetahi rawa tioata.
-
Nga tono: Te whakamaaramatanga, te wetewete wahanga, te inenga riaka, me te arotakenga kiriata angiangi.
(2) Matawai Matawai Irahiko (SEM)
-
Te kaupapa: Matakihia te ahua o te mata me te hanganga moroiti.
-
Tikanga: Ka whakamahi i te kurupae irahiko hei matawai i te mata tauira. Ko nga tohu kua kitea (hei tauira, nga irahiko tuarua me te marara ki muri) ka whakaatu i nga korero o te mata.
-
Nga tono: Pūtaiao rawa, hangarau nano, koiora, me te tātari rahunga.
(3) Atomic Force Microscopy (AFM)
-
Te kaupapa: Mata atahanga i te taumira ngota, nanometer ranei.
-
Tikanga: Ka tirotirohia te mata e te rangahau koi i te wa e mau tonu ana te kaha o te taunekeneke; ko nga nekehanga poutū ka whakaputa i te topography 3D.
-
Nga tono: Rangahau hangahanga nano, ine taratara o te mata, rangahau koiora.
Te wa tuku: Hune-25-2025