Ripanga Ihirangi
1.
2.
3.Te Whakarōpū me nga Aratohu Tono o FOUP
4. Nga Mahi me te Hiranga o te FOUP i te Hanga Semiconductor
5.
6.Ko nga Whakataunga Whakaritea me te Tautoko Ratonga a XKH
I roto i te tukanga whakangao semiconductor, ko te Front Opening Unified Pod (FOUP) he ipu tino nui hei whakamarumaru, hei kawe, hei penapena i nga wafers. Ka taea e roto o roto te whakauru i nga waahanga 25 o te angiangi 300mm, a ko ona waahanga matua ko te ipu tuwhera o mua me te anga tatau mo te whakatuwhera me te kati. Ko te FOUP he kaikawe matua i roto i te punaha kawe aunoa i roto i nga papanga angiangi 12inihi. I te nuinga o te wa ka haria i roto i te ahua kati ka tuwhera noa ina panaia ki te tauranga uta taputapu, ka taea te whakawhiti i nga angiangi ki te tauranga uta/tango o nga taputapu.
Ko te hoahoa o te FOUP he mea whakarite ki nga whakaritenga moroiti-taiao. He waahi kei te tuara mo te whakauru angiangi, a ko te taupoki i hangaia kia rite ki te rawhi o te whakatuwhera. Ka mahi nga karetao whakahaere wafer i roto i te akomanga 1 taiao hau ma, me te whakarite kia kore e poke nga angiangi i te wa tuku. I tua atu, ka nukuhia te FOUP i waenga i nga taputapu tukatuka ma te punaha whakahaere rauemi aunoa (AMHS). Ko te nuinga o nga whare angiangi o naianei e whakamahi ana i nga punaha reriwe o runga mo te kawe waka, engari ka whakamahia pea e etahi papanga tawhito nga waka arataki aunoa (AGV).
Ehara i te mea ka taea e te FOUP te whakawhiti angiangi aunoa engari he mahi rokiroki ano. Na te maha o nga mahi hangahanga, ka roa pea nga marama ki te whakaoti i te rere o te tukanga katoa. Ka honoa me te nui o te whakaputanga o ia marama, ko te tikanga he tekau mano nga angiangi kei roto i te papanga kei te haere tonu ki te whakawhiti, ki te rokiroki rangitahi ranei i nga wa katoa. I te wa e rokiroki ana, ka purea nga FOUP ki te hauota kia kore ai e pa atu nga mea poke ki nga angiangi, me te whakarite i te mahinga hanga ma, pono hoki.
1. Nga Mahi me te Hiranga o te FOUP
Ko te mahi matua a te FOUP he tiaki i nga wafers mai i te wiri o waho me te poke, ina koa te karo i nga paanga ki nga hua i te wa whakawhiti. He pai te aukati i te makuku na roto i nga tikanga penei i te horoi hau me te Mana Hunga Rohe o te rohe (LAC), kia noho haumaru nga angiangi i te wa e tatari ana ki te mahi hangahanga. Ko tana punaha hiri me te whakahaere ka taea anake te whakauru i nga puhui me nga huānga e tika ana, ka tino whakaiti i nga paanga kino o te VOC, te hāora, me te makuku ki runga i nga angiangi.
I te mea ka eke ki te 9 kirokaramu te taumaha o te FOUP kua utaina ki te 25 wafers, me whakawhirinaki tana kawe ki runga i te Pūnaha Whakahaere Rawa Aunoa (AMHS). Hei whakahaere i tenei, ka hangaia te FOUP me nga momo huinga o nga pereti hono, nga titi, me nga kohao, me te whakauru ki nga tohu hiko RFID mo te ngawari te tautuhi me te whakarōpūtanga. Ko tenei mahinga aunoa kaore he mahi a-ringa, he tino whakaiti i nga reiti hapa me te whakarei ake i te haumaru me te tika o te mahi hangahanga.
2. Te hanganga me te whakarōpūtanga o FOUP
Ko nga ahua o te FOUP he 420 mm te whanui, 335 mm te hohonu, me te 335 mm te teitei. Ko nga waahanga hanganga matua ko: he OHT runga (mushroom head) mo te kawe waka teitei; he Kuaha o mua mo te urunga angiangi taputapu; Kakau taha, he maha nga wa ka tae ki te wehewehe i nga waahi mahi he rereke nga taumata poke; he waahi Kaari hei whakatakoto i nga kaari karere; me te tohu RFID o raro e mahi ana hei tohu motuhake mo te FOUP, ka taea e nga taputapu me nga kaikawe o runga te mohio. Ko te turanga hoki e wha nga tohu tohu me nga kohao tuunga mo te rite ki nga taputapu me te wehewehe i nga waahanga mahi.
I runga i te whakamahinga, ka wehewehea nga FOUP ki nga momo e toru: PRD (mo te hanga), ENG (mo nga angiangi miihini), me te MON (mo nga angiangi aroturuki). Ka taea te whakamahi i nga PRD FOUP mo te hanga hua, he pai nga momo ENG mo te R&D, mo nga whakamatautau ranei, ka whakatapua nga momo MON ki te tukatuka i te aroturuki mo nga taahiraa penei i te CMP me te DIFF. He mea nui kia mohiohia ka taea te whakamahi i nga PRD FOUP mo nga kaupapa ENG me te MON, ka taea hoki te whakamahi momo ENG mo MON, engari ko te mahi whakamuri ka puta he raruraru kounga.
Ka whakarōpūhia e te taumata poke, ka taea te wehea nga FOUP ki te FE FOUP (te mahi o mua, te whakarewa-kore), BE FOUP (te mahi whakamuri, kei roto te whakarewa), me nga mea motuhake mo nga tukanga whakarewa motuhake penei i te NI FOUP, CU FOUP, me te CO FOUP. Ko nga FOUP mo nga tikanga rereke ka rerekee i te tae o nga kakau taha, i nga panui tatau ranei. Ka taea te whakamahi i nga FOUP mai i nga tukanga o mua ki nga tukanga o muri, engari kaua rawa e whakamahia nga FOUP ki muri i roto i nga tukanga o mua, na te mea ka tupono tenei ki te poke.
Hei kaikawe matua i roto i te hanga semiconductor, ko te FOUP, na roto i te aunoatanga teitei me te mana whakakino kino, ka whakarite i te haumaru me te ma o nga wafers i te wa o te mahi hanga, ka waiho hei hanganga tino nui i roto i nga papanga angiangi hou.
Whakamutunga
Kei te whakapau kaha a XKH ki te whakarato ki nga kaihoko nga otinga o mua-Whakatuwhera Whakakotahi Pod (FOUP), kia tino piri ki o whakaritenga tukanga motuhake me nga whakaritenga atanga taputapu. Ma te whakamahi i nga hangarau hangarau matatau me nga tikanga whakangao tika, ka whakarite maatau ka puta nga hua FOUP katoa i te hau, te ma, me te pumau miihini. Kei a maatau roopu hangarau nga tohungatanga o te ahumahi, e whakarato ana i te tautoko hurihanga matawhānui—mai i te whiriwhiringa whiriwhiri me te arotautanga hanganga ki te horoi me te tiaki—te whakarite kia pai te whakakotahi me te mahi tahi pai i waenga i te FOUP me to Pūnaha Whakahaere Rawa Aunoa (AMHS) tae atu ki nga taputapu tukatuka. Ka aro nui matou ki te haumaru o nga wafers me te whakapai ake i nga hua whakangao hei kaupapa matua. Na roto i nga hua auaha me nga ratonga hangarau katoa, ka whakawhiwhia e matou he taurangi pakari mo o mahi whakangao semiconductor, i te mutunga ka piki ake te pai o te whakaputa me te hua hua.
Te wa tuku: Sep-08-2025