N-Momo SiC Composite Substrates Dia6inch Te kounga teitei monocrystaline me te tïpako kounga iti
N-Momo SiC Composite Substrates Ripanga tawhā noa
项目Nga taonga | 指标Whakatakotoranga | 项目Nga taonga | 指标Whakatakotoranga |
直径Diamita | 150±0.2mm | 正 面 ( 硅 面 ) 粗 糙 度 Tuhinga o mua (Si-mata) taratara | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
晶型Polytype | 4H | Tipi Tipi, Karakara, Kapiti (tirotiro tirohanga) | Karekau |
电阻率Te ātete | 0.015-0.025ohm · cm | 总厚度变化TTV | ≤3μm |
Paparanga Whakawhiti Matotoru | ≥0.4μm | 翘曲度Warp | ≤35μm |
空洞Korekau | ≤5ea/wafer (2mm>D>0.5mm) | 总厚度Te matotoru | 350±25μm |
Ko te tohu "N-momo" e pa ana ki te momo doping e whakamahia ana i roto i nga taonga SiC. I roto i te ahupūngao semiconductor, ka uru te doping ki te whakauru i nga parakore ki roto i te hiko hei whakarereke i ona ahuatanga hiko. Ko te doping momo-N he whakauru i nga huānga e whakarato ana i te taikaha o nga irahiko kore utu, ka hoatu he kukū kawe utu kino ki te rauemi.
Ko nga painga o nga taputapu hiato N-momo SiC ko:
1. Mahinga teitei-nui: Ko te SiC te kaha o te wera o te wera me te kaha ki te mahi i nga waahi teitei, e pai ana mo nga tono hiko teitei me te teitei.
2. Te ngaohiko pakaru teitei: He nui te ngaohiko pakaru o nga taonga SiC, ka taea e ratou te tu ki nga waahi hiko teitei me te kore e pakaru te hiko.
3. Te ātete matū me te taiao: He ātete matū a SiC, ā, ka taea e ia te tu atu i nga ahuatanga kino o te taiao, e tika ana mo te whakamahi i nga tono whakawero.
4. He iti ake te ngaronga o te mana: Ka whakatauritea ki nga taonga tuku iho-a-silicona, ka taea e nga taputapu SiC te kaha ake te huri o te hiko me te whakaiti i te ngaro o te hiko i roto i nga taputapu hiko.
5. Te waahi whanui: He whanui whanui a SiC, e tuku ana i te whakawhanaketanga o nga taputapu hiko ka taea te mahi i nga waahi teitei ake me te kaha ake o te kaha.
I roto i te katoa, ko nga taputapu hiato N-momo SiC he painga nui mo te whakawhanaketanga o nga taputapu hiko teitei, ina koa i roto i nga tono he mea tino nui te mahi i te pāmahana-teitei, te kiato mana teitei, me te huringa hiko pai.