Miihini Raima Taimana Maha-Waea mo te SiC Sapphire Ultra-Hard Brittle Materials
He Kupu Whakataki ki te Miihini Miihini Miihini Miihini Waea-maha
Ko te miihini raima taimana maha-waea he punaha tapahi toi i hangaia mo te tukatuka i nga rawa tino uaua me te pakarukaru. Ma te tuku i nga waea whakarara whakarara taimana, ka taea e te miihini te tapahi i nga wafers maha i roto i te huringa kotahi, ka eke ki te whakaputanga teitei me te tika. Ko tenei hangarau kua noho hei taputapu nui i roto i nga umanga penei i nga semiconductors, photovoltaics solar, LEDs, me nga karaera teitei, otira mo nga taonga penei i te SiC, te hapira, te GaN, te kiripaka, me te alumina.
Ka whakatauritea ki te tapahi waea kotahi, ka tukuna e te whirihoranga waea-maha te maha ki nga rau poro mo ia puranga, ka tino whakaiti i te wa huringa i te wa e mau tonu ana te papatahi (Ra <0.5 μm) me te tino tika (± 0.02 mm). Ko tana hoahoa tauira he whakauru i nga waea waea aunoa, nga punaha whakahaere taputapu, me te aro turuki i runga ipurangi, me te whakarite mo te wa roa, te pumau, me te hanga aunoa.
Tawhā Hangarau o te Miihini Raima Taimana Maha-Waea
| Tūemi | Whakatakotoranga | Tūemi | Whakatakotoranga |
|---|---|---|---|
| Rahi mahi morahi (Tapawha) | 220 × 200 × 350 mm | Te taraiwa motini | 17.8 kW × 2 |
| Rahi mahi mōrahi (Rāhita) | Φ205 × 350 mm | Waea taraiwa motuka | 11.86 kW × 2 |
| Mokowā porowhita | Φ250 ±10 × 370 × 2 tuaka (mm) | Motini hiki tepu mahi | 2.42 kW × 1 |
| Tuaka matua | 650 mm | Piu motoka | 0.8 kW × 1 |
| Waea rere tere | 1500 m/min | Motini whakarite | 0.45 kW × 2 |
| Waea diameter | Φ0.12–0.25 mm | Te nekeneke motini | 4.15 kW × 2 |
| Hiki tere | 225 mm/min | Motini pupuhi | 7.5 kW × 1 |
| Max. hurihanga tepu | ±12° | Te kaha o te taika pupuhi | 300 L |
| Koki piu | ±3° | Te rere whakamahana | 200 L/min |
| Piu auau | ~30 wa/min | Temp. tika | ±2 °C |
| Te utu whangai | 0.01–9.99 mm/min | Tuku hiko | 335+210 (mm²) |
| Waea reanga whangai | 0.01–300 mm/min | Te hau kōpeke | 0.4–0.6 MPa |
| Te rahi o te miihini | 3550 × 2200 × 3000 mm | Taumaha | 13,500 kg |
Te Hangahanga Mahi o te Miihini Miihini Miihini Miihini Waea-maha
-
Motini Tapa Waea Maha
He maha nga waea taimana e neke ana i nga tere tukutahi ki te 1500 m/min. Ko nga whana arahi-a-tikanga me te whakahaere riipene kati-koropiko (15-130 N) ka mau tonu nga waea, ka whakaiti i te tupono ka pakaru, ka pakaru ranei. -
Whangai tika me te tuunga
Ko te tuunga i aia e Servo ka eke ki te ±0.005 mm te tika. Ko te taiaho whiriwhiri, ko te tirohanga awhina-a-kitenga ranei ka whakarei ake i nga hua mo nga ahua uaua. -
Te whakamatao me te Tangohanga otaota
Ka mau tonu te tango maramara me te whakamatao i te waahi mahi, te aukati i te kino o te waiariki. Ko te whiriwhiringa maha-waahanga ka roa te ora whakamatao me te whakaiti i te wa heke. -
Pūhara Mana Ataata
Ko nga taraiwa servo whakautu-nui (<1 ms) ka whakatikatika hihiri i te whangai, i te awangawanga, me te tere waea. Ko te whakahaeretanga o te tunu kai me te paato-kotahi te whakawhiti tawhā e tere ana te hanga papatipu.
Nga Painga Matua o te Miihini Kaari Taimana Waea Maha
-
Hua Nui
He kaha ki te tapahi i nga wafers 50-200 mo ia oma, me te ngaro o te kerf <100 μm, te whakapai ake i te whakamahinga rauemi ki te 40%. He 5–10x te whakaputanga o nga punaha waea-kotahi tuku iho. -
Mana Tika
Ko te taumautanga o te waea i roto i te ± 0.5 N ka whakarite kia rite nga hua mo nga momo mea pakarukaru. Ko te aro turuki i te waa-tūturu i runga i te 10" atanga HMI e tautoko ana i te rokiroki tunu me te mahi mamao. -
Hangawari, Hanga Tauira
He hototahi ki nga diameter waea mai i te 0.12–0.45 mm mo nga tikanga tapahi rereke. Ka taea e te whakahaere karetao whiriwhiri nga raina whakaputa aunoa. -
Ahumahi-Koeke Whakapono
Ko nga papa whakarewa mahi taumaha ka whakaiti i te whakarereketanga (<0.01 mm). Ko nga pulleys arataki me nga paninga uku, carbide ranei e whakarato ana mo te 8000 haora o te ora mahi.
Nga Marae Tono o te Miihini Raima Taimana Maha-Waea
-
Ko nga Semiconductors: Te tapahi SiC mo nga waahanga hiko EV, nga taputapu GaN mo nga taputapu 5G.
-
Te hikohiko: Te tiihi angiangi angiangi tere-tere me te ±10 μm riterite.
-
LED & Optik: Nga taputapu sapphire mo te epitaxy me nga huānga whatu tino tika me te <20 μm te maramara tapa.
-
Karakia Ake: Te tukatuka o te alumina, te AlN, me nga mea rite mo te aerospace me nga waahanga whakahaere wera.
FAQ – Maha-Waea Taimana kani i te Miihini
Q1: He aha nga painga o te kanikau waea-maha ka whakaritea ki nga miihini waea kotahi?
A: Ka taea e nga punaha waea-maha te tapahi i nga tatini ki nga rau angiangi i te wa kotahi, me te whakanui ake i te pai ma te 5-10x. He teitei ake hoki te whakamahi rauemi me te ngaronga kerf i raro i te 100 μm, he pai mo te hanga papatipu.
Q2: He aha nga momo rauemi ka taea te tukatuka?
A: Kua hangaia te miihini mo nga mea pakeke me te pakaru, tae atu ki te silicon carbide (SiC), te sapphire, te gallium nitride (GaN), te quartz, te alumina (Al₂O₃), me te nitride konumohe (AlN).
Q3: He aha te tika ka taea te whakatutuki me te kounga o te mata?
A: Ka taea e te taratara o te mata te tae ki te Ra <0.5 μm, me te tika o te taha ± 0.02 mm. Ka taea te whakahaere i te tapatapahi taha ki te <20 μm, ka tutuki i nga paerewa o te hikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohikohiko me te semiconductor.
Q4: Ko te tukanga tapahi ka pakaru, ka pakaru ranei?
A: Ma te whakamatao pehanga teitei me te mana o te riipene kati, ka whakaitihia te tupono o nga kapiti moroiti me te kino o te ahotea, me te whakarite i te pono o te angiangi.
