LNOI Wafer (Lithium Niobate i runga i te Insulator) Nga Waea Whakawhitinga Te Hiko-Optic Teitei
Hoahoa Taipitopito
Tirohanga
Kei roto i te pouaka angiangi he awaawa hangarite, he rite tonu te ahua o te rahi hei tautoko i nga taha e rua o te angiangi. Ko te pouaka karaihe he mea hanga ki te papanga PP kirihou translucent he aukati ki te pāmahana, te kakahu me te hiko hiko. He rereke nga tae o nga taapiri e whakamahia ana hei wehe i nga waahanga tukanga whakarewa i roto i te hanga semiconductor. Na te iti o te rahi o nga semiconductors, nga tauira maamaa, me nga whakaritenga rahi o te matūriki i roto i te hanga, me whakamanahia te pouaka angiangi he taiao ma ki te hono atu ki te pouaka tauhohenga pouaka microenvironment o nga miihini whakaputa rereke.
Tikanga Hangahanga
Ko te hanga o nga angiangi LNOI he maha nga waahanga tika:
Hipanga 1: Helium Ion ImplantationKa whakauruhia nga katote helium ki roto i te karaihe LN nui ma te whakamahi i te katote implanter. Ka noho enei katote ki tetahi hohonutanga motuhake, ka hanga he rererangi ngoikore e pai ai te whakakore i te kiriata.
Hipanga 2: Te Hanganga Papanga PapangaHe hiraka motuhake, he angiangi LN ranei ka waikurahia, ka whakakikoruatia ranei ki te SiO2 ma te whakamahi i te PECVD, te waiariki waiariki ranei. Ko tona mata o runga he mea whakarite kia pai ai te honohono.
Hipanga 3: Te herenga o LN ki te RaupapaKo te karaihe LN kua whakauruhia ki te katote ka huri, ka piri ki te angiangi turanga ma te whakamahi hononga angiangi tika. I roto i nga waahi rangahau, ka taea te whakamahi i te benzocyclobutene (BCB) hei whakapiri hei whakangawari i te hononga i raro i nga tikanga iti ake.
Hipanga 4: Te maimoatanga wera me te Wehenga KiriataKa whakahohehia te hanga mirumiru i te hohonutanga o te whakato, ka taea te wehe o te kiriata angiangi (paparanga LN runga) mai i te nuinga. Ka whakamahia te kaha miihini ki te whakaoti i te whakakoi.
Hipanga 5: Whakakorikori MataKa whakamahia te Maama Mechanical Polishing (CMP) ki te maeneene i te mata o runga o te LN, te whakapai ake i te kounga whatu me te hua o te taputapu.
Tawhā Hangarau
| Rauemi | Optical Kōeke LiNbO3 wafes(Ma or Pango) | |
| Curie Temp | 1142±0.7℃ | |
| Te tapahi Koki | X/Y/Z etc | |
| Diamita/rahi | 2”/3”/4” ±0.03mm | |
| Tol(±) | <0.20 mm ±0.005mm | |
| Mātotoru | 0.18～0.5mm neke atu ranei | |
| Paraimere Papatahi | 16mm/22mm/32mm | |
| TTV | <3μm | |
| Kopere | -30 | |
| Warp | <40μm | |
| Takotoranga Papatahi | Katoa e waatea ana | |
| Mata Momo | Taha Takitahi kua Orohia(SSP)/Taha Taurua Kua Orohia(DSP) | |
| Kua orohia taha Ra | <0.5nm | |
| S/D | 20/10 | |
| Tapa Paearu | R=0.2mm Momo-C or Bullnose | |
| Kounga | Kore utu of kapiti(mirumiru a whakaurunga) | |
| Optical karekau | Mg/Fe/Zn/MgO etc mo whatu kōeke LN angiangi ia i tono | |
| Wafer Mata Paearu | Taupū Refactive | Kao=2.2878/Ne=2.2033 @632nm roangaru/tikanga whakahono prisma. |
| poke, | Karekau | |
| Matūriki c>0.3μ m | <=30 | |
| Karakura, Tapatapahi | Karekau | |
| Koha | Karekau he kapiti taha, he pakaru, he tohu kani, he piro | |
| Te takai | Pouaka Tau/Wafer | 25pcs mo ia pouaka |
Whakamahi Take
Na tona kaha me te mahi, ka whakamahia te LNOI puta noa i nga umanga maha:
Photonics:Ko nga kaiwhakariterite kiato, he maha, he iahiko whakaahua.
RF/Acoustics:Ko nga Kaihuri Acousto-optic, nga whiriwhiringa RF.
Rorohiko Rarangi:Whakaranu auau kore me nga kaihanga whakaahua-rua.
Parenga me te Aerospace:Gyros whatu iti-mate, nga taputapu whakawhiti auau.
Pūrere Hauora:Ko nga kaikoiora oro me nga tirotiro tohu auau teitei.
FAQ
P: He aha te take i pai ake ai a LNOI i a SOI i roto i nga punaha whatu?
A:Kei te LNOI nga whakarea hiko-optic pai ake me te whanui whanui o te maaramatanga, e kaha ake ai te mahi i roto i nga iahiko whakaahua.
Q: He whakahau te CMP i muri i te wehenga?
A:Ae. He taratara te mata LN e kitea ana i muri i te tapahi katote, me whakakorikori kia tutuki ai nga tohu tohu-mata.
Q: He aha te rahinga angiangi morahi e waatea ana?
A:Ko nga momo angiangi LNOI arumoni ko te 3” me te 4”, ahakoa kei te whakawhanake etahi kaiwhakarato i nga momo rereke 6”.
Q: Ka taea te whakamahi ano i te paparanga LN i muri i te wehenga?
A:Ka taea te whakakoi i te karaihe turanga me te whakamahi ano i etahi wa, ahakoa ka heke te kounga i muri i nga huringa maha.
Q: He hototahi nga angiangi LNOI ki te tukatuka CMOS?
A:Ae, he mea hoahoa kia whakangao ki nga tikanga titohanga semiconductor, ina koa ka whakamahia nga taputapu silicon.
