8inihi LNOI (LiNbO3 i runga i te Insulator) Wafer mo nga Kaihuri Ngaru Ngaru Arahiko Whakakotahi.
Hoahoa Taipitopito
Kupu Whakataki
Ko te Lithium Niobate i runga i te Insulator (LNOI) he mea tapahi-matau e whakamahia ana i roto i nga momo tono whatu me te hiko. Ka mahia enei angiangi ma te whakawhiti i tetahi paparanga angiangi o te lithium niobate (LiNbO₃) ki runga i te tïpako whakamaarama, te nuinga o te kirika, i tetahi atu mea pai ranei, ma te whakamahi i nga tikanga maamaa penei i te whakauru katote me te hononga angiangi. He maha nga ahuatanga o te hangarau LNOI ki te Silicon on Insulator (SOI) hangarau angiangi engari ka whai painga ki nga ahuatanga whatu ahurei o te lithium niobate, he mea e mohiotia ana mo ona ahuatanga piezoelectric, pyroelectric, me te kore raina.
Ko nga angiangi LNOI kua aro nui ki nga waahi penei i te optics whakauru, te waea waea, me te rorohiko quantum na te pai o te mahi i roto i nga tono tere me te tere tere. Ka hangaia nga wafers ma te whakamahi i te tikanga "Smart-cut", e taea ai te whakahaere tika mo te matotoru o te kiriata angiangi lithium niobate, me te whakarite kia tutuki nga wafers ki nga whakaritenga e hiahiatia ana mo nga momo tono.
Tikanga
Ko te tukanga o te hanga angiangi LNOI ka tiimata me te karaihe lithium niobate nui. Ko te karaihe ka uru ki te whakaurunga katote, ka whakauruhia nga katote helium-kaha ki te mata o te karaihe lithium niobate. Ko enei katote ka uru ki roto i te karaihe ki te hohonutanga motuhake, ka pakaru i te hanganga karaihe, ka hangaia he rererangi pakaru ka taea te whakamahi i muri mai hei wehe i te karaihe ki nga papa angiangi. Ko te kaha motuhake o nga katote helium e whakahaere ana i te hohonu o te whakaurunga, e pa ana ki te matotoru o te paparanga lithium niobate whakamutunga.
I muri i te whakaurunga o te katote, ka herea te karaihe lithium niobate ki tetahi taputapu ma te whakamahi i te tikanga e kiia nei ko te wafer bonding. I te nuinga o te wa ka whakamahia e te tukanga honohono he tikanga honohono tika, kei reira nga papa e rua (te karaihe lithium niobate i whakauruhia ki te katote me te tïpako) ka pehia tahi i raro i te wera nui me te pehanga ki te hanga hononga kaha. I etahi wa, ka taea te whakamahi i tetahi mea whakapiri penei i te benzocyclobutene (BCB) hei tautoko taapiri.
Whai muri i te herenga, ka tukuna te angiangi ki te mahi whakaene ki te whakatika i nga kino i puta mai i te whakaurunga katote me te whakaniko i te hononga i waenga i nga paparanga. Ka awhina ano te mahi whakahiato i te paparanga lithium niobate angiangi ki te wehe mai i te karaihe taketake, ka waiho he papanga angiangi, kounga teitei o te lithium niobate ka taea te whakamahi mo te hanga taputapu.
Whakatakotoranga
Ko nga angiangi LNOI e tohuhia ana e te maha o nga waahanga nui hei whakarite i to raatau pai mo nga tono mahi-nui. Ko enei ko:
Whakatakotoranga rauemi;
| ;Rauemi; | ;Whakatakotoranga; |
| Rauemi | Taurite: LiNbO3 |
| Kounga Rawa | Mirumiru, whakaurunga ranei <100μm |
| Takotoranga | Tapahia Y ±0.2° |
| Kiato | 4.65 g/cm³ |
| Te pāmahana Curie | 1142 ±1°C |
| Puataata | >95% i roto i te awhe 450-700 nm (10 mm te matotoru) |
Nga Whakatakotoranga Hangahanga;
| ;Tawhā; | ;Whakatakotoranga; |
| Diamita | 150 mm ±0.2 mm |
| Mātotoru | 350 μm ±10 μm |
| Papatahi | <1.3 μm |
| Rerekēnga Matotoru Tapeke (TTV) | Warp <70 μm @ 150 mm angiangi |
| Rerekē Matotoru Paetata (LTV) | <70 μm @ 150 mm angiangi |
| Te taratara | Rq ≤0.5 nm (Uara AFM RMS) |
| Kounga Mata | 40-20 |
| Matūriki (Kaore e taea te tango) | 100-200 μm ≤3 matūriki |
| Nga maramara | <300 μm (te angiangi katoa, kaore he rohe whakakore) |
| Kapiti | Kaore he kapiti (te angiangi katoa) |
| Te poke | Karekau he poke kore-tango (te angiangi katoa) |
| Whakarara | <30 hēkona kikorangi |
| Rere Tohutoro Takotoranga (Tuka-X) | 47 ±2 mm |
Nga tono
Ka whakamahia nga angiangi LNOI i roto i te whānuitanga o nga tono na o raatau ahuatanga motuhake, ina koa i nga mara o te whakaahua, te waea, me te hangarau quantum. Ko etahi o nga tono matua ko:
Whatunga Whakakotahi:Kei te whakamahia nuitia nga angiangi LNOI i roto i nga iahiko whatu whakauru, kei reira e taea ai e ratou nga taputapu whakaahua mahi teitei penei i te modulators, waveguides, me te resonators. Ko nga ahuatanga whatu kore raina teitei o te lithium niobate he mea pai rawa atu mo nga tono e hiahia ana ki te raweke marama.
Whakawhitiwhiti:Kei te whakamahia nga angiangi LNOI i roto i nga kaiwhakatikatika whatu, he waahanga nui i roto i nga punaha whakawhitiwhiti tere tere, tae atu ki nga whatunga muka. Ko te kaha ki te whakarereke i te rama ki nga iarere teitei ka pai nga angiangi LNOI mo nga punaha waea hou.
Rorohiko Rarangi:I roto i nga hangarau rahi, ka whakamahia nga angiangi LNOI ki te hanga i nga waahanga mo nga rorohiko quantum me nga punaha korero nui. Ko nga ahuatanga whatu kore raina o te LNOI ka whakamahia ki te hanga i nga takirua whakaahua, he mea tino nui mo te tohatoha matua me te whakamunatanga o te quantum.
Pūoko:Ka whakamahia nga angiangi LNOI i roto i nga momo tono mohio, tae atu ki nga pukoro whatu me te oro. Na to ratou kaha ki te mahi tahi me te marama me te oro e whai kiko ana mo nga momo hangarau rongo.
FAQ
Q:He aha te hangarau LNOI?
A: Ko te hangarau LNOI ko te whakawhiti i te kiriata lithium niobate angiangi ki runga i te tïpako insulating, te nuinga o te kirika. Ko tenei hangarau e whakamahi ana i nga ahuatanga ahurei o te lithium niobate, penei i ona ahuatanga matakite korerangi teitei, te piezoelectricity, me te pyroelectricity, he pai mo te whakaurunga optics me te waea.
Q:He aha te rereketanga i waenga i nga angiangi LNOI me SOI?
A: He rite nga angiangi LNOI me te SOI na te mea he papa angiangi o nga mea kua herea ki tetahi tïpako. Heoi, ka whakamahia e nga angiangi LNOI te lithium niobate hei taonga kiriata angiangi, ko nga angiangi SOI kei te whakamahi silicon. Ko te rereketanga nui kei roto i nga ahuatanga o te papanga kiriata angiangi, me te LNOI e tuku ana i nga taonga mata me te piezoelectric pai ake.
Q:He aha nga painga o te whakamahi angiangi LNOI?
A:Ko nga tino painga o nga angiangi LNOI ko o raatau ahuatanga oro pai, penei i te teitei o te whakarea whatu kore raina, me te kaha miihini. Ko enei ahuatanga e pai ana nga angiangi LNOI mo te whakamahi i roto i te tere-tere, te tere-tere, me te tono quantum.
Q:Ka taea te whakamahi angiangi LNOI mo nga tono quantum?
A: Ae, ka whakamahia nuitia nga angiangi LNOI i roto i nga hangarau quantum na te kaha ki te whakaputa takirua whakaahua kua marara me to raatau hototahi ki nga whakaahua whakauru. He mea tino nui enei taonga mo nga tono i roto i te rorohiko quantum, te whakawhitiwhitinga korero, me te tuhi.
Q:He aha te matotoru angamaheni o nga kiriata LNOI?
A: Ko nga kiriata LNOI mai i te rau nanometer ki te maha o nga micrometers te matotoru, i runga i te tono motuhake. Ka whakahaerehia te matotoru i roto i te tukanga whakauru katote.
