Mīhini Whakakoi Ion Beam mo te sapphire SiC Si

Whakaahuatanga Poto:

Ko te Ion Beam Figuring and Polishing Machine kei runga i te kaupapa opupuhi katote. I roto i tetahi ruma korehau teitei, ka hangaia e te puna katote te plasma, ka whakaterehia ki roto i te kurupae katote-kaha. Ko tenei kurupae e pupuhi ana i te mata o te waahanga whatu, ka tango i nga rawa i te tauine ngota ki te whakatutuki i te whakatikatika mata tino tika me te whakaoti.

Tukuna he imeera ki a matou

Ngā āhuatanga

Hoahoa Taipitopito

Tirohanga Hua mo te Miihini Whakaata Ion Beam

Ko te Ion Beam Figuring and Polishing Machine kei runga i te kaupapa o te katote sputtering. I roto i tetahi ruma korehau teitei, ka hangaia e te puna katote te plasma, ka whakaterehia ki roto i te kurupae katote-kaha. Ko tenei kurupae e pupuhi ana i te mata o te waahanga whatu, ka tango i nga rawa i te tauine ngota ki te whakatutuki i te whakatikatika mata tino tika me te whakaoti.

I te mea he tukanga kore-whakapapa, ka whakakorehia e te whakakoi kurupae katote te ahotea miihini me te karo i te kino o raro, he mea pai mo te hanga optics tino tika e whakamahia ana i roto i te arorangi, aerospace, semiconductor, me nga tono rangahau matatau.

Tikanga Mahi o te Miihini Whakakoi Ion Beam

Whakatupu Katote
Ko te hau inert (hei tauira, argon) ka whakauruhia ki roto i te ruma korehau ka katote ma te rere hiko kia hanga plasma.

Whakatere me te Hanga Kurupae
Ka whakaterehia nga katote ki te maha rau, mano ranei nga hiko hiko (eV) ka hangaia hei waahi kurupae pumau.

Tango Rawa
Ka pupuhi tinana te kurupae katote i nga ngota mai i te mata me te kore e timata i nga tauhohenga matū.

Te Rapu Hapa me te Mahere Ara
Ka inehia nga rereketanga o te mata ki te interferometry. Ka whakamahia nga mahi tango ki te whakatau i nga wa noho me te whakaputa i nga huarahi taputapu papai.

Te Whakatikatika-Kati
Ka haere tonu nga huringa o te tukatuka me te ine tae noa ki te whakatutuki i nga whaainga tika RMS/PV.

Ko nga ahuatanga matua o te Miihini Whakaata Ion Beam

Hototahi Mata Ao– Ka tukatuka i nga papa papatahi, porowhita, aspherical, me te hanga noa

Reiti Tangohanga Tino-Utu– Ka taea te whakatika i te ahua iti-nanometer

Tukatuka Karekau he kino– Karekau he koha o raro o te mata, he huringa hanganga ranei

Mahi Tonu– He rite te pai o te mahi i runga i nga rauemi rerekee te pakeke

Te Whakatikatika Waenga iti/Waenga- Ka whakakore i nga hapa me te kore e whakaputa i nga mahi toi waenga / teitei

He iti te Tiaki Tiaki- He roa te mahi tonu me te iti o te wa heke

Nga Whakatakotoranga Hangarau Matua o te Miihini Whakaata Ion Beam

Tūemi	Whakatakotoranga
Tikanga Tukatuka	Katote katote i roto i te taiao korehau teitei
Momo Tukatuka	Ko te ahua o te mata me te whakakoi
Te Rahi Mahi Mahi	Φ4000 mm
Nga Toki Motini	tuaka-3 / tuaka-5
Pumautanga Tango	≥95%
Tikanga Mata	PV <10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (RMS angamaheni < 1 nm; PV < 15 nm)
Auautanga Whakatikatika	Ka tango i nga hapa auau iti-waenganui me te kore e whakauru i nga hapa o waenga/tiketike
Mahi Tonu	3-5 wiki kaore he tiaki korehau
Utu Tiaki	Iti

Te Mahinga Tukatuka o te Miihini Whakaata Ion Beam

Momo Mata Tautokona

Maamaa: Papatahi, porowhita, prisma

Matatini: Ahia hangarite/hangarite, awhea tuaka-waho, porotakaro

Motuhake: Nga whatu angiangi-uira, nga whatu papaa, nga whatu hemispherical, nga whatu rite, nga pereti wahanga, nga papa ahuakore

Rauemi Tautoko

Karaihe Optical: Quartz, microcrystalline, K9, etc.

Nga rauemi infrared: Silicon, germanium, etc.

Metals: Konumohe, kowiri tira, titanium alloy, etc.

Tioata: YAG, kirikiri kirikiri carbide kotahi, etc.

Nga rauemi pakeke/parapara: Silicon carbide, etc.

Kounga Mata / Tika

PV <10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

Tukatuka Take Akoranga o Ion Beam Miihini Orooro

Take 1 – Whakaata Papatahi Paerewa

Mea Mahi: D630 mm kiripaka papatahi

Hua: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

Take 2 – X-ray Reflective Mirror

Mea mahi: 150 × 30 mm te papatahi hiako

Hua: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; He 0.13 µrad

Take 3 – Whakaata Tua-Tuaka

Mea Mahi: D326 mm te whakaata whenua tuaka tuaka

Hua: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

FAQ o Mohiti Quartz

FAQ – Miihini Whakakoi Ion Beam

Q1: He aha te katote kurupae oro?
A1:Ko te whakakoi i te kurupae katote he tukanga kore-whakapapa e whakamahi ana i te kurupae arotahi o nga katote (pēnei i te katote argon) hei tango i nga rawa mai i te papa mahi. Ka whakaterehia nga katote, ka anga atu ki te mata, ka tangohia nga rawa taumata ngota, ka mutu te tino maeneene. Ko tenei tukanga ka whakakore i te ahotea miihini me te kino o raro, he pai mo nga waahanga whatu tika.

Q2: He aha nga momo papa ka taea e te Ion Beam Polishing Machine te mahi?
A2:Ko teMīhini Whakakoi Ion BeamKa taea e ia te tukatuka i nga momo papanga, tae atu ki nga waahanga whatu ngawari peneipapatahi, porowhita, me te parama, me nga ahuahanga matatini peneingongo, ngongo tuaka-waho, anga papa ahuakore. He tino whai hua ki runga i nga rawa penei i te karaehe whatu, whatu infrared, konganuku, me nga rauemi pakeke/parapakeke.

Q3: He aha nga rauemi ka taea e te Ion Beam Polishing Machine te mahi?
A3:Ko teMīhini Whakakoi Ion BeamKa taea te whakakoi i te tini o nga rauemi, tae atu ki:

Karaihe whatu: Quartz, microcrystalline, K9, etc.
Nga rauemi infrared: Silicon, germanium, etc.
Nga konganuku: Konumohe, kowiri tira, titanium alloy, etc.
Ko nga taonga tioata: YAG, kirikiri kirikiri carbide kotahi, etc.
Ētahi atu rauemi mārō/rawarawa: Silicon carbide, etc.

Mo Tatou

Ko te XKH he tohungatanga ki te whakawhanaketanga hangarau-nui, te whakaputa, me te hoko o nga karaihe mata motuhake me nga taonga karaihe hou. Ko o maatau hua e mahi ana i te hikohiko whatu, te hikohiko kaihoko, me te hoia. Ka whakaekea e matou nga waahanga whatu Sapphire, nga uhi mo te waea pūkoro, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, me nga angiangi karaihe semiconductor. Ma te tohungatanga mohio me nga taputapu tapahi, ka eke matou ki te mahi tukatuka hua kore-paerewa, e whai ana kia waiho hei hinonga hangarau teitei o nga rawa optoelectronic.