HPSI SiC wafer dia:3inihi te matotoru:350um± 25 µm mo te Hiko Hiko
Taupānga
Ka whakamahia nga wafers HPSI SiC i roto i te whānuitanga o nga tono hiko hiko, tae atu ki:
Nga hikohiko hiko:Ka whakamahia nga wafers SiC ki te hanga i nga diodes hiko, transistors (MOSFETs, IGBTs), me te thyristors. Ko enei semiconductor e whakamahia nuitia ana i roto i nga tono whakawhiti hiko e hiahia ana kia tino pai me te pono, penei i roto i nga motuka motuka ahumahi, nga taputapu hiko, me nga kaitahuri mo nga punaha hiko hou.
Nga Waka Hiko (EV):I roto i nga hiko hiko hiko, ko nga taputapu hiko-a-SiC e whakarato ana i nga tere whakawhiti tere, teitei ake te kaha o te kaha, me te whakaheke i nga mate wera. Ko nga waahanga SiC he pai mo nga tono i roto i nga punaha whakahaere pākahiko (BMS), nga hanganga utu, me nga riihi i runga i te poari (OBCs), he mea nui te whakaiti i te taumaha me te whakanui i te kaha o te hurihanga kaha.
Pūnaha Pūngao Whakahōu:Kei te kaha haere nga angiangi SiC i roto i nga hurihanga o te ra, nga kaihanga hiko hau, me nga punaha rokiroki hiko, he mea nui te kaha me te pakari. Ko nga waahanga e pa ana ki te SiC ka kaha ake te kaha o te hiko me te whakapai ake i nga mahi i roto i enei tono, me te whakapai ake i te kaha o te hurihanga hiko.
Hiko Hiko Ahumahi:I roto i nga mahinga ahumahi mahi nui, penei i nga taraiwa motopaika, nga robotics, me nga taputapu hiko nui, ko te whakamahinga o nga wafers SiC ka taea te whakapai ake i nga mahi i runga i te pai, te pono, me te whakahaere wera. Ka taea e nga taputapu SiC te whakahaere i nga rerenga whakawhiti teitei me te pāmahana teitei, kia pai ai mo nga taiao tono.
Waea Waea me nga Pokapū Raraunga:Ka whakamahia te SiC i roto i nga taputapu hiko mo nga taputapu waea me nga pokapū raraunga, he mea nui te pono me te kaha o te hurihanga hiko. Ko nga taputapu hiko-a-SiC ka taea te kaha ake i nga rahi iti ake, e whakamaoritia ana ki te whakaiti i te kohi hiko me te pai ake o te whakamahana i roto i nga hanganga-nui.
Ko te ngaohiko pakaru teitei, te iti o te aukati, me te pai o te kawe i te waiariki o nga wafers SiC ka waiho hei taputapu pai mo enei tono matatau, e taea ai te whakawhanaketanga o nga reanga hiko hiko kaha-kaha.
Āhuatanga
Taonga | Uara |
Wafer Diameter | 3 inihi (76.2 mm) |
Matotoru Wafer | 350 µm ± 25 µm |
Takotoranga Wafer | <0001> runga-tuaka ± 0.5° |
Kiatotanga Micropipe (MPD) | ≤ 1 cm⁻² |
Te Atete Hiko | ≥ 1E7 Ω·cm |
Dopant | Kua wetekina |
Kaupapa Papatahi Tuatahi | {11-20} ± 5.0° |
Te Roa Papatahi Tuatahi | 32.5 mm ± 3.0 mm |
Te Roa Papatahi Tuarua | 18.0 mm ± 2.0 mm |
Takotoranga Papatahi Tuarua | Si anga ki runga: 90° CW mai i te papa tuatahi ± 5.0° |
Whakakorenga Tapa | 3 mm |
LTV/TTV/Kopere/Warp | 3 µm / 10 µm / ±30 µm / 40 µm |
Riroke Mata | C-kanohi: Orohia, Si-kanohi: CMP |
Kapiti (kua tirotirohia e te rama kaha teitei) | Karekau |
Nga Pereti Hex (kua tirotirohia e te rama tino kaha) | Karekau |
Nga Waahi Polytype (kua tirotirohia e te rama kaha teitei) | Horahanga whakahiato 5% |
Nga karawarawa (kua tirotirohia e te rama tino kaha) | ≤ 5 karawarawa, te roa whakaemi ≤ 150 mm |
Tapatapahi Tapa | Kore e whakaaetia kia ≥ 0.5 mm te whanui me te hohonu |
Parahanga Mata (tirohia e te rama kaha teitei) | Karekau |
Nga Painga Matua
Kawenga Weariki teitei:E mohiotia ana nga wafers SiC mo to raatau kaha ki te whakakore i te wera, e taea ai e nga taputapu hiko te mahi i runga i te kaha teitei ake me te hapai i nga ia teitei me te kore e wera. He mea nui tenei ahuatanga ki te hikohiko hiko he wero nui te whakahaere wera.
Ngaohiko Wehenga Teitei:Ko te whanui whanui o te SiC ka taea e nga taputapu te aro ki nga taumata ngaohiko teitei ake, e pai ana mo nga tono ngaohiko teitei penei i nga hiko hiko, waka hiko, me nga miihini ahumahi.
Tino Tino:Ko te whakakotahitanga o nga rerenga whakawhiti teitei me te iti o te aukati i runga i nga taputapu ka iti ake te ngaronga o te kaha, te whakapai ake i te kaha o te hurihanga hiko me te whakaiti i te hiahia mo nga punaha whakamahana uaua.
Te Whakapono i roto i nga Taiao Kino:Ka taea e SiC te mahi i nga wera teitei (tae atu ki te 600°C), e tika ana mo te whakamahi i roto i nga taiao e kino ai nga taputapu-a-kirika tuku iho.
Tiaki Pungao:Ko nga taputapu hiko SiC te whakapai ake i te kaha o te huringa o te hiko, he mea nui ki te whakaiti i te kohi hiko, ina koa ki nga punaha nui penei i nga kaitahuri hiko ahumahi, nga waka hiko, me nga hanganga hiko whakahou.