Ko nga Wafers Koata Whakakotahi Maama-nui mo te Semiconductor, Photonics Optical Applications 2″4″6″8″12″
Hoahoa Taipitopito
Tirohanga mo te Karaehe Quartz
Ko nga mea angiangi kiripaka te tuara o nga taputapu hou maha e akiaki ana i te ao matihiko o enei ra. Mai i te whakaterenga i to waea atamai ki te tuara o nga teihana turanga 5G, ka tukuna marietia e te quartz te pumau, te ma, me te tika e hiahiatia ana i roto i nga mahi hikohiko me nga whakaahua. Ahakoa te tautoko i te ara iahiko ngawari, te whakaahei i nga pūoko MEMS, te hanga i te turanga mo te rorohiko inenga, na nga ahuatanga ahurei o te quartz he mea nui puta noa i nga umanga.
"Fused Silica" ranei "Fused Quartz" ko te wahanga amorphous o te kiripaka (SiO2). Ki te rereke ki te karaehe borosilicate, karekau he taapiri o te silica whakakotahi; no reira kei roto i tona ahua parakore, SiO2. He nui ake te tuku o te silica fused i roto i te awhiowhiowhiowhio infrared me te ultraviolet ina whakaritea ki te karaihe noa. Ko te silica whakakotahi ka hangaia ma te whakarewa me te whakakoi ano i te ultrapure SiO2. Ko te silica whakakotahi i tetahi atu ringa he mea hanga mai i nga matū matū nui o te silicon penei i te SiCl4 ka whakakinia, katahi ka waikurahia i roto i te hau H2 + O2. Ko te puehu SiO2 i hangaia i tenei keehi ka honoa ki te silica i runga i te tïpako. Ka tapahia nga poraka silica kua konatunatua ki te angiangi, katahi ka whakakoia nga angiangi.
Nga Ahuatanga Matua me nga Painga o te Wafer Karaehe Quartz
-
Tino-Teitei Maama (≥99.99% SiO2)
He pai rawa atu mo nga mahi semiconductor ultra-ma me nga tukanga photonics me whakaitihia te poke o nga rawa. -
Awhe Mahi Ngaaahu Whanui
Ka mau tonu te hanganga mai i te mahana tangihanga ki runga ake i te 1100°C me te kore e pakaru, e kino ranei. -
Whakawhiti UV me te IR tino pai
Ka whakaputa i te tino maramatanga whatu mai i te ultraviolet hohonu (DUV) na roto i te tata-infrared (NIR), e tautoko ana i nga tono whatu tika. -
He iti te Whakanuia Ngaaahu
Ka whakanui ake i te pumau o te ahu i raro i nga rereketanga o te pāmahana, te whakaiti i te ahotea me te whakapai ake i te pono o te tukanga. -
Te Atete Matū Nui
He koretake ki te nuinga o te waikawa, te kawakore, me te whakarewa—e tino pai ana mo nga taiao whakakino matū. -
Te Mata Whakaoti Hangawari
E waatea ana me nga mea tino maamaa, taha kotahi, taha-rua ranei, he pai ki nga whakaahua me nga whakaritenga MEMS.
Te Tukatuka Hangahanga o te Wafera Karaehe Quartz
Ko nga mea angiangi kiripaka whakakotahi ka hangaia ma te raupapa o nga hikoi whakahaere me te tika:
-
Te Whiriwhiringa Rawa
Te kowhiringa o te kiripaka maori tino parakore, nga puna SiO₂ waihanga ranei. -
Te Whakarewa me te Whakakotahitanga
Ka whakarewahia te Quartz i te ~ 2000 ° C i roto i nga oumu hiko i raro i te hau whakahaere hei whakakore i nga whakauru me nga mirumiru. -
Poraka Hanga
Ka whakamataohia te silica rewa ki roto ki nga poraka totoka, ki nga kohao. -
Tapahi Wafer
Ka whakamahia te taimana me te kani waea ki te tapahi i nga ingots ki nga waahi angiangi. -
Te mirimiri me te whakakorikori
Ko nga mata e rua ka whakahiatohia, ka orohia kia tutuki ai nga tohu mata, te matotoru, me te taratara. -
Te horoi me te tirotiro
Ka horoia nga wafers i roto i nga ruma horoi ISO Class 100/1000 me te tirotirohia mo nga hapa me te rite o te rahi.
Nga ahuatanga o te karaehe angiangi Quartz
| spec | wae | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Diamita / rahi (tawha ranei) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Whakaaetanga (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Te matotoru | mm | 0.10 neke atu ranei | 0.30 neke atu ranei | 0.40 neke atu ranei | 0.50 neke atu ranei | 0.50 neke atu ranei |
| Papatahi tohutoro tuatahi | mm | 32.5 | 57.5 | Kakari-rua | Kakari-rua | Kakari-rua |
| LTV (5mm×5mm) | μm | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| TTV | μm | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| Kopere | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Warp | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5mm×5mm) <0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Tapa Whakaawhiwhi | mm | He pai ki te SEMI M1.2 Paerewa / tirohia te IEC62276 | ||||
| Momo Mata | Te Taha Takitahi / Taha Taurua Kua Orohia | |||||
| Te taha orohia Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Paearu Taha Whakamuri | μm | whānui 0.2-0.7 whakaritea ranei | ||||
Quartz ki etahi atu Rawa Puataata
| Taonga | Karaehe Quartz | Karahe Borosilicate | Hapaira | Karaehe Paerewa |
|---|---|---|---|---|
| Max Mahi Temp | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| Whakawhiti UV | Tino pai (JGS1) | Pohara | Pai | Tino rawakore |
| Ātete matū | Tino pai | Whakaōrite | Tino pai | Pohara |
| Maamaa | Tino teitei | He iti ki te ngawari | Teitei | Iti |
| Te Roha Ngawha | Tino iti | Whakaōrite | Iti | Teitei |
| Utu | Tika ki te teitei | Iti | Teitei | Tino iti |
FAQ o Quartz Glass Wafer
Q1: He aha te rereketanga i waenga i te kiripaka whakakotahi me te silica whakakotahi?
Ahakoa he ahua amorphous o SiO₂ e rua, ko te kiripaka whakakotahi i te nuinga o te waa ka ahu mai i nga puna quartz maori, engari ko te silica whakakotahi he mea waihanga. Ko te mahi, he rite nga mahi, engari he pai ake te ahua o te silica me te riterite.
Q2: Ka taea te whakamahi i nga angiangi quartz kua whakauruhia ki roto i nga taiao korehau teitei?
Ae. Na te iti o o raatau waahi me te kaha o te waiariki, he pai rawa atu nga angiangi quartz mo nga punaha korehau me nga tono aerospace.
Q3: He pai enei angiangi mo nga tono laser hohonu-UV?
Tino. He nui te whakawhiti o te quartz ki raro ki te ~185 nm, he pai mo te DUV optics, lithography masks, me nga punaha laser excimer.
Q4: Kei te tautoko koe i te hanga angiangi ritenga?
Ae. Ka whakaekea e matou nga whakaritenga katoa tae atu ki te diameter, te matotoru, te kounga o te mata, nga papaa / kakari, me te tauira laser, i runga i o whakaritenga tono motuhake.
Mo Tatou
Ko te XKH he tohungatanga ki te whakawhanaketanga hangarau-nui, te whakaputa, me te hoko o nga karaihe mata motuhake me nga taonga karaihe hou. Ko o maatau hua e mahi ana i te hikohiko whatu, te hikohiko kaihoko, me te hoia. Ka whakaekea e matou nga waahanga whatu Sapphire, nga uhi mo te waea pūkoro, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, me nga angiangi karaihe semiconductor. Ma te tohungatanga mohio me nga taputapu tapahi, ka eke matou ki te mahi tukatuka hua kore-paerewa, e whai ana kia waiho hei hinonga hangarau teitei o nga rawa optoelectronic.
