Gallium Nitride i runga i te angiangi Silicon 4inihi 6inihi Whakaritea Si Tapapa Takotoranga, Atete, me nga Kōwhiringa momo-N/momo-P
Ngā āhuatanga
●Aputa Band Aano:Ko te GaN (3.4 eV) e whakarato ana i te whakapainga nui i roto i te mahi auau-nui, te kaha-nui, me te nui o te pāmahana i whakaritea ki te silicon tuku iho, he pai mo nga taputapu hiko me nga whakakaha RF.
●Whakaritenga Si Tapapa Takotoranga:Whiriwhiria mai i nga ahuatanga Si substrate rereke penei i <111>, <100>, me etahi atu kia rite ki nga whakaritenga taputapu motuhake.
●Resistivity Whakaritea:Tīpakohia i waenga i nga whiringa parenga rereke mo te Si, mai i te ahua-whakawetewete ki te teitei-aroaro me te iti-aukati ki te arotau i te mahinga o te taputapu.
●Momo Doping:E waatea ana i roto i te momo-N, momo-P ranei doping kia rite ki nga whakaritenga o nga taputapu hiko, nga transistors RF, nga LED ranei.
●Te Ngaohiko Wehenga Teitei:Ko nga wafers GaN-on-Si he ngaohiko pakaru teitei (tae atu ki te 1200V), ka taea e ratou te whakahaere i nga tono ngaohiko teitei.
● Tere Whakawhiti Tere:He teitei ake te neke irahiko a GaN me te iti ake o nga ngaronga whakawhiti i te silicon, na reira he pai nga angiangi GaN-on-Si mo nga iahiko tere.
●Mahinga Weahanga Whakarei ake:Ahakoa te iti o te kaha o te waiariki o te silicon, kei te tuku tonu a GaN-on-Si i te pai ake o te waiariki, he pai ake te tohanga wera atu i nga taputapu hiraka tuku iho.
Whakatakotoranga Hangarau
| Tawhā | Uara |
| Rahi Wafer | 4-inihi, 6-inihi |
| Si Takotoranga Papanga | <111>, <100>, ritenga |
| Ko te Parenga | Te-teitei, te Semi-insulating, Te-iti |
| Momo Doping | Momo-N, momo-P |
| Matotoru Apa GaN | 100 nm – 5000 nm (ka taea te whakarite) |
| Apa Arai AlGaN | 24% – 28% Al (te tikanga 10-20 nm) |
| Ngaohiko Paheketanga | 600V – 1200V |
| Te Irahiko Nekeneke | 2000 cm²/V·s |
| Whakawhiti Auautanga | Tae atu ki te 18 GHz |
| Riroketanga Mata Wafer | RMS ~0.25 nm (AFM) |
| Atete Rau GaN | 437.9 Ω·cm² |
| Tapeke Wafer Warp | < 25 µm (mōrahi) |
| Te Whakawhitinga Ngawha | 1.3 – 2.1 W/cm·K |
Nga tono
Hiko Hiko: He pai te GaN-on-Si mo nga hiko hiko penei i nga whakakaha hiko, nga kaitahuri, me nga kaitahuri e whakamahia ana i roto i nga punaha hiko whakahou, nga waka hiko (EV), me nga taputapu ahumahi. Ko tana ngaohiko pakaru teitei me te iti o te aukati ka whakarite kia pai te huri o te hiko, ahakoa i roto i nga tono mana-nui.
Whakawhitiwhiti RF me te Ngaruiti: Ko nga wafers GaN-on-Si e tuku ana i nga kaha-nui, e tino pai ana mo nga whakakaha hiko RF, nga korero amiorangi, nga punaha radar, me nga hangarau 5G. Me te tere o te whakawhiti me te kaha ki te whakahaere i nga iarere teitei ake (tae atu ki te18 GHz), Ko nga taputapu GaN he pai ake te mahi i roto i enei tono.
Nga Hikohiko Automotive: Kei te whakamahia a GaN-on-Si i roto i nga punaha hiko miihini, tae atu kinga riihi o runga-papa (OBC)aKaitahuri DC-DC. Ko tana kaha ki te mahi i nga waahi teitei ake me te tu atu i nga taumata ngaohiko teitei ake he pai mo nga tono waka hiko e hiahia ana kia kaha te huri hiko.
LED me te Optoelectronics: Ko GaN te rauemi whiriwhiri mo puru me te maama LED. Ka whakamahia nga angiangi GaN-on-Si ki te whakaputa i nga punaha rama rama-nui, e whakarato ana i nga mahi tino pai i roto i te rama, i nga hangarau whakaatu, me nga whakawhitiwhiti whakaaro.
Uiui&A
Q1: He aha te painga o GaN mo te silicon i roto i nga taputapu hiko?
A1:Kei a GaN hewhanui ake te mokowhiti (3.4 eV)atu i te silicon (1.1 eV), ka taea e ia te tu atu i nga ngaohiko teitei ake me te mahana. Ma tenei rawa ka taea e GaN te whakahaere i nga tono hiko teitei ake, ka whakaiti i te ngaronga hiko me te whakanui ake i nga mahi a te punaha. Kei te tuku ano a GaN i nga tere whakawhiti tere, he mea tino nui mo nga taputapu auau-nui penei i nga whakakaha RF me nga kaitahuri hiko.
Q2: Ka taea e au te whakarite i te whakatakotoranga Si substrate mo taku tono?
A2:Ae, ka tukuna e matouwhakaritenga Si tïpako orientationspenei<111>, <100>, me etahi atu ritenga i runga ano i nga whakaritenga o to taputapu. Ko te whakatakotoranga o te taputapu Si he mahi nui ki te mahi taputapu, tae atu ki nga ahuatanga hiko, te whanonga waiariki, me te pumau miihini.
Q3: He aha nga painga o te whakamahi i nga wafers GaN-on-Si mo nga tono teitei?
A3:Ko nga wafers GaN-on-Si he pai aketere whakawhiti, kia tere ake te mahi i nga iarere teitei ake i whakaritea ki te silicon. Ma tenei ka tino pai mo ratouRFangaruititono, me te auau-nuinga taputapu hikopeneiHEMT(High Ilectron Mobility Transistors) meWhakanuia RF. Ko te nekeneke irahiko teitei ake a GaN ka iti ake te ngaronga whakawhiti me te pai ake.
Q4: He aha nga whiringa doping e waatea ana mo nga wafers GaN-on-Si?
A4:Ka tukuna e matou nga mea e ruaMomo-NaMomo-Pkōwhiringa doping, e whakamahia nuitia ana mo nga momo momo taputapu semiconductor.N-momo dopinghe pai motransistors manaaWhakanuia RF, i te waP-momo dopinghe maha nga wa e whakamahia ana mo nga taputapu optoelectronic penei i nga LED.
Whakamutunga
Ko ta matou Whakaritea Gallium Nitride i runga i te Silicon (GaN-on-Si) Wafers e whakarato ana i te otinga pai mo nga tono tere-tere, te kaha-nui, me te wera nui. Ma te whakarite i nga waahanga Si substrate, parenga, me te momo-N-momo / P-momo doping, ka hangaia enei wafers ki te whakatutuki i nga hiahia motuhake o nga ahumahi mai i te hiko hiko me nga punaha miihini ki te whakawhitiwhiti RF me nga hangarau LED. Ma te whakamahi i nga taonga pai ake o te GaN me te whakahiato o te silicon, ka tukuna e enei wafers te mahi pai ake, te whai hua, me te tohu a muri ake nei mo nga taputapu whakatipuranga.
Hoahoa Taipitopito
