Gallium Nitride (GaN) Epitaxial Grown on Sapphire Wafers 4inihi 6inihi mo MEMS
Nga ahuatanga o GaN i runga i nga Wafers Sapphire
●Kakama Teitei:Ko nga taputapu a-GaN e whakarato ana i te mana e rima nga wa atu i nga taputapu-a-silicon, e whakanui ana i nga mahi i roto i nga momo tono hiko, tae atu ki te whakakaha RF me te optoelectronics.
●Aputa Band Aano:Ko te whanui whanui o te GaN ka taea te kaha ki te teitei o te pāmahana, he pai mo nga tono kaha-nui me te tere-tere.
●Te mauroa:Ko te kaha o GaN ki te hapai i nga ahuatanga tino kino (te teitei o te mahana me te radiation) ka whakarite kia roa te mahi i roto i nga taiao kino.
●Rahi Iti:Ka taea e GaN te hanga i nga taputapu kiato me te ngawari ki te whakataurite ki nga taonga hikohiko tuku iho, hei whakahaere i nga taputapu hiko iti me te kaha ake.
Putanga
Ko Gallium Nitride (GaN) kei te puta ake hei semiconductor mo nga tono matatau e hiahia ana ki te kaha me te kaha, penei i nga waahanga o mua-mutunga RF, nga punaha whakawhitiwhiti tere tere, me te rama rama. Ko nga angiangi epitaxial GaN, i te wa e tipuhia ana i runga i nga taputapu sapphire, ka tuku he huinga o te kawe werawera teitei, te ngaohiko pakaru teitei, me te whakautu auau whanui, he mea matua mo te mahi tino pai i roto i nga taputapu whakawhitiwhiti ahokore, radars, me nga kaitarai. Kei te waatea enei wafers i roto i te 4-inihi me te 6-inihi diameter, me te rereke o te GaN matotoru ki te whakatutuki i nga whakaritenga hangarau rereke. Ko nga ahuatanga ahurei a GaN ka waiho hei kaitono tuatahi mo te heke mai o te hiko hiko.
Tawhā Hua
| Āhuahira Hua | Whakatakotoranga |
| Wafer Diameter | 50mm, 100mm, 50.8mm |
| Te papanga | Hapaira |
| Matotoru Apa GaN | 0.5 μm - 10 μm |
| Momo GaN/Doping | Momo-N (Momo-P e waatea ana ina tono) |
| Takotoranga Crystal GaN | <0001> |
| Momo oro | Whakakotahi-Taha (SSP), Taha-Tahi-rua kua Orohia (DSP) |
| Al2O3 Matotoru | 430 μm - 650 μm |
| TTV (Tapeke Rerekēnga Matotoru) | ≤ 10 μm |
| Kopere | ≤ 10 μm |
| Warp | ≤ 10 μm |
| Rohe Mata | Horahanga Mata Whakamahi > 90% |
Uiui&A
Q1: He aha nga painga nui o te whakamahi i te GaN i runga i nga miihini hiko-a-kirika tuku iho?
A1: He maha nga painga nui a GaN i runga i te silicon, tae atu ki te waahi whanui, e taea ai e ia te hapai i nga ngaohiko pakaru teitei ake, me te mahi pai i nga pāmahana teitei ake. Ma tenei ka pai a GaN mo nga tono kaha-nui, nui-auau penei i nga waahanga RF, whakakaha hiko, me nga LED. Ko te kaha o GaN ki te hapai i nga kiato hiko teitei ake ka taea e nga taputapu iti ake me te pai ake te whakataurite ki nga momo rereke-a-silicon.
Q2: Ka taea te whakamahi GaN i runga i nga wafers Sapphire i roto i nga tono MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)?
A2: Ae, he pai te GaN i runga i te Sapphire wafers mo nga tono MEMS, ina koa ka hiahiatia te mana teitei, te pumau o te pāmahana, me te iti o te ngangau. Ko te mauroa me te kaha o te rauemi i roto i nga taiao auau-nui he pai mo nga taputapu MEMS e whakamahia ana i roto i te whakawhitiwhiti ahokore, te rongo, me nga punaha radar.
Q3: He aha nga tono pea a GaN i roto i te whakawhitiwhiti ahokore?
A3: Kei te whakamahia nuitia a GaN i roto i nga waahanga RF o mua-mutunga mo te whakawhitiwhiti ahokore, tae atu ki nga hanganga 5G, nga punaha radar, me nga kaitarai. Ko te kaha o te kaha o te hiko me te wera o te waiariki e tino pai ana mo nga taputapu hiko-nui, teitei-auau, kia pai ake te mahi me te iti ake o nga ahuatanga o te ahua ki te whakataurite ki nga otinga-a-kirika.
Q4: He aha nga wa arahi me nga rahinga ota iti mo GaN i runga i nga wafers Sapphire?
A4: Ko nga wa arahi me nga rahinga ota iti ka rereke i runga i te rahi o te wafer, te matotoru GaN, me nga whakaritenga a nga kaihoko. Tena koa whakapiri mai ki a maatau mo nga utu taipitopito me te waatea i runga i o whakaritenga.
Q5: Ka taea e au te tiki i te matotoru o te paparanga GaN ritenga me nga taumata doping?
A5: Ae, ka tukuna e matou he whakaritenga o te matotoru GaN me nga taumata doping hei whakatutuki i nga hiahia tono motuhake. Tena koa whakamohio mai ki o whakaritenga e hiahia ana koe, a ka hoatu e matou he otinga kua whakaritea.
Hoahoa Taipitopito
