Whakaritea Nga Kakano Kakano Karaihe Taapapa Dia 205/203/208 Momo 4H-N mo nga Whakawhitiwhiti Matapihi

Whakaritea Nga Kakano SiC Crystal Substrates Dia 205/203/208 Momo 4H-N mo nga Whakawhitinga Ataahua Whakaaturanga Whakaaturanga

Whakaahuatanga Poto:

Ko nga taputapu karaihe kakano SiC (silicon carbide), hei kawe matua o nga rawa tuatoru-whakatupuranga semiconductor, e kaha ana te kawe i te waiariki teitei (4.9 W/cm·K), te kaha o te mara pakaru tino teitei (2–4 MV/cm), me te aputa whanui (3.2 eV) hei rauemi turanga mo te optoelectronics, mokowhiti mokowhiti waka, me te 5. Na roto i nga hangarau hanga matatau penei i te kawe kohu tinana (PVT) me te wahanga wai epitaxy (LPE), ka whakawhiwhia e XKH te momo 4H/6H-N-momo, te whakamaarama, me te 3C-SiC polytype nga taputapu kakano i roto i nga momo angiangi 2–12-inihi, me te mokoiti moroiti i raro i te 0.3 cm⁻2 m², Ω. taratara (Ra) <0.2 nm. Kei roto i a maatau ratonga te tipu heteroepitaxial (hei tauira, SiC-on-Si), te miihini miihini nanoscale (± 0.1 μm te manawanui), me te tuku tere ki te ao, e whakamana ana i nga kaihoko ki te hinga i nga aukati hangarau me te whakatere i te koretake o te waro me te huringa mohio.

Tukuna he imeera ki a matou

Ngā āhuatanga

Tawhā Hangarau

Silicon carbide angiangi purapura
Polytype	4H
Hapa takotoranga mata	4° ki te<11-20>±0.5º
Te ātete	whakaritenga
Diamita	205±0.5mm
Mātotoru	600±50μm
Te taratara	CMP,Ra≤0.2nm
Kiatotanga Micropipe	≤1 ea/cm2
Nga karawarawa	≤5, Tapeke Length≤2 * Diameter
Nga maramara tapanga/nuku	Karekau
Tohu taiaho o mua	Karekau
Nga karawarawa	≤2, Tapeke Length≤Diameter
Nga maramara tapanga/nuku	Karekau
Nga waahi polytype	Karekau
Te tohu taiaho tuara	1mm (mai i te taha runga)
Tapa	Chamfer
Te takai	Ripene angiangi maha

Nga ahuatanga matua

1. Hanganga Kiriata me te Mahi Hiko

· Pūmautanga Crystallographic: 100% 4H-SiC polytype mana, kore multicrystalline inclusions (hei tauira, 6H/15R), ki XRD ānau wiri whanui-katoa i te hawhe-mōrahi (FWHM) ≤32.7 arcsec.

· Te Waea Kaikawe Teitei: Te neke irahiko o te 5,400 cm²/V·s (4H-SiC) me te nekeneke o te kohao o te 380 cm²/V·s, ka taea te hoahoa taputapu auau-teitei.

· Maama o te Irirangi: Ka mau ki te 1 MeV neutron irradiation me te paepae pakaru o te 1×10¹⁵ n/cm², he pai mo te aerospace me nga tono karihi.

2. Nga Taonga Ngaaahu me te Hangarau

· Te Whakaaetanga Ngaaariki Tino: 4.9 W/cm·K (4H-SiC), e toru o te silicon, te tautoko i te mahi i runga ake i te 200°C.

· Whakawhanake Whakanuia Ngaaahu iti: CTE o 4.0×10⁻⁶/K (25–1000°C), e whakarite ana i te hototahi ki te takai-a-silicon me te whakaiti i te ahotea waiariki.

3. Mana Koha me te Tukatuka Tika

· Te Paipa Moroiti: <0.3 cm⁻² (8-inihi angiangi), te kiato wehenga <1,000 cm⁻² (kua manatokohia ma te kohi KOH).

· Kounga Mata: CMP-whakaparahia ki te Ra <0.2 nm, e tutuki ana i nga whakaritenga papatahi o te reanga-whakaahua a EUV.

Nga tono matua

Rohe	Nga Tauira Tono	Painga Hangarau
Whakawhitiwhiti Optical	100G/400G lasers, kōwae ranu photonics silicon	Ko nga taputapu kakano InP ka taea te mokowhiti tika (1.34 eV) me te heteroepitaxy-a-Si, ka whakaiti i te mate hononga whatu.
Nga Waka Pungao Hou	800V ngaohiko teitei ngaohiko, nga kaitahuri o runga (OBC)	Ko nga taputapu 4H-SiC ka mau ki te> 1,200 V, ka whakaiti i nga mate whakahekenga e 50% me te rōrahi o te punaha e 40%.
5G Whakawhitiwhiti	Nga taputapu RF mirimita-ngaru (PA/LNA), whakakaha hiko teihana turanga	Ko nga tïpako SiC semi-insulating (te aukati >10⁵ Ω·cm) ka taea te tuitui haangai-nui (60 GHz+).
Taputapu Ahumahi	Pūoko pawera teitei, hurihanga o nāianei, kaitirotiro reactor karihi	Ko nga taputapu kakano InSb (0.17 eV bandgap) ka tuku i te tairongo autō ki te 300%@10 T.

Nga Painga Matua

Ko nga taputapu karaihe kakano SiC (silicon carbide) e tuku ana i nga mahi kaore e rite ki te 4.9 W/cm·K te kawe waiariki, te 2-4 MV/cm te kaha o te mara pakaru, me te 3.2 eV whanui whanui, ka taea te whakamahi i te mana teitei, te auau teitei, me te pāmahana teitei. Ko te kiato micropipe kore me te <1,000 cm⁻² te kiato wehenga, ka whakapumau enei taputapu i te pono i roto i nga ahuatanga tino kino. Ko o raatau matū matū me nga papa hototahi CVD (Ra <0.2 nm) e tautoko ana i te tipu heteroepitaxial matatau (hei tauira, SiC-on-Si) mo te optoelectronics me nga punaha hiko EV.

Ratonga XKH:

1. Whakaritenga Whakaputa

· Ngā Hōputu Angiangi Hangaia: 2–12-inihi te angiangi me te porohita, tapawhā, tapawhā rite ranei te ahua (±0.01 mm te manawanui).

· Whakahaere Doping: te hauota (N) me te konumohe (Al) doping ma te CVD, ka eke ki te 10⁻³ ki te 10⁶ Ω·cm.

2. Hangarau Tukatuka Arā Atu Anō

· Heteroepitaxy: SiC-on-Si (hototahi ki nga raina silicon 8-inihi) me te SiC-on-Diamond (te kawe waiariki >2,000 W/m·K).

· Te Whakakorenga Koha: Te hauwai me te whakaene ki te whakaiti i nga hapa o te micropipe/kiato, te whakapai ake i te hua angiangi ki te >95%.

3. Pūnaha Whakahaere Kounga

· Whakamatau Whakamutunga-ki-Whakamutunga: Raman spectroscopy (polytype verification), XRD (crystallinity), me te SEM (te tātari hapa).

· Tiwhikete: E tika ana ki te AEC-Q101 (automotive), JEDEC (JEDEC-033), me MIL-PRF-38534 (tohu hoia).

4. Tautoko Roopu Ao

· Te Mahinga Whakaputa: Putanga Marama>10,000 nga angiangi (60% 8-inihi), me te tuku ohorere 48-haora.

· Whatunga Logistics: He kapi i Uropi, Amerika Te Tai Tokerau, me Ahia-Kiwa ma te waka rererangi/moana me te takai i te pāmahana.

5. Hangarau Hangarau Hangarau

· Nga Taiwhanga R&D Ngatahi: Mahi tahi i runga i te arotautanga o te kohinga hiko hiko SiC (hei tauira, te whakauru i te tïpako DBC).

· Raihana IP: Whakaratohia te raihana hangarau tipu epitaxial GaN-on-SiC RF hei whakaiti i nga utu R&D a te kiritaki.

Whakarāpopototanga

SiC (silicon carbide) substrates karaihe purapura, hei rauemi rautaki, kei te whakahou i nga mekameka ahumahi o te ao na roto i nga pakaruhanga i roto i te tipu o te karaihe, te whakahaere hapa, me te whakauru rereke. Ma te haere tonu ki te whakaheke i te koha angiangi, te whakanui i te hanga 8-inihi, me te whakawhänui i nga papaaho heteroepitaxial (hei tauira, SiC-on-Diamond), ka tukuna e te XKH nga otinga tino pono, whai hua mo te optoelectronics, te hiko hou, me te mahi whakangao. Ko ta matou piripono ki te mahi auaha ka whakarite nga kaihoko ki te arahi i te noho kore waro me nga punaha mohio, e tarai ana i te waa e whai ake nei o nga rauwiringa kaiao hiko-a-whanui.