Nga Wafers Epitaxial GaN-on-SiC kua Whakaritea (100mm, 150mm) - Nga Kōwhiringa Papanga SiC Maha (4H-N, HPSI, 4H/6H-P)
Ngā āhuatanga
●Matotoru Paparanga Epitaxial: Whakaritea mai i1.0 µmki3.5 µm, kua arotauhia mo te kaha teitei me te mahi auau.
●SiC Substrate Options: Kei te waatea me nga momo taputapu SiC, tae atu ki:
- 4H-N: Kounga teitei Nitrogen-doped 4H-SiC mo nga tono auau-nui, kaha-kaha.
- HPSI: High-Purity Semi-Insulating SiC mo nga tono e hiahia ana ki te wehe hiko.
- 4H/6H-P: Whakaranuhia te 4H me te 6H-SiC mo te toenga o te kaha me te pono.
●Rahi Wafer: Kei te waatea i roto100mma150mmdiameters mo te maha o nga taputapu i roto i te whakatauine me te whakauru.
●Te Ngaohiko Paanga Teitei: Ko te GaN i runga i te hangarau SiC e whakarato ana i te ngaohiko pakaru teitei, e taea ai te mahi pakari i roto i nga tono mana-nui.
●Ko te Kawenga Ngaaahu Teitei: Ko te kawe wera o te SiC (tata 490 W/m·K) ka whakarite i te tohanga wera pai mo nga tono kaha-kaha.
Whakatakotoranga Hangarau
| Tawhā | Uara |
| Wafer Diameter | 100mm, 150mm |
| Te Matotoru Papa Epitaxial | 1.0 µm – 3.5 µm (ka taea te whakarite) |
| Nga Momo Raupapa SiC | 4H-N, HPSI, 4H/6H-P |
| SiC Te Waahanga Ngawha | 490 W/m·K |
| SiC Parenga | 4H-N: 10^6 Ω·cm,HPSI: Weheweewe,4H/6H-P: Ranu 4H/6H |
| Matotoru Apa GaN | 1.0 µm – 2.0 µm |
| GaN Kaikawe Concentration | 10^18 cm^-3 ki te 10^19 cm^-3 (ka taea te whakarite) |
| Kounga Mata Wafer | RMS Rorohirohi: < 1 nm |
| Te Tototanga Wehenga | < 1 x 10^6 cm^-2 |
| Kopere Wafer | <50 µm |
| Wafer Flatness | <5 µm |
| Paemahana Mahi Morahi | 400°C (te tikanga mo nga taputapu GaN-on-SiC) |
Nga tono
●Hoko Hiko:Ko nga wafers GaN-on-SiC e whakarato ana i te tino pai me te wera o te wera, he mea tino pai mo te whakanui i te hiko, nga taputapu hurihanga hiko, me nga hiko-whakawhiti hiko e whakamahia ana i roto i nga waka hiko, nga punaha hiko whakahou, me nga miihini ahumahi.
●RF Power Amplifiers:Ko te huinga o te GaN me te SiC he tino pai mo nga tono RF teitei-nui, te kaha-kaha penei i te waea, nga korero amiorangi, me nga punaha radar.
●Aerospace and Defense:He pai enei wafers mo nga hangarau aerospace me te whakamarumaru e hiahia ana ki te hikohiko hiko me nga punaha korero ka taea te mahi i raro i nga tikanga kino.
●Nga tono motika:He pai mo nga punaha hiko mahi nui i roto i nga waka hiko (EVs), nga waka ranu (HEVs), me nga teihana utu, e taea ai te huri me te mana whakahaere.
●Nga Pūnaha Hoia me te Radar:Ka whakamahia nga wafers GaN-on-SiC i roto i nga punaha radar mo te kaha o te kaha, te kaha ki te whakahaere mana, me te mahi wera i roto i nga taiao tono.
●Nga tono Ngaru Ngaruiti me te Mirimita-Ngaru:Mo nga punaha korero a muri ake nei, tae atu ki te 5G, ko te GaN-on-SiC e whakarato ana i nga mahi tino pai i roto i nga awhe ngaru ngaru-tiketike me te mirimita-ngaru.
Uiui&A
Q1: He aha nga painga o te whakamahi SiC hei taputapu mo GaN?
A1:Ko te Silicon Carbide (SiC) he pai ake te kawe i te waiariki, te ngaohiko pakaru teitei, me te kaha miihini ka whakaritea ki nga taputapu tuku iho penei i te hiraka. Ma tenei e pai ai nga wafers GaN-on-SiC mo nga tono kaha-nui, teitei, me te pāmahana teitei. Ka awhina te taputapu SiC ki te whakakore i te wera i hangaia e nga taputapu GaN, te whakapai ake i te pono me te mahi.
Q2: Ka taea te whakarite i te matotoru paparanga epitaxial mo nga tono motuhake?
A2:Ae, ka taea te whakarite te matotoru paparanga epitaxial i roto i te whānuitanga o1.0 µm ki te 3.5 µm, i runga i te mana me te auau o to tono. Ka taea e taatau te whakarite i te matotoru o te paparanga GaN ki te arotau i nga mahi mo nga taputapu motuhake penei i te whakakaha hiko, nga punaha RF, he ara iahiko teitei ranei.
Q3: He aha te rereketanga i waenga i nga taputapu 4H-N, HPSI, me te 4H/6H-P SiC?
A3:
- 4H-N: Ko te Nitrogen-doped 4H-SiC te nuinga o te wa e whakamahia ana mo nga tono tere-nui e hiahia ana ki te mahi hiko teitei.
- HPSI: Ko te High-Purity Semi-Insulating SiC e whakarato ana i te wehenga hiko, he pai mo nga tono e hiahia ana kia iti te kawe hiko.
- 4H/6H-P: He ranunga o te 4H me te 6H-SiC e whakataurite ana i nga mahi, e tuku ana i te huinga o te tino pai me te pakari, e tika ana mo nga momo tono hiko hiko.
Q4: Ko enei wafers GaN-on-SiC e tika ana mo nga tono kaha-nui penei i nga waka hiko me te kaha whakahou?
A4:Ae, he pai nga wafers GaN-on-SiC mo nga tono hiko teitei penei i nga waka hiko, te kaha whakahou, me nga punaha ahumahi. Ko te ngaohiko pakaru teitei, te kaha o te waiariki, me te kaha whakahaere mana o nga taputapu GaN-on-SiC ka taea e ratou te mahi pai ki te tono huringa hiko me te mana whakahaere.
Q5: He aha te kiato wehenga angamaheni mo enei angiangi?
A5:Ko te kiato wehenga o enei angiangi GaN-on-SiC ko te tikanga< 1 x 10^6 cm^-2, e whakarite ana i te tipu o te epitaxial kounga teitei, te whakaiti i nga hapa me te whakapai ake i te mahi me te pono o te taputapu.
Q6: Ka taea e au te tono i tetahi rahi angiangi motuhake, momo taputapu SiC ranei?
A6:Ae, ka tukuna e matou nga rahi angiangi kua whakaritea (100mm me 150mm) me nga momo substrate SiC (4H-N, HPSI, 4H/6H-P) hei whakatutuki i nga hiahia motuhake o to tono. Tena koa whakapiri mai ki a maatau mo etahi atu whiringa whakaritenga me te korero mo o hiahia.
Q7: Me pehea te mahi angiangi GaN-on-SiC i roto i nga taiao tino kino?
A7:He pai nga wafers GaN-on-SiC mo nga taiao tino nui na te nui o te pumau o te waiariki, te kaha o te whakahaere mana, me te kaha o te wera wera. He pai te mahi a enei wafers i roto i nga ahuatanga teitei-te-mahana, te kaha-nui, me te auau-nui e kitea ana i roto i te aerospace, te whakamarumaru, me nga tono ahumahi.
Whakamutunga
Ko ta matou Wafers Epitaxial GaN-on-SiC Whakaritea e whakakotahi ana i nga ahuatanga o mua o GaN me SiC ki te whakarato i nga mahi pai ake i roto i nga tono kaha-nui me te tere-tere. Ma te maha o nga whiringa taapiri SiC me nga paparanga epitaxial whakarite, he pai enei wafers mo nga ahumahi e hiahia ana kia kaha te mahi, te whakahaere waiariki, me te pono. Ahakoa mo te hikohiko hiko, nga punaha RF, mo nga tono arai ranei, ka tukuna e a maatau Wafers GaN-on-SiC te mahi me te ngawari e hiahia ana koe.
Hoahoa Taipitopito
